【正文】 mg/L；pH 值變化 MB 再生（1~13）、softener 再生及一般酸堿廢水（ 4~10）。 流程說(shuō)明85 / 120處理流程詳附件一 1266WF01 廢水處理系統(tǒng)流程圖。 含砷廢水A. 為使含砷廢水之含砷濃度勿過(guò)高，乃先收集至 (TK101)高濃度含砷廢水池，設(shè)計(jì) 18m3，以平均 5 天量打至含砷廢水調(diào)勻池(TK102) 收集池。經(jīng) TK102 收集后，與定量之放流水混合，使稀釋 Na2HAsO4 濃度。B. 設(shè)計(jì) TK102 容量 10m3。含砷廢水設(shè)計(jì)處理量 5m3/h，選用 FeCl3 作反應(yīng)劑以去除Na2HAsO4，反應(yīng)式如下：3Na2HAsO4+3H2O+2 FeCl3? Fe(OH)3(s) + Fe(H2ASO4)3(s) + 6NaCl其砷、鐵比需在 20 倍，使去除率達(dá) %，As 出流水3mg/L 選用藥劑如下：Ca(OH)2(1%)、FeCl 3(20%)、Polymer(%)其中 Ca(OH)2（100% ） / FeCl3（100%）=4/Polymer（100% ）/ FeCl3（100% ）=1/50 一般廢水一般廢水包括超純水系統(tǒng)（MMF、AC 、Softener 及 MB）之再生反洗廢水、制程廢水之一般酸堿廢水（parts clean）、中央廢氣處理系統(tǒng)排放水、冷卻水塔排放水及處理后之含砷廢水，經(jīng) TK301 一般廢水收集池（有效容量、 V=30m3）收集后，設(shè)計(jì)處理量以尖峰進(jìn)水量 40m3/h 設(shè)計(jì)，再經(jīng)兩段式 pH 調(diào)整至 pH6~9 后排放。 放流水經(jīng) pH 調(diào)整后之處理水，并加上如不回收之回收水（包括：wafer 86 / 120clean、空調(diào)冷凝水及第一段 RO 濃縮水），至 TK304 放流水檢知池收集后，由泵浦打至廠周界放流采樣井，廢水放流水水質(zhì)須達(dá)：pH6~As 出流水。另為稀釋高濃度含砷廢水，設(shè)計(jì)由定量泵浦將處理后之放流水打至 TK101。 污泥處理經(jīng)沉淀槽收集之污泥，經(jīng)污泥泵浦傳送至污泥貯槽儲(chǔ)存，再利用板框式脫水機(jī)脫水至含水率 75%以下，以太空包收集后，由業(yè)主委托待處理業(yè)清運(yùn)。 設(shè)備規(guī)格 TK101 高濃度含砷廢水收集池A. V=18m3（有效容量）B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。 TK102 含砷廢水調(diào)勻池A. V=10m3（有效容量）B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。 TK301 一般廢水收集池A. V=30m3（有效容量）B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其87 / 120中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。 TK304 放流水檢知池A. V=10m3（有效容量）B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。 TK103 砷系 pH 調(diào)整槽A. V=，停留時(shí)間 20min，與 TK104 共構(gòu)B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。 TK104 反應(yīng)槽A. V=，停留時(shí)間 20min，與 TK103 共構(gòu)B. 尺寸： (H)(real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。 TK105 膠凝槽A. V=，停留時(shí)間 20min，與 TK104 共構(gòu)B. 尺寸： (H)(real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于88 / 1207mmt。 TK106 沉淀槽A. 用途：將化學(xué)混凝后的處理水藉由傾斜板之比表面積使水中膠羽得以順利沉降。B. 數(shù)量：1座。C. 容量：有效處理容量至少5m 3/hr以上。D. 表面溢流率= 3/m2?hr，停留時(shí)間 20minE. 尺寸： (H)F. 結(jié)構(gòu)：以SUS 304/3mm以上不銹鋼鋼板焊制而成內(nèi)外面加1底2 度 Epoxy防蝕處理，并以型鋼適當(dāng)補(bǔ)強(qiáng)。其整體結(jié)構(gòu)必須具有以下單元及功能：1. 傾斜板之有效沉降表面積必須能夠負(fù)荷5m 3/hr以上之水量，同時(shí)經(jīng)沉淀后的處理水懸浮固體含量必須低于30mg/L。，且刮泥機(jī)轉(zhuǎn)速必須配合沉淀槽凈高及污泥區(qū)尺寸，不得因刮泥機(jī)之運(yùn)轉(zhuǎn)而造成沉降污泥上浮等問(wèn)題。 PLC控制其刮泥及排泥頻率并配合外圍處理單元作控制上的連動(dòng)。 TK302 第一 pH 調(diào)整槽A. V=，停留時(shí)間 10minB. 尺寸： (H)(real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，與 TK303 共構(gòu)槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。89 / 120 TK303 第二 pH 調(diào)整槽A. V=，停留時(shí)間 10minB. 尺寸： (H)(real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，與 TK302 共構(gòu)槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。 TK107 污泥貯槽A. V=5m3，停留時(shí)間至少 12hrB. 尺寸： (H)(effective H )C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。 TK206 清水貯槽A. V=2m3B. 尺寸：(H)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體內(nèi)、外壁需 1 底 2度 Epoxy 防蝕處理或直接使用 FRP 材質(zhì)。D. 可配合高壓清洗水泵選擇套裝設(shè)備。 TK202 NaOH 藥槽 (45%)A. V=3m3B. 尺寸：(H)C. 槽體材質(zhì)為 FRP，本貯槽必須由合格之專業(yè) FRP 制造廠家提供槽體，除需依設(shè)計(jì)預(yù)留加藥管、回液管、排氣管之法蘭口外，同時(shí)須附含有刻度以及保護(hù)套管。 TK205 HCl 藥槽(32%)A. V=3m390 / 120B. 尺寸：(H)C. 槽體材質(zhì)為 FRP，本貯槽必須由合格之專業(yè) FRP 制造廠家提供槽體，除需依設(shè)計(jì)預(yù)留加藥管、回液管、排氣管之法蘭口外，同時(shí)須附含有刻度以及保護(hù)套管。 Ca(OH)2 藥槽(1%)A. V=10m3B. 尺寸：(H)C. 槽體材質(zhì)為 FRP，本貯槽必須由合格之專業(yè) FRP 制造廠家提供槽體，除需依設(shè)計(jì)預(yù)留加藥管、回液管、排氣管之法蘭口外，同時(shí)須附含有刻度以及保護(hù)套管。 FeCl3 藥槽(20%)A. V=2m3B. 尺寸：(H)C. 槽體材質(zhì)為 FRP，本貯槽必須由合格之專業(yè) FRP 制造廠家提供槽體，除需依設(shè)計(jì)預(yù)留加藥管、回液管、排氣管之法蘭口外，同時(shí)須附含有刻度以及保護(hù)套管。 Polymer 藥槽(%)A. V=3m3B. 尺寸：(H)C. 槽體材質(zhì)為 FRP，本貯槽必須由合格之專業(yè) FRP 制造廠家提供槽體，除需依設(shè)計(jì)預(yù)留加藥管、回液管、排氣管之法蘭口外，同時(shí)須附含有刻度以及保護(hù)套管。 P101A/B 砷系廢水定量泵A. 型式：隔膜定量B. 容量：15Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力)C. 材質(zhì)：膜片部份為 PTFE/EPDM 或經(jīng)核可之同級(jí)材質(zhì)D. 具逆止閥、泄壓閥、脈動(dòng)緩沖及背壓閥之功能E. 數(shù)量：2 臺(tái)91 / 120 P102A/B 砷系廢水傳送泵A. 型式：陸上型式無(wú)軸封離心泵B. 容量：揚(yáng)程28m時(shí)，流量不小于5CMHC. 接液部材質(zhì)須為Teflon或同等級(jí)材質(zhì)D. 使用電源：380V ／3?／60HzE. 數(shù)量：2臺(tái) P301A/B 一般廢水傳送泵A. 型式：陸上型式無(wú)軸封離心泵B. 容量：揚(yáng)程 28m 時(shí)，流量不小于 40CMHC. 接液部材質(zhì)須為 Teflon 或同等級(jí)材質(zhì)D. 使用電源：380V／ 3?／60HzE. 數(shù)量：2 臺(tái) P304A/B 放流水傳送泵A. 型式：陸上型式離心泵B. 容量：揚(yáng)程 6m 時(shí)，流量不小于 50CMHC. 接液部材質(zhì)須為 SUS316D. 使用電源：380V／ 3?／60HzE. 數(shù)量：2 臺(tái) P206 高壓清洗水泵A. 型式：陸上型式離心泵B. 容量：揚(yáng)程 25m 時(shí)，流量不小于 6CMHC. 接液部材質(zhì)須為 SUS316D. 使用電源：380V／ 3?／60HzE. 數(shù)量：2 臺(tái) P106A/B 沈淀槽污泥泵A. 型式：正排放單軸偏心螺旋泵B. 處理容量： 3/hr，出口壓力 2kg/cm2 以上。C. 材質(zhì)本體：本螺旋泵轉(zhuǎn)子應(yīng)為硬工具鋼或更佳材質(zhì)，本體軸封92 / 120應(yīng)為 NBR 材質(zhì)之墊圈及０環(huán)，定子應(yīng)為特殊抗磨PERBUNANE 或同等材質(zhì)，外殼應(yīng)為鑄鐵材質(zhì)，銷接合端應(yīng)以礦油潤(rùn)滑水平橫軸，出口端應(yīng)為法蘭接合。D. 驅(qū)動(dòng)設(shè)備：減速機(jī)應(yīng)為齒輪式，并有適當(dāng)潤(rùn)滑裝置，適用于電源 380V，60HZ，3φ。E. 附件：管式壓力開關(guān)同時(shí)具空轉(zhuǎn)偵測(cè)及高/低壓保護(hù)。F. 數(shù)量：2 臺(tái)。 P107A/B 脫水機(jī)污泥泵A. 型式：氣動(dòng)雙隔膜式B. 容量： 3/h，出口壓力 7kg/cm2 以上C. 膜片材質(zhì)應(yīng)為抗磨損性高之 Neoprene，本體材質(zhì)為 SUS316D. 標(biāo)準(zhǔn)附件：消音器、空氣控制閥及潤(rùn)滑器。 P201A/B Ca(OH)2 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量：32 Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力 )C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 1%Ca(OH)2D. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能：380V／3?／60Hz P202A/B NaOH 加藥機(jī)：隔膜定量：1 Lpm(最大吐出量)，10 kg/cm2(最高吐出壓力 )：與液體接觸之部份能耐 45% NaOHD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能：380V／3?／60Hz P202 C/D NaOH 加藥機(jī)：隔膜定量： Lpm(最大吐出量)，7 kg/cm2(最高吐出壓力 )93 / 120C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 45% NaOH、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源： 380V／3?／60Hz P202 E/F NaOH 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量： Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力)C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 45% NaOHD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源：380V／3?／60Hz P203A/B FeCl3 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量：1 Lpm(最大吐出量)，10 kg/cm2(最高吐出壓力 )C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 20% FeCl3D. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源：380V／3?／60Hz P204A/B Polymer 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量： Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力 )C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 % PolymerD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源：380V／3?／60Hz P205A/B HCl 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量：16 Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力)C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 32%HClD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源： 380V／3?／60Hz94 / 120 P205C/D HCl 加藥機(jī)A. 型式：隔膜定量B. 容量： Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力)C. 材質(zhì)：與液體接觸之部份能耐 32%HClD. 具底閥、逆止、泄壓及背壓閥之功能E. 電源：380V／3?／60Hz P401 NaOH 補(bǔ)充泵A. 型式：陸上型式無(wú)軸封離心泵B. 容量：3m 3/h，H=22mC. 接液部材質(zhì)須為 Teflon 或同等級(jí)材質(zhì)