質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計使用說明書-展示頁
2025-07-29 06:31本頁面
【正文】 為“清洗”位，清洗時的流量可達(dá)該控制器額定滿量程流量的幾倍至幾十倍。最佳操作方法：通電后，將閥開關(guān)置“關(guān)閉”位并將設(shè)定電位器調(diào)到零，再開氣。如果從其他設(shè)備上得到設(shè)定信號，則由外部信號設(shè)定流量。S4933/MT質(zhì)量流量控制器的使用方法和操作步驟（結(jié)合MT50系列流量顯示儀） 開機(jī)前的準(zhǔn)備工作 用我公司提供的電纜線將質(zhì)量流量控制器(計)和流量顯示儀連接。** 除調(diào)零電位器外，不得輕易調(diào)整其它電位器。調(diào)零孔、調(diào)零電位器的位置如圖九所示線性增益內(nèi)調(diào)零 調(diào)零圖九 調(diào)零電位器位置示意圖注意： ** 調(diào)零時流量控制器中不得通氣。但要注意外調(diào)零的調(diào)節(jié)范圍比較小。 **。 零點的調(diào)節(jié) 用戶在使用的過程當(dāng)中，有可能發(fā)生零點偏移，可進(jìn)行零點偏移的調(diào)節(jié)。15V電源的地相連* 177。圖八 直接與計算機(jī)連接的接線方法質(zhì)量流量控制器或質(zhì)量流量計流量檢測設(shè)定零電平閥控A/D轉(zhuǎn)換輸入信號地D/A轉(zhuǎn)換輸出信號地+15V關(guān)閉15V清洗計算機(jī)或PLC( 注意: 質(zhì)量流量計無閥控線和設(shè)定線 )閥控+15V15V0V0V(E0)+15V15V電源COM0~+ 0~+5VMFC/MFM直接與計算機(jī)連接，需要用戶自己提供177。流量檢測輸出電流≤3mA。 與計算機(jī)的連接方法a. 通過流量顯示儀與計算機(jī)(或其它外部信號)的連接方法, 見圖7。其接線方法見圖所示。特別是在拆卸時必須使用雙扳手操作，否則會引起接頭松動，影響密封。（參考流量顯示儀的使用說明書） S49系列質(zhì)量流量控制器外形及安裝尺寸如圖二所示 圖二 S49系列質(zhì)量流量控制器外形及安裝尺寸可以根據(jù)用戶的不同需求，選用兩種類型：1. 雙卡套（Swagelok）；a. Φ6mm； b. Φ3； c. Φ1/4″； a. Φ1/4″； b. Φ3/8″連接方法如圖三，圖四所示 圖三 雙卡套接頭的連接方法注意：按上圖所示安裝接管時，在裝上前卡套、后卡套、螺母后，先用手將螺母與接頭擰緊，再用板手?jǐn)Q緊，以保證不漏氣。在做流量計使用時，流量檢測電壓的輸出值最大可能達(dá)到+10V以上，不過要注意，當(dāng)流量超過滿量程（+5V）后，流量檢測電壓與通過的實際流量不成線性對應(yīng)關(guān)系。當(dāng)與“外”設(shè)相連時，由用戶提供的外部0~+5V電壓控制流量?？刂撇僮饕话阍贛T50系列流量顯示儀上進(jìn)行。分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，控制器輸出的流量檢測電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比, 滿量程()流量檢測輸出電壓為+5V。采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度和壓力的影響。4. 工作原理圖一 熱式質(zhì)量流量計的工作原理圖質(zhì)量流量計由流量傳感器, 分流器通道和流量放大電路等部件組成；在質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了質(zhì)量流量控制器。(~) % 4重復(fù)精度 177。1 % 177。(~) % 6重復(fù)精度 177。 1 % （5sccm~10slm） 177?！ LM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 ( 0℃ )。執(zhí)行Q/XCHBY0012003企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)3．主要技術(shù)指標(biāo)質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。 S4933M/MT型為普通型質(zhì)量流量控制器 S4933BM/MT型普通型質(zhì)量流量計。S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計主要應(yīng)用領(lǐng)域：*半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制*分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制*各種形式的真空鍍膜設(shè)備*環(huán)境檢測與分析設(shè)備*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測和控制*特種材料表面處理裝置與燃燒控制*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測系統(tǒng)等2．S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計型號 本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T1058394以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件及命名方法。S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計特點：R*采用主體不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON 、聚四氟乙烯等*適用于各種腐蝕性氣體*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn)*高精度 *重復(fù)性好 *響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠*低壓降*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計使 用 說 明 書 特點及應(yīng)用領(lǐng)域質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM），用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。*操作使用方便，可任意位置安裝*便于與計算機(jī)連接實現(xiàn)自動控制。其中：S4933/MT型為高精度質(zhì)量流量控制器 S4933A/MT型高精度質(zhì)量流量計。質(zhì)量流量計主要精確測量氣體流量，質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能還具備自動控制氣體流量的功能。質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)。 氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg) (Full Sc
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