電池車間工藝流程培訓(xùn)講義-在線瀏覽
2024-10-26 16:31本頁(yè)面
【正文】 片 工序：預(yù)熱、 PECVD、冷卻 在導(dǎo)電層上沉積多層不同摻雜的非晶硅 薄膜，構(gòu)成有一定結(jié)構(gòu)的電池 控制點(diǎn)： 溫度、本底真空度、沉積壓力、氣體流量、電源功率、輝光時(shí)間、輝光穩(wěn)定性 清洗 玻 璃透 明 導(dǎo) 電 層 非 晶 硅 A lNIPT C OA n o d eC a t h o d e+ 532nm波長(zhǎng) 可見綠色 + 使用綠光原因：因?yàn)榉蔷Ч柙?光吸收系數(shù)比較高 + 將硅刻劃掉而沒(méi)有傷到導(dǎo)電層，將導(dǎo)電層保留用于電池電極之間的連接用 + 與一次激光之間的距離和刻劃線寬是一個(gè)重要的管控點(diǎn) + 已激光一為基準(zhǔn)線向右偏移 5080um，刻劃激光刻線二 激光刻劃的基本原理（ laser 2） 玻 璃透 明 導(dǎo) 電 層 非 晶 硅5 3 2 n m 綠 激 光+ 做一層或多層結(jié)構(gòu)的金屬材料做電池收集電荷 + 使用鋁材料做一層高放射層，將第一次通過(guò)硅層而為被吸收的光放射回硅層，二次吸收 + 將二次激光刻劃的溝道填充，做成內(nèi)聯(lián)電極，形成集成電路 玻 璃導(dǎo) 電 層非 晶 硅 鋁 背 電 極入 射 光鋁 背 電 極 的 鏡 面 反 射 作 用+ 532nm波長(zhǎng)的綠激光器 + 刻劃背電極的鋁膜 ,形成內(nèi)部串聯(lián)集成電路 + 不能劃傷透明導(dǎo)電層 + 鋁膜必須完全刻斷 + 線距和
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