生產過程的靜電防護-展示頁
2025-02-24 01:59本頁面
【正文】 電防護要求。生產過程的靜電防護 ? 主講： 陳 建 平 ? 電話： 13203635277 ? ? ： 106851615 序 言 ? 隨著微電子工業(yè)制造技術的飛速發(fā)展，集成電路的集成度不斷提高，采用 5~ m制造工藝的CMOS和 GaAs（砷化鎵）器件被廣泛使用，其耐擊穿電壓下限通常只有 50V~100V。有著更高集成度的超高速、高頻 IC器件，采用了特殊的制造工藝，如薄膜技術、淺 PN結、 GaAs材料、微小封裝等，其對 ESD、電浪涌、機械應力、熱應力等更為敏感，有的 VMOS器件耐壓只有 30V。 靜電現(xiàn)象 ? 一、何為靜電？ ? 靜電就是物體表面過?；虿蛔愕南鄬o止電荷，它是電能的一種表現(xiàn)形式。這些不平衡的電荷，就產生了一個可以衡量其大小的電場，稱為靜電場，它能影響一定距離內的其它物體，使之感應帶電，影響距離之遠近與其電量的多少有關。例如： ? 雷電。 在空氣較干燥的冬天，脫下合成纖維衣服時發(fā)出劈啪聲，夜間可見火花（空氣擊穿場強為 30KV/cm）。 ? 靜電的危害： ? 就電子工業(yè)而言，靜電放電能夠改變半導體器件的電氣特性，使之退化或者完全毀掉。 四、靜電的特點 ? 高電位 ：可達數(shù)萬至數(shù)十萬伏，操作時常達數(shù)百和數(shù)千伏（人通常對 覺到） ? 低電量 ：靜電流多為微安級（尖端放電例外） ? 作用時間短 ：微秒級 ? 受環(huán)境影響大 ：特別是濕度，濕度上升則靜電積累減少，靜電壓下降 。通常我們講到靜電勢，則以“伏特 (V)”為單位。 靜電產生的物理過程 ? 一、靜電起電原理 ? 造成不平衡電子分布的原因是電子受到外力而脫離軌道，這個外力包括各種能源，如動能、位能（勢能）、熱能、化學能等等，它使電子獲得足夠能量而做功逃逸。但也不是絕對的，與材料表面清潔程度、環(huán)境條件、接觸壓力、光潔程度、表面大小、分離速度等有關。 壓電效應：石英 ，如：電光鞋、煤氣打火器 熱電效應：壓電晶體加熱時，一端帶正電，一端帶負電；冷卻時，反極性 ? 剝離起電：相互密切結合的物體剝離時，會引起電荷分離，引起分離物體雙方帶電，如：疊在一起的塑料袋分離時。 輻射起電：射線沖擊使部分電子獲得能量而擺脫原子引力束縛，如：視保屏 五、粉末流體起電 ? 粉體與器壁、粉體與粉體碰撞，接觸分離、摩擦、碎裂而引起的靜電顆粒越小，相互作用越強烈，碰撞面積越大，起電越強烈。 六、液體起電 ? 液體的偶電層 ? 液相與固相界面亦能形成偶電層：液體（如石油）中的可電離雜質和其它離子被吸引到金屬壁上。在界面處形成偶
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