【正文】 法擬合計(jì)算，得到的檢測(cè)球直徑示值的誤差。 3．11掃描檢測(cè)時(shí)間(rHP)time for scanning test由掃描探測(cè)誤差l、wr規(guī)定的程序，從掃描順序第1步開始到掃描順序結(jié)束所經(jīng)過的 時(shí)間。2JJF 1064—20103．9軸向四軸誤差(FA) axial four—axis error用轉(zhuǎn)臺(tái)的軸線作為第四軸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在工件坐標(biāo)系統(tǒng)內(nèi)測(cè)得的檢測(cè)球中心位置誤 差的軸向分量。3．7徑向四軸誤差(FR) radial four—axis error用轉(zhuǎn)臺(tái)的軸線作為第四軸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在工件坐標(biāo)系統(tǒng)內(nèi)測(cè)得的檢測(cè)球中心位置誤 差的徑向分量。注：1 測(cè)量時(shí)，不得進(jìn)行測(cè)頭和標(biāo)準(zhǔn)器之間的移動(dòng)。3．6影像測(cè)頭尺寸測(cè)量誤差(Ev)imaging probe length measurement error將短線紋尺沿平行于測(cè)量平面放置于視場(chǎng)內(nèi)的任意位置。3．5 尺寸測(cè)量示值誤差(E) error of indication of a CMM for size measurement移動(dòng)測(cè)頭從相反兩方向接近探測(cè)點(diǎn)，測(cè)定尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的兩測(cè)量要素(平面、線 段等)間的法向(與一個(gè)面或線正交的)兩相對(duì)點(diǎn)間距離的示值誤差。注：1 測(cè)量時(shí)，不得進(jìn)行測(cè)頭和標(biāo)準(zhǔn)器之間的移動(dòng)。3．4影像測(cè)頭探測(cè)誤差(PFv)probing error of the imaging probe將二維靶標(biāo)沿平行于測(cè)量平面放置，不移動(dòng)影像測(cè)頭，采用離散點(diǎn)探測(cè)模式測(cè)量標(biāo) 準(zhǔn)器，經(jīng)過最Jb一乘法擬合得到二維靶標(biāo)圓心。 3．3二維測(cè)頭探測(cè)誤差(PF2D)probing error of 2D sensor將二維靶標(biāo)沿平行于測(cè)量平面放置，移動(dòng)二維測(cè)頭，采用離散點(diǎn)探測(cè)模式測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) 器，經(jīng)過最小二乘法擬合得到二維靶標(biāo)圓心。光學(xué)測(cè)頭坐標(biāo) 測(cè)量機(jī)，ISO 10360在配置二維光學(xué)測(cè)頭的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的應(yīng)用指南(Accuracy of coordinate measuring machines： Characteristics and their testing．Coordinate measuring machines with optical probing，Code of practice for the application of DIN EN ISO 10360 to coordinate measuring machines with optical sensors for lateral structures．May．2007)ISO／TS 23165：2006產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)檢測(cè)不確定度的 評(píng)估指南(Geometrical product specifications(GPS)Guidelines for the evaluation of coordinate measuring machine(CMM)test uncertainty)GB／T 18779．1 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 工件與測(cè)量設(shè)備的測(cè)量檢驗(yàn) 第1 部分：按規(guī)范檢驗(yàn)合格或不合格的判定規(guī)則JJF n30一2003幾何量測(cè)量設(shè)備校準(zhǔn)中的不確定度評(píng)定指南JJF 1001—1998通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義JJF 1059—1999測(cè)量不確定度評(píng)定與表示JJF 1094—2002測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定1JJF 1064—20103術(shù)語(yǔ)和定義本規(guī)范采用下列術(shù)語(yǔ)和定義，及所有JJF 100GB／T 16857．1中的術(shù)語(yǔ)和定義 (其中部分術(shù)語(yǔ)和定義摘錄如下)：3．1坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量方案 measurement strategy of CMM使用坐標(biāo)測(cè)量機(jī)對(duì)某工件進(jìn)行測(cè)量時(shí)，工件在測(cè)量空間的安裝位置，坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的 探針配置，探測(cè)點(diǎn)的數(shù)目和分布，測(cè)量方法(如點(diǎn)位測(cè)量、掃描測(cè)量、對(duì)中測(cè)量等)， 環(huán)境條件，評(píng)定方法等的總和。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本文件。坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的實(shí)際配置差異很大，校準(zhǔn)時(shí)需要根據(jù)實(shí)際情況選擇相關(guān)的計(jì)量特性。㈣ⅢⅢ㈣㈣㈣㈣㈣㈨㈣㈣㈣XMJJF 1064—2010坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范1 范圍 本規(guī)范適用于三維直角坐標(biāo)系的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)。168。168。168。㈠∽㈡㈡㈡168。8．1校準(zhǔn)證書 一8．2符合性評(píng)定 一9復(fù)校時(shí)間間隔 一 H卜卜K二=168。 56．4標(biāo)準(zhǔn)器 一 67校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法 一 77．1探測(cè)誤差 一 77．2尺寸測(cè)量誤差 一7．3四軸誤差 一7．4掃描探測(cè)誤差 55．6多探針探測(cè)系統(tǒng)誤差 ．． 56校準(zhǔn)條件 一 56．1環(huán)境條件 一 56．2測(cè)頭系統(tǒng)配置 一 56．3操作條件 55．4四軸誤差 一 55．5掃描探測(cè)誤差(THr) 歸口單位：全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì) 起草單位：中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院廣東省計(jì)量科學(xué)研究院 蘇州天準(zhǔn)精密技術(shù)有限公司本規(guī)范由歸口單位負(fù)責(zé)解釋本規(guī)范起草人：王為農(nóng)(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院) 裴麗梅(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院) 張 勇(廣東省計(jì)量科學(xué)研究院) 任國(guó)營(yíng)(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院)徐一華(蘇州天準(zhǔn)精密技術(shù)有限公司)JJF 1064—2010目 錄1范圍 一 12引用文獻(xiàn) 一 l3術(shù)語(yǔ)和定義 ． 24概述 一 45計(jì)量特性 一 45．1探測(cè)誤差 一 45．2尺寸測(cè)量示值誤差(E) 一 55．3影像測(cè)頭尺寸測(cè)量誤差(Ev) 零霉蘆中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF 10642010坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范Calibration Specification for Coordinate Measuring Machine2010—09—06發(fā)布 2011—03—06實(shí)施國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布JJF 10642010坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范 廠” 一一一。 “、l JJF 1064—2010 ；5 0Calibration Specification for {代替JJF 1064—2004；Coordinate Measuring Machine ≮一．．一、．， 一一一，．j本規(guī)范經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局2010年9月6日批準(zhǔn)，并自2011年 3月6日起施行。7．5多探針探測(cè)系統(tǒng)誤差 8校準(zhǔn)結(jié)果的處理 “H附錄A期間核查(資料性附錄) 一 X附錄B大型坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的補(bǔ)充測(cè)量 一附錄C測(cè)量不確定度評(píng)估示例 一附錄D校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)格式 一 168。168?！?68。168?！注椤?68。驗(yàn)收檢測(cè)可參照?qǐng)?zhí)行。2引用文獻(xiàn)凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不 適用于本規(guī)范，但根據(jù)本規(guī)范達(dá)成協(xié)議的各方可協(xié)商是否可使用這些文件的最新版本。GB／T 16857．1—2002產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù) 檢檢測(cè)第1部分：詞匯GB／T 16857．2—2006產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS) 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢 檢測(cè) 第2部分：用于測(cè)量尺寸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)ISO 10360—3：2000產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢 檢測(cè) 第3部分：配置轉(zhuǎn)臺(tái)軸線作為第四軸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(Geometrical Product SDecifications(GPS)一Acceptance and reverification tests for coordinate measuring machines(CMM)一Part 3：CMMs with the axis of a rotary table as the fourth axis)GB／T 16857．4—2003 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè) 第4部分：在掃描模式下使用的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)GB／T 16857．5—2004產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù) 檢檢測(cè) 第5部分：使用多探針探測(cè)系統(tǒng)的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)VDI／VDE 2617 Part 6．1坐標(biāo)測(cè)量機(jī)準(zhǔn)確度：計(jì)量特性及其測(cè)試。3．2 (三維)探測(cè)誤差(P)probing error用坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)定球形實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的半徑變化范圍。測(cè)量點(diǎn)到圓心距離的變化量為二維測(cè)頭探 測(cè)誤差。測(cè)量點(diǎn)到圓心距離的變化量為影像測(cè)頭 探測(cè)誤差。2 Prv只適用于能在影像測(cè)頭視場(chǎng)內(nèi)進(jìn)行測(cè)量的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。注：當(dāng)測(cè)頭只能從一個(gè)方向進(jìn)行測(cè)量時(shí)，可以用同方向測(cè)量要素尺寸測(cè)量的示值誤差，但須進(jìn)行說(shuō)明。不移動(dòng)影像測(cè)頭，采用離 散點(diǎn)探測(cè)模式測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)器，測(cè)量值與標(biāo)準(zhǔn)器實(shí)際值的差值。2 Ev只適用于能在影像測(cè)頭視場(chǎng)內(nèi)進(jìn)行測(cè)量的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。3．8切向四軸誤差(FT)tangential four—axis error用轉(zhuǎn)臺(tái)的軸線作為第四軸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在工件坐標(biāo)系統(tǒng)內(nèi)測(cè)得的檢測(cè)球中心位置誤 差的切向分量。3．10掃描探測(cè)誤差(丁HP)scanning probing error按照高點(diǎn)密度，規(guī)定軌跡進(jìn)行掃描測(cè)量獲得的檢測(cè)球半徑值變化的范圍。3．12固定多探針探測(cè)系統(tǒng)形狀誤差(MF) fixed multiple—stylus probing systemform error在坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上用固定多探針以離散點(diǎn)探測(cè)方式在檢測(cè)球上進(jìn)行測(cè)量，用最小二乘 法擬合計(jì)算，得到的檢測(cè)球半徑示值變化的范圍。 3．14固定多探針探測(cè)系統(tǒng)位置誤差(ML) fixed multiple—stylus probing systemlocation error在坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上用固定多探針以離散點(diǎn)探測(cè)方式在檢測(cè)球上進(jìn)行測(cè)量，用最小二乘 法擬合計(jì)算，得到的檢測(cè)球中心坐標(biāo)變化的范圍。 3．16萬(wàn)向探測(cè)系統(tǒng)尺寸誤差(AS)articulated probing system size error在坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上用萬(wàn)向探測(cè)系統(tǒng)以離散點(diǎn)探測(cè)方式在檢測(cè)球上進(jìn)行測(cè)量，用最4x 乘法擬合計(jì)算，得到的檢測(cè)球直徑示值的誤差。 3．18影像測(cè)頭變倍探測(cè)誤差(PzFv)probing error of the zoom imaging probe采用變倍影像測(cè)頭的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，測(cè)量同一個(gè)圓形目標(biāo)，不同倍率下目標(biāo)圓心坐標(biāo) 的示值變化范圍。(見圖1) 3．20測(cè)量窗 measuring window視場(chǎng)中用于確定測(cè)量點(diǎn)(集)的區(qū)域。3JJF 1064—20103．21 (二維探測(cè)系統(tǒng)的)測(cè)量平面measuring plane(of the 2D probing system)由二維探測(cè)系統(tǒng)決定的二維平面。通過測(cè)頭對(duì)被測(cè)物體的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，可以對(duì)各種復(fù)雜形狀的三維零件表面坐標(biāo) 進(jìn)行測(cè)量。通過增加不 同附件，如旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、旋轉(zhuǎn)測(cè)座、多探針組合、接觸或非接觸測(cè)頭等，可以提高測(cè)量的靈活性和適用范圍。測(cè)量尺寸是坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的基本功能。5計(jì)量特性5．1探測(cè)誤差5．1．1 (三維)探測(cè)誤差(P)4JJF 1064—20105．1．2二維測(cè)頭探測(cè)誤差(P。環(huán)境條件在允許極限內(nèi)，測(cè)量結(jié)果均有效。 6．2測(cè)頭系統(tǒng)配置需考慮規(guī)定的最大允許誤差對(duì)應(yīng)的測(cè)頭系統(tǒng)配置的極限(探針、探針加長(zhǎng)桿、探針 方向、探針系統(tǒng)的重量、影像測(cè)頭物鏡放大倍數(shù)、照明條件等)。掃描探測(cè)誤差應(yīng)使用標(biāo)稱直徑3 mm的球端探針進(jìn)行檢測(cè)。當(dāng)探針長(zhǎng)度不可能完全相等 時(shí)，探針長(zhǎng)度有6 mm或lo％的名義長(zhǎng)度差異也是可以的。 6．3操作條件坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)應(yīng)平穩(wěn)，無(wú)部件干涉引起的噪聲。 當(dāng)進(jìn)行校準(zhǔn)和驗(yàn)收檢測(cè)時(shí)應(yīng)采用制造商的操作說(shuō)明書中規(guī)定的程序操作坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。注：在進(jìn)行探測(cè)系統(tǒng)標(biāo)定前，需先清潔探針針頭和標(biāo)準(zhǔn)器，清除可能影響測(cè)量或檢測(cè)結(jié)果的殘留物。其他尺寸應(yīng) 使測(cè)量長(zhǎng)度間隔基本均勻。對(duì)使用影像探測(cè)系統(tǒng)的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，采用標(biāo)準(zhǔn)線紋尺作為尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器，最短長(zhǎng) 度≤30 mm，最大長(zhǎng)度不小于空間對(duì)角線的66％，共五個(gè)不同尺寸。標(biāo)準(zhǔn)器的長(zhǎng)度應(yīng)經(jīng)過校準(zhǔn)。評(píng)價(jià)影像測(cè)頭尺寸測(cè)量誤差E。6．4．2檢測(cè)球檢測(cè)球應(yīng)滿足表l要求，根據(jù)需要選擇。不大于0．05,um；直徑和形狀經(jīng)校準(zhǔn)擊10 iilm～2 檢測(cè)球 直徑和形狀經(jīng)校準(zhǔn) —L + 擊30 mm檢測(cè)球組 擊10 1Ttl3n～3 形狀經(jīng)校準(zhǔn) +(兩個(gè)球) d30mm注：“+”表示適用，“一”表示不適用。衰2二維靶標(biāo)的要求和適用項(xiàng)目適用項(xiàng)目二維測(cè)