【正文】 F. 數(shù)量：2 臺(tái)。 P101A/B 砷系廢水定量泵A. 型式：隔膜定量B. 容量：15Lpm(最大吐出量)，5 kg/cm2(最高吐出壓力)C. 材質(zhì)：膜片部份為 PTFE/EPDM 或經(jīng)核可之同級(jí)材質(zhì)D. 具逆止閥、泄壓閥、脈動(dòng)緩沖及背壓閥之功能E. 數(shù)量：2 臺(tái)91 / 120 P102A/B 砷系廢水傳送泵A. 型式：陸上型式無(wú)軸封離心泵B. 容量：揚(yáng)程28m時(shí)，流量不小于5CMHC. 接液部材質(zhì)須為T(mén)eflon或同等級(jí)材質(zhì)D. 使用電源：380V ／3?／60HzE. 數(shù)量：2臺(tái) P301A/B 一般廢水傳送泵A. 型式：陸上型式無(wú)軸封離心泵B. 容量：揚(yáng)程 28m 時(shí)，流量不小于 40CMHC. 接液部材質(zhì)須為 Teflon 或同等級(jí)材質(zhì)D. 使用電源：380V／ 3?／60HzE. 數(shù)量：2 臺(tái) P304A/B 放流水傳送泵A. 型式：陸上型式離心泵B. 容量：揚(yáng)程 6m 時(shí)，流量不小于 50CMHC. 接液部材質(zhì)須為 SUS316D. 使用電源：380V／ 3?／60HzE. 數(shù)量：2 臺(tái) P206 高壓清洗水泵A. 型式：陸上型式離心泵B. 容量：揚(yáng)程 25m 時(shí)，流量不小于 6CMHC. 接液部材質(zhì)須為 SUS316D. 使用電源：380V／ 3?／60HzE. 數(shù)量：2 臺(tái) P106A/B 沈淀槽污泥泵A. 型式：正排放單軸偏心螺旋泵B. 處理容量： 3/hr，出口壓力 2kg/cm2 以上。 TK205 HCl 藥槽(32%)A. V=3m390 / 120B. 尺寸：(H)C. 槽體材質(zhì)為 FRP，本貯槽必須由合格之專(zhuān)業(yè) FRP 制造廠家提供槽體，除需依設(shè)計(jì)預(yù)留加藥管、回液管、排氣管之法蘭口外，同時(shí)須附含有刻度以及保護(hù)套管。槽體外壁需 1 底 2 度 Epoxy 防蝕處理，槽內(nèi)需 FRP 內(nèi)襯；其中槽體鋼板厚度，頂板側(cè)板不得小于 5mmt，底板不得小于7mmt。 PLC控制其刮泥及排泥頻率并配合外圍處理單元作控制上的連動(dòng)。C. 容量：有效處理容量至少5m 3/hr以上。 TK105 膠凝槽A. V=，停留時(shí)間 20min，與 TK104 共構(gòu)B. 尺寸： (H)(real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。 TK103 砷系 pH 調(diào)整槽A. V=，停留時(shí)間 20min，與 TK104 共構(gòu)B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。 TK301 一般廢水收集池A. V=30m3（有效容量）B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。 設(shè)備規(guī)格 TK101 高濃度含砷廢水收集池A. V=18m3（有效容量）B. 尺寸： (real)C. 槽體材質(zhì)為 ASTM A283 Grade C，槽體需加頂蓋。含砷廢水設(shè)計(jì)處理量 5m3/h，選用 FeCl3 作反應(yīng)劑以去除Na2HAsO4，反應(yīng)式如下：3Na2HAsO4+3H2O+2 FeCl3? Fe(OH)3(s) + Fe(H2ASO4)3(s) + 6NaCl其砷、鐵比需在 20 倍，使去除率達(dá) %，As 出流水3mg/L 選用藥劑如下：Ca(OH)2(1%)、FeCl 3(20%)、Polymer(%)其中 Ca(OH)2（100% ） / FeCl3（100%）=4/Polymer（100% ）/ FeCl3（100% ）=1/50 一般廢水一般廢水包括超純水系統(tǒng)（MMF、AC 、Softener 及 MB）之再生反洗廢水、制程廢水之一般酸堿廢水（parts clean）、中央廢氣處理系統(tǒng)排放水、冷卻水塔排放水及處理后之含砷廢水，經(jīng) TK301 一般廢水收集池（有效容量、 V=30m3）收集后，設(shè)計(jì)處理量以尖峰進(jìn)水量 40m3/h 設(shè)計(jì)，再經(jīng)兩段式 pH 調(diào)整至 pH6~9 后排放。 流程說(shuō)明85 / 120處理流程詳附件一 1266WF01 廢水處理系統(tǒng)流程圖。 當(dāng)這些法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)或本規(guī)范相互抵觸時(shí)，承包商應(yīng)知會(huì)業(yè)主解決之。 起動(dòng)控制盤(pán)與電源盤(pán)間之配管配線。 提供試車(chē)備品及驗(yàn)收合格后一年運(yùn)轉(zhuǎn)所需備品(不包括藥品及所有運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備所需之潤(rùn)滑油) 。 工程范圍承包商必須提供全套的廢水處理及相關(guān)設(shè)備之設(shè)計(jì)、制造、搬運(yùn)、按裝、檢查、試車(chē)、操作指導(dǎo)及保固，工程內(nèi)容包括：A) 廢水處理系統(tǒng)之設(shè)備﹑相關(guān)配管﹑配件及附屬設(shè)備。78 / 120SPEC. NO. : E1266ABC 科技無(wú)塵室新建工程廢水處理系統(tǒng)規(guī)范書(shū)79 / 120內(nèi) 容頁(yè) 次 范圍10 法規(guī)與標(biāo)準(zhǔn)10 技術(shù)要求10 安裝10 保證與保固10 測(cè)試10 工期與監(jiān)工及訓(xùn)練10 承包商數(shù)據(jù)提供10附錄附 件 一 廢水處理系統(tǒng)流程圖附 件 二 廢水處理系統(tǒng)平面圖附 件 三 各樓層廢水排放管及相關(guān)界面位置圖80 / 120附 件 四 E1266SE01V低壓盤(pán)規(guī)范附 件 五 廢水納管人孔位置圖81 / 120 范圍 一般說(shuō)明 本規(guī)范包括廢水處理系統(tǒng)之技術(shù)及相關(guān)要求，此系統(tǒng)將為配合博達(dá)三期新建廠用以處理全廠制程廢水。如在三年保固期限內(nèi)正常使用情形下有故障或損壞時(shí)，廠商應(yīng)負(fù)責(zé)免費(fèi)修理或更換。(4) 操作和維護(hù)指導(dǎo)手冊(cè)各四冊(cè)。(7) 設(shè)備交貨之預(yù)定時(shí)間表。 承包商絕不能因檢驗(yàn)或試驗(yàn)時(shí)有業(yè)主或其指派之代表在場(chǎng)而推卸其保證與應(yīng)負(fù)之責(zé)任。76 / 120 檢查及試驗(yàn) 配電盤(pán)須在制造廠完成裝配﹑接線﹑調(diào)整和測(cè)試，裝配完成后，須做模擬情況之操作測(cè)試以確保接線和控制之正確性。在油漆前和油漆中，表面要徹底保持干燥和清潔。 名牌 箱外明顯處必須有一金屬制之銘牌標(biāo)示其制造廠家，制造型號(hào)以及各項(xiàng)額定數(shù)據(jù)。75 / 120 控制線 控制線須使用絕緣 600V 之銅絞線，其線徑不得小于 2 平方公厘。 比流器之精確度等級(jí)為 。 總線須具有耐最大短路電流容量之強(qiáng)度。 主斷路器盤(pán)與變壓器相連接之主總線連接及開(kāi)孔須與變壓器廠商互相配合﹐并提供連接用之總線及軟銅帶。 所有饋線回路斷路器應(yīng)為模鑄式(NFB) ，其遮斷容量依單線圖內(nèi)容為準(zhǔn)。(c) 指示燈，綠色指示”啟斷”。 為防止盤(pán)內(nèi)超過(guò)最高容許溫度，必須設(shè)有通氣孔之裝置，此通氣孔須具有防止其它外物及小動(dòng)物等侵入之功能。 配電盤(pán)各分路使用模鑄式斷路器。周?chē)鷾囟龋鹤罡?40℃﹑ 最低 5℃﹑平均 30℃ 。 標(biāo)準(zhǔn)與法規(guī)低壓配電盤(pán)之設(shè)計(jì)，組立及測(cè)試須符合下列最新版標(biāo)準(zhǔn)與法規(guī)之有關(guān)章節(jié)之規(guī)定。 說(shuō)明科學(xué)工業(yè)園區(qū)污水處及污水下水道使用管理辦案修正法案67 / 120二一、總鉻：毫克／公升二二、溶解性錳：毫克／公升二三、氧化物：毫克／公升二四、氟化物：毫克／公升二五、硫化物：毫克／公升(不含復(fù)合離子)二六、硼：毫克／公升二七、甲醛：毫克／公升二八、透視度：15公分以上二九、硝酸鹽氮：50毫克／公升三十、動(dòng)物羽毛：完全禁止三十一、有毒物質(zhì)：完全禁止三十二：放射性物質(zhì)：完全禁止三十三、易燃或爆炸性物質(zhì)：完全禁止三十四、多律氯聯(lián)苯：不得驗(yàn)出三十五、磷酸鹽(以三價(jià)磷酸根計(jì)算)：毫克／公升三十六、氨氮：毫克／公升三十七、總有機(jī)磷劑：毫克／公升三十八、總氨基假酸鹽：毫克／公升第七條：污水下水道用戶(hù)應(yīng)依據(jù)行政院環(huán)境保護(hù)署修正發(fā)布之﹁環(huán)境保護(hù)專(zhuān)責(zé)單位或人員設(shè)置辦法﹂之規(guī)定設(shè)置專(zhuān)責(zé)單位或甲、乙級(jí)專(zhuān)責(zé)人員，并將設(shè)置許可通知管理局。50 / 120 高酸高堿廢水材質(zhì)選用廢水之性質(zhì)其 PH 值往往低于 2 及高于 12，另含有較微量之氫氟酸，故對(duì)于材質(zhì)之選定除了抗高酸性及高堿性外，對(duì)于較微量之氫氟酸亦需考慮。(c) 多孔管型：濾床上設(shè)置多孔的干管及支管者。48 / 120濾層支持層主要是防止濾料之流出，以礫石(粒徑 2~50mm)分四層(厚度 20~50cm)鋪設(shè)之。于濾層應(yīng)注意事項(xiàng)包括濾層的構(gòu)造、濾料之性質(zhì)、濾層厚度等。一般廢水處理過(guò)濾速度采平均水量 150~200m3/day 為宜，最大水量則以300~400m3/day 為范圍。44 / 120 過(guò)濾設(shè)備之分類(lèi)45 / 12046 / 120 過(guò)濾設(shè)備裝置時(shí)應(yīng)注意事項(xiàng)如下：1. 過(guò)濾水質(zhì)過(guò)濾設(shè)施就是利用物理性的截留作用，將廢水中的不溶性懸浮固形物予以截留去除。沉淀槽表面積= )*/(23dm水 面 積 負(fù) 荷處 理 水 量水面積負(fù)荷為沉淀槽之單位表面積單位時(shí)間處理之水量，以m3/m2*d 表示之。沉淀槽實(shí)際沉淀時(shí)間可以有效容積/處理水量求之。41 / 120 沉淀槽之種類(lèi)及操作注意事項(xiàng)方式形狀及集泥方式注意事項(xiàng) 特征 概略圖長(zhǎng)方式沉淀槽一般附有長(zhǎng)方形污泥刮泥機(jī)起凝聚力強(qiáng)的排水，一般使用于活性污泥處理向上流式沉淀槽圓形、正方形沉淀槽漏斗型，附污泥刮泥機(jī)揚(yáng)起角 60176。注藥管配例示如圖 9 及圖 10，圖中墨黑部份為注藥硫停止操作后，藥液繼續(xù)流出之量，以及加藥泵啟動(dòng)后，為填滿(mǎn)已排空之藥管，延遲時(shí)間加長(zhǎng)。(2) 進(jìn)流水之 PH 變化可快至每分鐘一個(gè) PH 單位。圖 8 各流量調(diào)整方式37 / 120(7) 曝氣攪拌設(shè)備調(diào)勻槽視需要應(yīng)設(shè)置攪拌設(shè)備以使廢水水質(zhì)均勻化，可采用曝氣式攪拌設(shè)備，將空氣打入水中借著空氣之?dāng)嚢枳饔茫沟盟|(zhì)均勻，調(diào)勻槽曝氣式攪拌設(shè)備之動(dòng)力約為 ~。惟本法在閥之裝置部份常有發(fā)生阻塞的問(wèn)題。36 / 120(6) 流量控制方法調(diào)勻池將水質(zhì)、水量均勻調(diào)整后，以穩(wěn)定之流量進(jìn)入后續(xù)處理設(shè)施，流量控制穩(wěn)定，后續(xù)處理設(shè)備才得以發(fā)揮功能。(2) 有效水深：~5m 。材質(zhì)為鋼板襯里或 FRP 槽埋入地下定期實(shí)施內(nèi)部檢查注意及早修補(bǔ)。材質(zhì)采用鋼板襯里、FRP 或 PE 槽日常檢查外部狀況。 各股廢水及廢液經(jīng)由排水溝及配管送入各個(gè)貯槽內(nèi)，一般貯槽的設(shè)計(jì)型式可分為地上、地下、埋入及地下雙重貯槽四種，如圖 7 所示。(9) 配管之口徑應(yīng)較必要之口徑大一些為佳。(5) 采用自然流下排放廢水時(shí)，配管中應(yīng)避免造成空氣室，必要時(shí)應(yīng)于配管途中設(shè)置空氣泄放口。 設(shè)計(jì)應(yīng)注意事項(xiàng) 對(duì)于排水配管考慮要項(xiàng)及維護(hù)管理基本注意事項(xiàng)如下：(1) 制程各藥液槽溢流及排水配管，依其分類(lèi)直接配管排入貯槽內(nèi)。C 設(shè)備、機(jī)械配管安裝 (代料)，儀電配電安裝 (代料)制作適合的規(guī)范，同時(shí)，應(yīng)完成初步 LAYOUT 圖(注：可以不正式 ISSUE)，LAYOUT制作應(yīng)考慮處理單元流動(dòng)性，必要時(shí)繪制水力高程圖，并考慮人流、物流動(dòng)線規(guī)劃，操作平臺(tái)配合操作高度設(shè)置，另外如為配合用地空間，可考慮立體設(shè)計(jì)，將部份小型槽體架高，以創(chuàng)造空間，但相對(duì)需考慮鋼構(gòu)設(shè)計(jì)，工程造價(jià)將提高。其他如電纜、導(dǎo)線管、導(dǎo)線槽、接地系統(tǒng)等，需依 EPC 項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)要求或依 CNS(大陸為 GB)標(biāo)準(zhǔn)。I D 上標(biāo)示儀表符號(hào)即可，控制層回路可省略，輔以控制程序說(shuō)明，在發(fā)展細(xì)部設(shè)計(jì)圖時(shí)再加入，另一方面管路編號(hào)、尺寸、材質(zhì)亦應(yīng)標(biāo)示清楚。22 / 120h/?設(shè)計(jì) TK102 停留時(shí)間 4hr(+) X 4 = m3 choose 10m3設(shè)計(jì)處理量放大安全系數(shù) 2 X m3/h= m3/h，choose 5 m3/h(4) TK301 一般廢水調(diào)勻槽Max DI 尖峰小時(shí) （其中 m3/h 至回收水槽）砷系處理水 5 m3/h制程廢水 m3/h (parts clean)，Wafer clean m3/h 至回收水槽尖峰廢水量 30+5+++=TK301 以 V=30m3 作 buffer 容量，尖峰小時(shí)停留時(shí)間為 42 min后段設(shè)計(jì)處理量取 40m3/h 設(shè)計(jì)處理流程詳 1266wF01(A) 含砷廢水高濃度含砷廢水 2022mg/L (as Na2HAsO4)(a) 經(jīng) TK101 以 m3/day 加至 TK102 含砷廢水調(diào)勻池choose Q=300l/hr，H=6m P101A/B 以每 2hr 加量加1hr 量。 功能計(jì)算及質(zhì)量平衡計(jì)算功能計(jì)算及質(zhì)量平衡計(jì)算之目的在確認(rèn)并得出廢水處理流程中各單元的重要參數(shù)并確認(rèn)功能可達(dá)成。(E) 視濾布之污染狀況實(shí)施自動(dòng)沖洗步驟。如圖 5 所示為氨廢水處理系統(tǒng)流程18 / 12019 / 120(4) 污泥處理一般電子廠所產(chǎn)生之污泥大都為化學(xué)污泥，選用板式過(guò)濾機(jī)，其動(dòng)作原理如下：(A) 污泥泵將沉淀池底之污泥泵至污泥槽儲(chǔ)存至設(shè)定好之高液位后送出一液位信號(hào)通知脫水機(jī)作動(dòng)。15 / 12016 / 12017 / 1205. 其他特殊廢水處理電子廠制程種類(lèi)繁多，因此常有特殊廢水需處理，茲歸納如下：(1) 含砷廢水：在砷化鎵制造廠中會(huì)有含砷廢水需處理，傳統(tǒng)使用鈣鹽、鐵鹽做化學(xué)混凝沉淀處理，但會(huì)產(chǎn)生大量污泥，新的處理方法可以氨鹽加鎂鹽搭配薄膜過(guò)濾處理。(B) 電混凝/電透析技術(shù) (ELECTRO COAGULATION/ ELECTRODE