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cuc擴(kuò)散爐-展示頁

2024-08-19 08:48本頁面
  

【正文】 排 風(fēng) 氣源柜 爐體柜 電控柜 推舟機(jī)構(gòu) 排廢口 凈化操作臺 總電源進(jìn)線 進(jìn)氣 擴(kuò)散爐分為四個部分,分別為:控制部分、推舟凈化部分、電阻加熱爐部分、氣源部分。 擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu) CUC擴(kuò)散爐設(shè)備主要技術(shù)規(guī)格 ? 爐膛有效內(nèi)徑; 216。 ℃ /300~1080mm( 801~ 1100℃ ) ≤ 177?!? /24h ( 880℃ 時); ? 溫度斜變能力 : 升溫速率 : ≥ 15℃ /min 最大降溫速率 : 5℃ / min; 太陽能電池片的生產(chǎn)流程 工藝過程 : 制絨接片 超純清洗 測電阻 烘干 裝夾傳刻蝕 5 載氣小 N2 POCL3 O2 + 大 N2 石英管 擴(kuò)散裝置示意圖 : 擴(kuò)散設(shè)備機(jī)理 擴(kuò)散工藝參數(shù)設(shè)定 : 操作狀態(tài)
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