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cvd法制備石墨烯ppt課件-在線瀏覽

2025-06-15 22:17本頁面
  

【正文】 C量的金屬基體,碳源裂解產(chǎn)生的碳原子在高溫時滲入,溫度降低時,從基體中析出成核,長大成石墨烯。 ? C源 : 主要為烴類,如(甲烷,乙烯,乙炔),選擇碳源主要考慮:分解溫度,分解速度,分解產(chǎn)物三方面因素。 常壓 ? 生長條件 :氣壓 低壓 ( 105103Pa) 超低壓( 103Pa) CVD三個主要組成因素: 高溫 800oC 溫度 中溫 600800oC 低溫 600oC 2.閱讀文獻(xiàn) 實(shí)驗(yàn)條件 : 常壓,高溫。
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