單晶爐溫度控制系統(tǒng)-在線瀏覽
2024-08-17 13:04本頁面
【正文】 ......4 AD 轉(zhuǎn)換器 ...................................................4 DA 轉(zhuǎn)換器 ...................................................5 控制器 .....................................................6 溫度傳感器 .................................................7 溫度控制系統(tǒng) ...............................................7 鍵盤模塊 ...................................................8 LED 顯示模塊 ................................................8第 4 章 軟件設(shè)計 ............................................9 程序流程圖 ....................................................9 主程序流程圖 ................................................9 程序 ..........................................................9 最小拍算法控制的設(shè)計 .........................................12第 5 章 MTLAB 仿真 ..........................................14第 6 章 課程設(shè)計總結(jié) .......................................16參考文獻(xiàn) ..................................................17本科生課程設(shè)計（論文）6第 1 章 緒論20 世紀(jì)末，電子技術(shù)獲得了飛速的發(fā)展，在其推動下，現(xiàn)代電子產(chǎn)品幾乎滲透了社會的各個領(lǐng)域，有力地推動了社會生產(chǎn)力的發(fā)展和社會信息化程度的提高，同時也使現(xiàn)代電子產(chǎn)品性能進(jìn)一步提高，產(chǎn)品跟新?lián)Q代的節(jié)奏也越來越快。而等徑控制是單晶爐自動控制的核心。在忽略一些干擾因素影響情況下，單晶等徑生長主要受溫度和拉速影響。本文從硬件和軟件設(shè)計方面介紹了以 80CI96 單片機(jī)作為核心部件的單晶爐等徑生長控制系統(tǒng)，此系統(tǒng)有效地實現(xiàn)了單晶爐的等徑控制。在忽略一些干擾因素影響情況下，單晶等徑生長主要受溫度和拉速影響。 設(shè)計的任務(wù)單晶硅生產(chǎn)過程中，硅片的直徑大小和晶體生長過程的自動化程度，對生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量有很大的影響。本設(shè)計要求采用單片機(jī)作為控制器，控制算法采用常規(guī)的 PID 控制，由鍵盤進(jìn)行溫度控制值的選擇，并顯示溫度。每個單元都包括各自獨立的數(shù)據(jù)采集、PID 控制模塊、參數(shù)設(shè)置、工藝曲線設(shè)置、電路控制輸出、與上位機(jī)串行通信等模塊。溫度控制單元是為了保證單晶正常生長所需的極嚴(yán)格的過冷度要求(如硅單晶生長過冷度（240℃～0．5℃)，采用了歐陸 818P 溫度控制器。溫度校正主要是用來補償因單晶長度改變而引起固液交界面熱穩(wěn)態(tài)發(fā)生變化的。DA 轉(zhuǎn)換模塊 80C196KC入口模擬信號模擬信號顯示 鍵盤ROMEPROMAD 轉(zhuǎn)換模塊溫度控制 加熱爐 傳感器看門狗EPROM圖 設(shè)計方案結(jié)構(gòu)圖加熱爐溫度控制實現(xiàn)過程是：首先溫度傳感器將加熱爐的溫度傳回單片機(jī)，然后 196KC 芯片將給定的溫度值和反饋回來的溫度值進(jìn)行比較并且經(jīng)過最小拍無紋波算法運算處理后，傳給溫度控制系統(tǒng)，判斷加熱器材輸出端導(dǎo)通與否從而使加熱爐開始加熱或停止加熱。本科生課程設(shè)計（論文）9第 3 章 硬件設(shè)計 硬件電路設(shè)計及元件選擇控制器部分有 AD 轉(zhuǎn)換器，DA 轉(zhuǎn)換器和 80C196KC 組成。 AD 轉(zhuǎn)換器AD 轉(zhuǎn)換器選 ADC0809，ADC0809 是一種逐次比較式的 8 路模擬輸入，內(nèi)部具有所存功能，故不需加地址鎖存器。系統(tǒng)只需要一路信號，選擇 IN0 作為輸入。AD 采樣值為系統(tǒng)的偏差信號，固選擇 ADC0809 的 VREF 接+5V 和5V 。單片機(jī)晶振可選擇為 12Mhz。AD 轉(zhuǎn)換結(jié)果由 P0 口讀入，故將 AD 轉(zhuǎn)換器的輸出與單片機(jī)
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