【正文】 美國(guó)外延爐Epipro50006美國(guó)尾氣處理器DAS Epitaxy Scrubber2德國(guó)外延膜測(cè)厚儀ECO/RS2美國(guó)電阻測(cè)試儀RESMAP1782美國(guó)表面顆粒度檢測(cè)儀WITSCR822美國(guó)干涉顯微鏡MX502日本烘箱T67602德國(guó)硅片清洗系統(tǒng)Bold Clean Bench2美國(guó)硅片甩干機(jī)SRD870/8802美國(guó)特種氣體柜Unitech6美國(guó)電阻率測(cè)試儀SSM4902美國(guó)公用燃?xì)鉄崴仩t2進(jìn)口純水設(shè)備160t/h1進(jìn)口循環(huán)冷卻水系統(tǒng)4000kW1國(guó)產(chǎn) 公用工程(a) 供電項(xiàng)目用電由開(kāi)發(fā)區(qū)110KV的變電所提供，日用電量約153600kwh。(c) 供熱為了滿足生產(chǎn)工藝中對(duì)熱源的需要以及解決冬天的采暖問(wèn)題，本項(xiàng)目采用蒸汽供熱，年消耗的蒸汽10萬(wàn)噸有開(kāi)發(fā)區(qū)的供熱管網(wǎng)提供。、生活污水49t/d和清潔排水648t/d。清潔排水通過(guò)雨水管網(wǎng)排入附近河流。氫氣制備原理：通過(guò)水電解便可得到普通氫氣，經(jīng)過(guò)催化除氧，吸附干燥和過(guò)濾除塵后獲得高純氫氣；氮?dú)庵苽湓恚鹤儔何街频捎锰挤肿雍Y為吸附劑。 污染源強(qiáng)及污染物排放量分析（1）大氣污染物產(chǎn)生及排放情況項(xiàng)目在生產(chǎn)過(guò)程中排放的大氣污染物主要包括生產(chǎn)工藝廢氣：甲苯、異丙醇、HF、HCl、H2SONOx、NHSiHClPHB2H6。表36 項(xiàng)目有組織排放廢氣的種類與產(chǎn)生環(huán)節(jié)排氣筒廢氣類別廢氣編號(hào)污染物名稱產(chǎn)生環(huán)節(jié)1有機(jī)廢氣G1甲苯、異丙醇清洗2酸性廢氣GGG15H2SO4RCA清洗GGGGG1G17HFRCA清洗、腐蝕A、外延爐石英管清洗GG12HClRCA清洗GG18NOx腐蝕A、外延爐石英管清洗3堿性廢氣GG1G16NH3RCA清洗、堿清洗4特種廢氣G14HCl、SiHClFHB2H6外延生長(zhǎng)銀笛（揚(yáng)州）微電子有限公司對(duì)生產(chǎn)中的工藝廢氣采取的治理措施為：甲苯廢氣采用活性碳吸附，去除效率達(dá)到80%；酸性廢氣用堿液進(jìn)行噴淋吸收，去除率為≥90%；對(duì)堿性廢氣采用酸液進(jìn)行噴淋吸收，去除效率為95%以上；對(duì)特種廢氣HCl、SiHClPHB2H6 廢氣采用濕式外延氣體清洗器去除，SiHClHCl、B2H6的去除效率≥99%。表37 擬建項(xiàng)目大氣污染物三本帳 單位t/a污染物產(chǎn)生量削減量排放量甲苯 異丙醇 HF HCl H2SO4 NOx NH3 SiHCl3 PH321062108106B2H621061062108?無(wú)組織排放廢氣；鹽酸、硝酸、硫酸；氨水采用3L或4L的PVC瓶存儲(chǔ)；硅外延片制作需要的特種廢氣HCl 、SiHClPH3和B2H6用鋼瓶柜存儲(chǔ)，鋼瓶柜自帶減壓裝置、閥門(mén)盤(pán)。實(shí)際物料裝運(yùn)、使用、貯存和廢氣收集過(guò)程中廢氣污染物的無(wú)組織排放情況見(jiàn)表38。表39 廢水種類及水量情況序號(hào)類別編號(hào)水量t/d1切片倒角廢水WW262研磨廢水W31073拋光廢水W1W142144酸性廢水WWW 1W 1W W 245堿性廢水W126含氟廢水WW W 1W 2W 267含氨廢水W6~ W W 17~ W 1W 255518一般廢水W2W231129廢氣洗滌水W273010生活污水W314911清下水W2W 2W30648依據(jù)儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)境影響評(píng)價(jià)與環(huán)境保護(hù)規(guī)劃，擬建項(xiàng)目所排生產(chǎn)廢水應(yīng)在廠內(nèi)處理達(dá)到污水處理廠的接管后與生活污水通過(guò)開(kāi)發(fā)區(qū)的管網(wǎng)排入真州污水處理廠進(jìn)行深度處理，處理達(dá)標(biāo)后統(tǒng)一排入長(zhǎng)江儀征段。表310 擬建項(xiàng)目水污物三本帳一覽表 單位t/a種類污染物名稱產(chǎn)生量廠內(nèi)削減量廠內(nèi)排放量進(jìn)入環(huán)境的量廢水COD SS 氟化物 NH3N TP 清潔排水COD0（3）噪聲污染產(chǎn)生及排放情況本項(xiàng)目噪聲主要來(lái)源于各類機(jī)械設(shè)備，如冷凍機(jī)、廢氣塔、空壓機(jī)、鍋爐風(fēng)機(jī)、真空泵等。表311 擬建項(xiàng)目噪聲產(chǎn)生及排放情況序號(hào)設(shè)備名稱等效聲級(jí)dB（A）所在車間工段離最近廠界距離m治理措施降噪效果1冷凍機(jī)75~85綜合動(dòng)力站49選用技術(shù)新、低噪聲設(shè)備；采用隔聲、減震、降噪等措施；廠區(qū)內(nèi)綠化廠界噪聲達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB1234890)中的3類標(biāo)準(zhǔn)的要求2冷卻塔70~75拋光片、外延片車間703廢氣塔85~90拋光片、外延片車間684空調(diào)機(jī)組70~75拋光片、外延片車間615水泵70~75綜合動(dòng)力站906空壓機(jī)80~85綜合動(dòng)力站497鍋爐風(fēng)機(jī)80~85綜合動(dòng)力站908真空泵80~85綜合動(dòng)力站49對(duì)噪聲采取的主要防治措施為：選用技術(shù)先進(jìn)低噪聲的設(shè)備、對(duì)設(shè)備進(jìn)行隔聲減震、消聲吸聲等措施，使廠界噪聲達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB1234890)中的3類標(biāo)準(zhǔn)的要求。工程中采取的固體廢物處理措施為：廢有機(jī)溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿和含氟污泥，屬于國(guó)家規(guī)定的危險(xiǎn)廢物，委托具有相應(yīng)處理資質(zhì)的單位進(jìn)行處置；廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英等可由有關(guān)單位回收利用；生活垃圾等按照環(huán)衛(wèi)部門(mén)的有關(guān)要求進(jìn)行處置。(b) 大氣污染防治措施及可行性分析銀笛（揚(yáng)州）微電子有限公司根據(jù)同類型企業(yè)廢氣治理措施的經(jīng)驗(yàn)，對(duì)工程中的各種廢氣采取了技術(shù)可行、經(jīng)濟(jì)合理、可操作性較強(qiáng)的治理方案。甲苯和異丙醇的去除率可達(dá)80%以上。廢氣吸附設(shè)備風(fēng)管集氣罩引風(fēng)機(jī)排放圖41有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)流程圖（2）酸、堿廢氣酸性或堿性廢氣通過(guò)集氣罩收集，由抽風(fēng)機(jī)將其抽至填充式廢氣洗滌塔，用稀堿液或稀酸液進(jìn)行噴淋吸收處理，凈化后的廢氣通過(guò)排氣筒直接排入大氣，所產(chǎn)生的廢氣洗滌水進(jìn)入廢氣洗滌循環(huán)水池，該水池中的排污水進(jìn)入廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。具體處理工藝流程見(jiàn)圖42。采用具疏松表面的填充濾料，較大的表面積，可使氣體、液體停留時(shí)間延長(zhǎng)，提高吸收效率。酸性廢氣（HF、HCl、NOx、硫酸霧）的去除效率達(dá)到90%，堿性廢氣（NH3）的去除效率達(dá)到95%以上。濕式外延清洗器設(shè)有手動(dòng)的旋轉(zhuǎn)刮板裝置，用于清理尾氣入氣口處的附著物粘附在入氣口的管壁造成堵塞；并采用氮?dú)饷芊庋b置，將入氣口清理裝置的尾氣與外界隔離，確保沒(méi)有尾氣泄漏；通過(guò)水流量表和調(diào)節(jié)閥，用于水流量調(diào)節(jié)，以滿足使用；采用不銹鋼做骨架，增加強(qiáng)度和仿腐蝕能力；其他均采用透明PVC材料，抗腐蝕和阻燃能力強(qiáng)，同時(shí)還便于觀測(cè)內(nèi)部的工作狀況；設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔、防爆、可靠性高。上述各種廢氣治理措施是半導(dǎo)體、IC企業(yè)普遍采用、經(jīng)驗(yàn)較成熟的方案。 水污染防治措施評(píng)述(a) 廢水處理工藝擬建項(xiàng)目廢水設(shè)施建設(shè)遵循雨污分流、清污分流、分質(zhì)處理的原則。廢氣洗滌水為30t/d，生活污水49t/d。根據(jù)建設(shè)項(xiàng)目的實(shí)際情況，并結(jié)合開(kāi)發(fā)區(qū)的總體規(guī)劃與環(huán)境保護(hù)規(guī)劃，擬建項(xiàng)目對(duì)所產(chǎn)生的各種廢水采取的處理排放方案為：①含氟廢水含氟廢水來(lái)源于單晶硅拋光片的清洗工序、外延爐石英管的清洗。含氟廢水采用化學(xué)沉淀法進(jìn)行處理。廢水再進(jìn)入進(jìn)入廢水調(diào)節(jié)池。②酸堿廢水酸堿廢水主要來(lái)自于各清洗工序、廢氣洗滌水，此類廢水排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)節(jié)池中。在反應(yīng)槽中投加NaOH（或Ca(OH)2）、H2SO4使廢水pH值調(diào)節(jié)為69。此類廢水的主要成分為硅粉，先在使用點(diǎn)附近設(shè)沉淀池,然后排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)節(jié)池中，再用泵送入混凝反應(yīng)槽進(jìn)行沉淀處理。⑤生活污水根據(jù)開(kāi)發(fā)區(qū)的要求，建設(shè)后的生活污水經(jīng)化糞池簡(jiǎn)單處理后，進(jìn)入真州污水處理廠集中處理。表41 地表水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及廢水排放標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目真州污水處理廠的接管標(biāo)準(zhǔn)mg/L自建廢水站排放標(biāo)準(zhǔn)值mg/L真州污水處理廠排放標(biāo)準(zhǔn)限值mg/LPH(無(wú)量綱)6—96969COD500≤20060SS400≤20020TP≤5NH3N35≤3515氟化物20≤1010廢水處理設(shè)施總排出口設(shè)有氟化物、PH值的自動(dòng)監(jiān)控儀表，并設(shè)有常規(guī)化學(xué)分析儀器，定時(shí)檢測(cè)水中有害成分，監(jiān)控生產(chǎn)廢水處理效果。含氟廢水廢水調(diào)節(jié)池沉淀槽混凝反應(yīng)槽HF調(diào)節(jié)池出水槽自動(dòng)過(guò)濾帶酸性廢水堿性廢水一般廢水混凝反應(yīng)槽中間水槽沉淀槽Ca(OH)H2SOPAC、PAMP1P2P3P4污泥槽外運(yùn)處理壓濾機(jī)達(dá)標(biāo)排放研磨廢水拋光廢水沉淀池圖43 廢水處理工藝流程圖Na(OH)H2SOPAC、PAM(b) 污泥處理回用處理系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)產(chǎn)生的污泥自流到污泥槽進(jìn)行污泥的濃縮脫水，脫水的對(duì)象是污泥中的空隙水，濃縮的目的是為了減少污泥體積。污泥濃縮池、貯泥罐、廂式壓濾機(jī)產(chǎn)生的濾液經(jīng)過(guò)濾液儲(chǔ)池收集后泵入綜合廢水調(diào)節(jié)池。真州污水處理一期工程已在2005年10月建成投入試運(yùn)行。真州污水處理廠廢水處理工藝采用改良的A2/O工藝，污泥處理采用一體化帶式濃縮脫水機(jī)。真州污水處理廠尾水處理達(dá)到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB189182002)中的一級(jí)B標(biāo)準(zhǔn)后排入長(zhǎng)江儀征段。②采用A2/O工藝,可將經(jīng)過(guò)一級(jí)物理處理后的污水、通過(guò)厭氧、缺氧、好氧的三個(gè)生物處理過(guò)程，將水中的BOD、COD、SS、氨氮、磷酸鹽同時(shí)去除；③污泥沉降性能好；④能較好的耐受沖擊負(fù)荷；⑤出水水質(zhì)穩(wěn)定。,%，在其處理能力之內(nèi)。目前儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)的污水管網(wǎng)正在積極建設(shè)中，計(jì)劃在建設(shè)項(xiàng)目投產(chǎn)前將全部完工并投入使用，本項(xiàng)目建設(shè)期為一年，與污水處理廠處理廢水及儀征經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水管網(wǎng)建設(shè)能夠銜接。 噪聲污染防治措施評(píng)述①選用低噪聲設(shè)備；②設(shè)置減振、隔振基礎(chǔ)：對(duì)有振動(dòng)的設(shè)備設(shè)置減振臺(tái)、隔振基礎(chǔ)以減少噪聲產(chǎn)生和傳遞；③隔聲、吸音處理：對(duì)空壓機(jī)組、冷凍機(jī)組產(chǎn)生高噪聲的設(shè)備，設(shè)置隔音門(mén)窗，墻面采取吸音板。此外，采用封閉式廠房、隔聲墻壁，隔聲墻壁、隔聲窗等措施隔離噪音，利用建筑物隔聲減輕污染；同時(shí)在廠區(qū)加強(qiáng)綠化也可降低噪聲對(duì)裝置區(qū)外的影響。 固體（廢液）污染防治措施評(píng)述建設(shè)項(xiàng)目產(chǎn)生的固體廢物種類主要包括硅片表面處理產(chǎn)生的廢有機(jī)溶劑、廢活性炭、表面處理廢物（廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿）、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英以及生活垃圾等，固體廢物產(chǎn)生總量為1961t/a。再依據(jù)其可利用情況，分別采取與之相應(yīng)的處理/處置措施。其中廢有機(jī)溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿、含氟污泥屬于危險(xiǎn)廢物，應(yīng)按照危險(xiǎn)廢物處置的有關(guān)規(guī)定，委托具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行無(wú)害化處理。通過(guò)上述措施，擬建項(xiàng)目產(chǎn)生的各種固體廢物的處置/處理率達(dá)到了100%，沒(méi)有直接外排。（2）加強(qiáng)安全管理，建立崗位責(zé)任制，避免因管理不當(dāng)、操作失誤等，造成不達(dá)標(biāo)排放。（4）對(duì)各種化學(xué)藥品的儲(chǔ)存與使用，要嚴(yán)守管理制度與操作要求，嚴(yán)防泄露、著火等意外事故，消除安全隱患（5）制定定時(shí)巡檢制度，對(duì)污水、廢氣處理設(shè)施非正常情況及時(shí)發(fā)現(xiàn)、及時(shí)處理，盡量減少污染物外排。綠色植物具有吸附塵埃、吸收CONOSO凈化空氣、減弱噪聲、調(diào)節(jié)溫度濕度、改善小氣候的功能。1：綠化原則在廠區(qū)綠化設(shè)計(jì)中，主要以喬、灌木以及草地相結(jié)合的自然式布局為主，其主要優(yōu)點(diǎn)為：利用多種植物在空間上的配合，可以充分吸收塵埃，吸收CONOSO2等氣體，削減污染物的排放量，有效的減弱噪聲：充分發(fā)揮多種植物在形體、姿態(tài)、色彩等多方面美學(xué)特征，通過(guò)和諧、對(duì)比、變化、統(tǒng)一等原則，有機(jī)結(jié)合，體現(xiàn)樹(shù)木群落的整體美。喬、灌木的妥善搭配，可使樹(shù)叢具有豐富的層次感。（2）常綠與落葉常綠樹(shù)可以穩(wěn)定地保持廠區(qū)四季綠貌。發(fā)揮常綠與落葉之所長(zhǎng)，結(jié)合它們的高矮尺度合理組合。其中以列植、從植和群植方式為主，在具體應(yīng)用中根據(jù)具體情況結(jié)合起來(lái)應(yīng)用。廠區(qū)中裸露