生產過程的靜電防護(已修改)
2025-02-26 01:59 本頁面
【正文】 生產過程的靜電防護 ? 主講： 陳 建 平 ? 電話： 13203635277 ? ? ： 106851615 序 言 ? 隨著微電子工業(yè)制造技術的飛速發(fā)展，集成電路的集成度不斷提高，采用 5~ m制造工藝的CMOS和 GaAs（砷化鎵）器件被廣泛使用，其耐擊穿電壓下限通常只有 50V~100V。有著更高集成度的超高速、高頻 IC器件，采用了特殊的制造工藝，如薄膜技術、淺 PN結、 GaAs材料、微小封裝等，其對 ESD、電浪涌、機械應力、熱應力等更為敏感，有的 VMOS器件耐壓只有 30V。這就給含有上述靜電敏感器件產品的生產制造過程提出了更嚴格的靜電防護要求。 靜電現(xiàn)象 ? 一、何為靜電？ ? 靜電就是物體表面過?；虿蛔愕南鄬o止電荷，它是電能的一種表現(xiàn)形式。靜電是正負電荷在局部范圍內失去平衡的結果，是通過電子轉移而形成的。這些不平衡的電荷，就產生了一個可以衡量其大小的電場，稱為靜電場，它能影響一定距離內的其它物體，使之感應帶電，影響距離之遠近與其電量的多少有關。 二、靜電放電 (ESD)現(xiàn)象 ? 靜電放電（ ESD），就是具有不同靜電勢的實體之間發(fā)生電荷轉移。例如： ? 雷電。 小實驗：有機玻璃用絲綢或棉布摩擦后產生靜電，能吸住小紙屑。 在空氣較干燥的冬天，脫下合成纖維衣服時發(fā)出劈啪聲，夜間可見火花（空氣擊穿場強為 30KV/cm）。 穿化纖內衣容易皮膚過敏是怎么回事？換棉質內衣試試！ 三、靜電的可利用之處與危害 ? 利用之處： 力學效應 — 異性相吸，同性相斥 ? 靜電吸附特性已被 廣泛用于靜電成像、復印、噴涂、植絨、除塵等實踐中。 ? 靜電的危害： ? 就電子工業(yè)而言，靜電放電能夠改變半導體器件的電氣特性，使之退化或者完全毀掉。靜電放電還可能干擾電子系統(tǒng)的正常運行，導致器件故障或癱瘓。 四、靜電的特點 ? 高電位 ：可達數(shù)萬至數(shù)十萬伏，操作時常達數(shù)百和數(shù)千伏（人通常對 覺到） ? 低電量 ：靜電流多為微安級（尖端放電例外） ? 作用時間短 ：微秒級 ? 受環(huán)境影響大 ：特別是濕度，濕度上升則靜電積累減少，靜電壓下降 。 五、靜電的度量 靜電荷單位：庫侖 (C)。通常我們講到靜電勢，則以“伏特 (V)”為單位。 ? 面電荷密度： ? σ = Q/S （ σ 單位： C/m 2 ） ? 式中： Q — 電量， S — 表面積 ? 庫侖定律： ? Q = C V ? 式中： Q — 電量， C — 電容 ， V — 電壓 六、從靜電學來區(qū)分材料的導電情況
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