【正文】 a) 酸堿加藥量計(jì)算考慮若進(jìn)水(Max)pH 達(dá) 13 時(shí)，pH 由 13→7 時(shí)，第一段 HCl(32%)加藥量40x101 =q x 103 x Q = 409 L/H 16./05226 / 120→ lpm第二段加藥量，pH10→740x104 =q x 103 x Q = L/H 16./052→ cc/min若考慮 DI 再生時(shí)，pH(Max)由 1→7第一段 Na(OH)(45%)加藥量40x101 =q x 103 x q = 242 l/h →4 5lpm第二段 Na(OH)(45%)加藥量， pH4→740x104 =q x 103 x Q = L/H →4 cc/minTK304 放流水檢知池停留時(shí)間 15min有效容積→V=40 x = 10m3601527 / 12028 / 120 Pamp。(TK101)高濃度含砷廢水設(shè)計(jì) 18m3，以平均 5 天量打至含砷廢水調(diào)勻池(tk102)收集池。各單元如何設(shè)計(jì)可依 教科書(shū)所列。 設(shè)計(jì)處理水質(zhì)進(jìn)流水質(zhì)依各系統(tǒng)提供數(shù)據(jù)推估訂出，放流水水質(zhì)依排放承受水體區(qū)分為：(1) 放流水標(biāo)準(zhǔn)( 詳附件)(2) 農(nóng)田水利灌溉大排標(biāo)準(zhǔn)(詳附件)(3) 工業(yè)區(qū)污水廠納管標(biāo)準(zhǔn)(詳附件)其嚴(yán)格度(2)(1)(3)。污泥脫水機(jī)作動(dòng)流程示意圖(HF 后段處理流程圖)20 / 120 設(shè)計(jì)準(zhǔn)則 設(shè)計(jì)處理水量依據(jù)設(shè)計(jì)指引〝GLDGENVW501 全廠水平衡圖規(guī)劃作業(yè)指引〞之廢水量并考慮廢水處理系統(tǒng)操作時(shí)間(8HR、16HR 或 24HR)，訂出廢水處理量。(D) 污泥擠壓后之過(guò)濾水則經(jīng)由調(diào)節(jié)池中和處理后放流。(B) 污泥注入泵啟動(dòng)時(shí)，由吸口端注入 POLYMER 使污泥易于擠壓成餅。(3) 氨廢水：一般電子廠廢水中含氨量不高情形下，可并入一般酸堿廢水處理，但若量大，則需先進(jìn)行氧化反應(yīng)使 NH4+氧化成 NO2或 NO3，再納入有機(jī)廢水之厭氧反應(yīng)及好氧反應(yīng)以達(dá)成脫氧之目的。(2) 重金屬?gòu)U水：一般重金屬?gòu)U水可以傳統(tǒng)化學(xué)混凝沉淀處理，但近年來(lái)電凝浮除法亦正在發(fā)展，如考慮造價(jià)則傳統(tǒng)化學(xué)混凝沉淀法稍占優(yōu)勢(shì)，但若考慮用地面積則電凝浮除法用地需求較少。圖 42 為直接使用薄膜超過(guò)系統(tǒng)處理，后段并加入 ACF 及IX(離子交換樹(shù)脂 )及 UV 消毒達(dá)到回收水等級(jí)。(C) 另外 BG 廢水性質(zhì)與 CMP 廢水類似，一般可合并處理。(A) 薄膜超過(guò)濾系統(tǒng)(MEMBRANE ULTRAFILTRATION)：PALL 公司采用超過(guò)濾技術(shù) (MICROZA ULTRAFILTRAION MODULES) 模塊，其特性為雙層薄膜，中空纖維狀，是一種分子量去除大小(MWCO)為14 / 12010,000 DALTONS 之有機(jī)膜。這種 ENCHEM 系統(tǒng)使用流通過(guò)可達(dá)到 200GFD，在低壓下操作(4~10PSI) 并可處理高流量達(dá) 5,000gal/min，與平流式微過(guò)濾系統(tǒng)不同的是并沒(méi)有循環(huán)過(guò)濾而是采用一次通過(guò)過(guò)濾方式。平流式薄膜過(guò)濾系統(tǒng)操作壓力約在 25~75PSIG 之間，流通量范圍在 10~150GFD之間，這些系統(tǒng)被使用于處理 CMP 廢水系統(tǒng)設(shè)備供貨商包括 EPOC FILTRATION、PALL CORP 及 . FILTER等。13 / 120(C) 薄膜微過(guò)濾系統(tǒng) (MEMBRANE MICROFILTRATION)：目前廣泛使用于 CMP 廢水處理之薄膜過(guò)濾系統(tǒng)皆以平行流或掃流式(CROSSFLOW FILTRATION)薄膜微過(guò)濾為主流。以下分別就后段處理單元設(shè)備之研究發(fā)展列舉說(shuō)明：(A) 重力沉降(GRAVITY SETTING)：重力沉淀是一種簡(jiǎn)單且成熟的處理技術(shù)，但占地面積大，除了需要大空間的凝集沉淀槽及濃縮槽外，也需要配合調(diào)整槽及砂濾槽來(lái)使用，初期投資成本包括控制系統(tǒng)、管路及水槽結(jié)構(gòu)等費(fèi)用太高，且系統(tǒng)操作不穩(wěn)定。?不加任何化學(xué)藥品直接以超過(guò)濾(UF) 、電膠凝/電透析(EC/ED)或外加電場(chǎng)微過(guò)濾處理程序。排入污泥貯池之污泥經(jīng)液位控制啟動(dòng)泵浦輸送污泥至污泥脫水機(jī)，濾除液則回流至貯槽 A 再行處理，污泥則定期運(yùn)棄。經(jīng)膠凝槽反應(yīng)之處理廢水流入沉淀槽進(jìn)行固液分離之過(guò)程，經(jīng)一段時(shí)間后底部之污泥排入污泥貯地。經(jīng)反應(yīng)之白色混濁狀之廢水，溢流至凝集槽與凝集劑反應(yīng)，促使CaF2 之微細(xì)顆粒形成較大顆粒帶正電之水合離子。當(dāng)?shù)蜐舛群鷱U水貯槽液位達(dá)設(shè)定高液位時(shí)，由液位控制傳達(dá)訊號(hào)啟動(dòng)泵浦，定量輸送貯槽內(nèi)之低濃度含氟廢水至貯槽與高濃度含氟廢水混合。一般常見(jiàn)的處理流程如下：可將 COD 由 1000 mg/L 降至 100 mg/L 以下，若進(jìn)口濃度更高，則可考慮在末段加一組活性碳。近來(lái)又推出了兩種新的污水處理技術(shù)，其一是 BIOPUR 法( 曝氣生物濾池)，其二是 MBR 法(薄膜生物反應(yīng)器 )。其中最早采用是傳統(tǒng)活性污泥法，但隨著在實(shí)際生產(chǎn)上的廣泛應(yīng)用和技術(shù)上的不斷革新改進(jìn)，特別是近幾十年來(lái)，在對(duì)其生物反應(yīng)和凈化機(jī)制進(jìn)行深入研究、探討的基礎(chǔ)上，活性污泥法在生物學(xué)、反應(yīng)動(dòng)力學(xué)的理論方面以及在制程方面都得到了長(zhǎng)足的發(fā)展。如圖一所示：為兩段式中和處理系統(tǒng)7 / 1208 / 1202. 有機(jī)廢水處理電子廠有機(jī)廢水其主要特點(diǎn)是 BOD5/CODcr 值 ，?好的廢水。 各股廢水之處理方法6 / 1201. 一般酸堿廢水處理一般將全廠廢水經(jīng)前處理后或具酸堿廢水性質(zhì)者，均納入此系統(tǒng)，集中后以酸堿藥劑中和至符合放流水標(biāo)準(zhǔn)(或園區(qū)/工業(yè)區(qū)納管標(biāo)準(zhǔn))后排放。冷卻水塔旁濾系統(tǒng)反洗水：主要含 SS。7. 其他廢水純水再生廢水：MMF、ACF 反洗水主要污染成份為 SS，離子交換樹(shù)脂再生廢水主要污染特性為 pH 值，其他如 RO、EDI、UF 濃縮水一般均可回收利用。5. 重金屬?gòu)U水一般晶圓廠及 TFTLCD 廠較少有重金屬?gòu)U水產(chǎn)生，但對(duì) PDP 制程，其它電子組件，如：MLCC、CHIPR 或電鍍制程者，就必需處理金屬?gòu)U水，另外，如：砷化鎵制程有含砷廢水，而銅制程 CMP 廢水則含 Cu 離子需去除。需特別注意濃度高于 10% 之氫氟酸，應(yīng)視為化學(xué)品廢液納入化學(xué)系統(tǒng)之廢液收集系統(tǒng)。一般需生物處理法去除。特性為 pH 變動(dòng)大，水中緩沖(buffer) 少，此類廢水量一般為最大宗。8. F (Fluoride)氟離子高濃度的氟化物對(duì)河川中生物具有毒性，因此對(duì)放流水質(zhì)之氟離子含量有其規(guī)定限值。一般來(lái)說(shuō)，廢水之 COD 較 BOD 高，因?yàn)槟鼙换瘜W(xué)氧化的化合物較被生物氧化的化合物為多，又 COD 與 BOD 間存有某種關(guān)系且COD 約 3 小時(shí)即可測(cè)出，因此，通常用 COD 值來(lái)當(dāng)做處理廢水之依據(jù)。主要是測(cè)量水中被微生物用來(lái)分解有機(jī)物所耗的溶解氧量。4. PH 值代表水值酸堿程度的一指標(biāo)，pH=7 為中性；Ph7 為酸性；Ph7 為堿性。一般污泥脫水可分為自然脫水與機(jī)械脫水。3. 沉淀(Sedimentation)水質(zhì)經(jīng)凝結(jié)及凝聚作用后形成較大的凝集體，在沉淀池內(nèi)使有足夠的沉降時(shí)間與沉降速度使凝集體沉積池底。常用之混凝劑有硫酸鋁(明礬)，多元氯化鋁 (PAC)，硫酸亞鐵 (綠礬)。Waste Water Treatment System Planand Basic Design Guide廢水處理系統(tǒng)規(guī)劃及基本設(shè)計(jì)指引技術(shù)手冊(cè)2 / 120目 錄 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 3 設(shè)計(jì)準(zhǔn)則 18 設(shè)計(jì)應(yīng)注意事項(xiàng) 29 應(yīng)研讀之法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)、書(shū)籍或數(shù)據(jù) 42 ABC 科技股份有限公司范例 593 / 120 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 名詞釋義1. 混凝(Coagulation)由于微粒表面電荷中和后，利用粒子與粒子間彼此微弱的 vander walls 吸引力所造成的凝集作用。此種力量非常薄弱，容易受到機(jī)械力的破壞，因此混凝作用時(shí)，常加入助凝劑 (如 polymer)利用膠羽使粒子與粒子結(jié)合成較大的凝集體。2. 膠凝(Flocculation)在兩個(gè)或多個(gè)微粒間，利用高分子聚和物 (polymer)來(lái)做架橋作用，使微粒聚集成較大凝集體而增加沉降速度。污泥脫水(Sludge Dewatering)污泥脫水之目的在于減少污泥體積，使污泥易于搬運(yùn)及廢棄。自然脫水乃利用干燥砂床將污泥披撒其上，藉重力把水份過(guò)濾掉在經(jīng)由蒸氣干燥達(dá)到脫水目的。5. BOD 5 (Biochemical Oxygen Demand)五日生化需氧量用以表示廢水及表面水有機(jī)污染物的重要參數(shù)。4 / 1206. COD(Chemical Oxygen Demand)化學(xué)需氧量COD 試驗(yàn)是用測(cè)量廢水及天然水中有機(jī)物能被氧化之氧當(dāng)量。7. . (Suspended Solid)懸浮固定體指懸浮于水中之物質(zhì)，其范圍有自細(xì)小的膠狀粒子至粗大的固定物，為污水水質(zhì)之重要指標(biāo)。 廢水來(lái)源及水質(zhì)水量之分析以電子廠廢水來(lái)源及特性來(lái)看，大致可分為： 1. 一般酸堿廢水包括 Wet Bench 排水含HCL、HNO H 2SO H3POCH 3COOH、NH 4OH、H 2O2……etc。2. 有機(jī)廢水此類廢水通常在 TFTLCD 或 PDP 制程產(chǎn)生，其 COD 濃度平均1800 mg/L，變化范圍一般在 1000~4500 mg/L。3. 含氟廢水5 / 120主要為晶圓廠蝕刻制程經(jīng)清洗產(chǎn)生之廢水，一般可分為低濃度(F ：200 mg/L) 高濃度(5~7%)。4. CMP 研磨廢水化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)制程為 12〞晶圓制造的必備制程，其廢水含有大量奈米級(jí) (小于 100mm)的顆粒(其成份可能含有Cu、W、Ti 、Ce 等重金屬及不可知的商業(yè)機(jī)密有機(jī)成份)，一般研磨液可分為氧化膜及金屬膜兩大類。6. BG 晶背研磨廢水BG 廢水為晶圓制程過(guò)程晶背研磨之清洗廢水，含有大量 SiO2 顆粒，其粒徑 小于 。廢氣洗滌塔排放水：主要含 SS 及依其廢氣性質(zhì)而定之酸堿廢水。生活污水：一般為BOD=230mg/L，COD=460mg/L，SS=230mg/L 為設(shè)計(jì)基準(zhǔn)。一般設(shè)計(jì)時(shí)，需考慮兩段式中和處理，其原因?yàn)殡娮訌S酸堿廢水一般緩沖物質(zhì)(BUFFER)少，故 pH 調(diào)整不易，在設(shè)計(jì)時(shí)甚至有人建議應(yīng)采三段式中和設(shè)計(jì)。生化處理由于技術(shù)成熟、運(yùn)行成本較低、操作管理簡(jiǎn)單，已成為目前有機(jī)廢水處理的技術(shù)核心。人們開(kāi)發(fā)了一系列生化處理新方法，例如：吸附一生物氧化法(AB 法) ；厭氧/好氧活性污泥法 (A/O 法) ；厭氧/ 缺氧 /好氧活性污泥法(A 2/O 法)；氧化渠法；批次式活性污泥法(SBR 法)及其變形 (MSBR、CAST、UNITANK 等)。有機(jī)廢水設(shè)計(jì)時(shí)，一般考慮 COD 濃度去除率，由于放流水標(biāo)準(zhǔn)COD 訂為 100mg/L，因此如何搭配不同處理單元即成為設(shè)計(jì)重點(diǎn)。若進(jìn)口 COD 濃度低至 200~300 mg/L，則可以僅考慮接觸氧化處理，如圖二所示：溶解空氣上浮 水解酸化 沉淀 過(guò)濾接觸氧化 消毒9 / 12010 / 1203. 含氟廢水處理氫氟酸廢水可分為高濃度含氟廢水及低濃度含氟廢水，由制程排出分別收集于貯槽。高濃度含氟廢水經(jīng)收集至貯槽與低濃度含氟廢水混合，當(dāng)液位達(dá)設(shè)定高液位時(shí)由液位控制傳達(dá)訊號(hào)啟動(dòng)泵浦，定量輸送貯槽內(nèi)之廢水至反應(yīng)槽，石灰亦同時(shí)定量輸至反應(yīng)槽，反應(yīng)槽內(nèi)經(jīng) pH 控制偵測(cè)槽內(nèi)廢水之 pH 值小于 11 時(shí)，即輸出訊號(hào)輸送堿液至反應(yīng)槽調(diào)節(jié)pH 值，經(jīng)反應(yīng)形成 CaF2 白色混濁狀之微細(xì)顆粒，降低廢水之游離氟離子濃度使小于 15PPM。經(jīng)凝集槽反應(yīng)之處理水流入膠凝槽與膠凝劑混合，促使處理水之懸浮顆粒結(jié)合，形成更大之顆粒。而上澄液則經(jīng)由管線排入調(diào)整池做后續(xù)處理。圖三為含氟廢水處理系統(tǒng)流程：11 / 12012 / 1204. CMP/BG 廢水處理國(guó)內(nèi)外目前已被研究或發(fā)展使用之 CMP 廢水處理技術(shù)可分為兩大類：?以化學(xué)加藥混凝做前處理伴隨重力沉淀、加壓浮上或薄膜過(guò)濾等處理程序。茲分述如下：(1) 化學(xué)加藥混凝做前處理，伴隨后段處理單元設(shè)備：化學(xué)加藥混凝及膠羽作用是一種既有效又普遍的化學(xué)處理程序，包括借著帶相反電荷之無(wú)機(jī)及有機(jī)物質(zhì)表面電性中和及離子的中和作用，以使去穩(wěn)定化的溶解或懸浮固體物質(zhì)形成膠羽，并借著后段處理單元來(lái)移除 CMP 廢水中所含之懸符微顆粒、重金屬及一些有機(jī)物質(zhì)。(B) 溶氣加壓浮選(DISSOLVED AIR FLOTATION)：CMP 研磨廢液內(nèi)含高濃度之懸浮固體物，以柱型浮選槽能有效地選分離研磨漿料，當(dāng)加入補(bǔ)集劑油酸鈉時(shí)其效果更顯著，配合控制溶氣壓力、溶氣飽和時(shí)間及加入適當(dāng)藥劑來(lái)回收研磨漿料固粒，并達(dá)到與廢水分離的目的。包括動(dòng)態(tài)過(guò)濾膜(DYNAMIC LAYER)及陶瓷膜(CERAMIC TUBE FILTER)。(D) 一次通過(guò)低壓薄膜組合系統(tǒng)(SINGL