第四章-各類光學(xué)薄膜設(shè)計-1減反射膜20xx-在線瀏覽
2024-09-02 22:19本頁面
【正文】 統(tǒng)的方法，簡捷的途徑是用矢量法，并通過試行法得到較滿意的結(jié)構(gòu)，然后進行數(shù)值計算作精確校核，以消除矢量法所固有的近似影響。 2． 矢量之間的夾角僅決定于膜層的光學(xué)厚度和所考察 的波長 (即決定于膜層的位相厚度 )按逆時針方向旋轉(zhuǎn)。 8 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜 單層增透膜是減少界面反射的最簡單途徑，如右圖用矢量法分析： 2121210101 , nnnnrnnnnr??????從矢量圖上可以看到，合振幅矢量 r隨著 r1和 2之間的夾角 2δ而變化合矢量端點的軌跡為一圓周。 9 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜 2012121101021 nnnnnnnnnnnrr ??????? 則即矢量法用來分析單層薄膜情況： 可見當(dāng)厚度為某一波長 1/4，并且 r1=r2時剩余反射為零： 10 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜 11121 1 1111212221200 221002sinc os 1sin c os22iBCindCYBnnYRnYn????? ? ?? ?????????????????????????? ??????????????? ??? ??????? ?????其 中 ：運用矩陣法分析 1/4波長厚度時的情況： 1 0 2 0 2R n n n????最 小 時 ， 則11 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜 12 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜 單層增透膜的出現(xiàn)，在歷史上是一個重大的進展，直至今天仍廣泛地用來滿足一些簡單的用途。 有兩個途徑可以提高增透效果： ?采用變折射率的所謂非均勻膜 ，它的折射率隨著厚度的增加呈連續(xù)的變化； ?采用幾層折射率不同的均勻薄膜 構(gòu)成多層增透膜； 13 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 雙層增透膜 對于單層氟化鎂膜來說冕牌玻璃（ n= ）的折射率是太低了。顯然，當(dāng) n2n3時，有 Y＞ n3．也就是說，在玻璃基片上先鍍一層高折射率的 λ0／ 4波長厚的膜層后，假想基片的折射率好象從 n3提高到 Y=n22/n3 ，然后鍍上 λ0／ 4波長厚的氟化鎂膜層就能起到更好的增透效果。因此只須以矢量 r1的始點和終點為圓心，分別以 r3和 r2為半徑作兩個圓，兩個圓的交點就是滿足合矢量為零條件的矢量 r2和 r3頭尾相接的點，然后從矢量圖上即可量得 2δ 2δ2的值。解 (b)的膜層總厚度比解 (a)的小，它對波長的敏感性也較小，所以通常取此解。 21 0123454 0 0 4 5 0 5 0 0 5 5 0 6 0 0 6 5 0 7 0 0單層膜、 λ /4 λ /4 和 λ /2 λ /2 型雙層增透膜理論曲線% ReflectanceW a v e l e n g t h ( n m )薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 雙層增透膜 單層膜 λ0／ 4 λ0／ 2雙層膜 λ0／ 4 λ0／ 4雙層膜 22 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 三層增透膜 雙層增透膜的減反射性能比單層增透膜要優(yōu)越得多，但它并沒有全部克服單層增透膜的兩個主要缺點（ 1）剩余反射高；（ 2）帶寬小。對于 λ0／ 4 λ0／ 4 型的增透膜在中心波長處增透效果好但是帶寬較小， λ0／ 4
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