質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計使用說明書-全文預(yù)覽
【正文】 四氯化硅 SiCl4 四氟化硅 SiF4 硅烷 SiH4 二氯氫硅 SiH2Cl2 三氯氫硅 SiHCl3 六氟化硫 SF6 二氧化硫 SO2 四氯化鈦 TiCl4 六氟化鎢 WF6 氙氣 Xe 附錄二 氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)使用說明質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計出廠時一般用N2標定，實際使用中如果是其它氣體，必要時可進行讀數(shù)修正。15V電源等*更換傳感器*更換運放，維修電路3在閥門關(guān)閉的情況下，仍有較大的流量流過，進出氣口之間的壓差超過額定值適當降低輸入氣壓，減小氣壓差 閥門污染清洗閥門，更換密封件 調(diào)節(jié)閥故障重新調(diào)整調(diào)節(jié)閥4流量顯示不能達到滿量程度 氣壓降低于額定值提高入口氣壓 通道堵塞*清洗FMC通道 檢查設(shè)定電壓 其它電路故障維修電路續(xù)表4故障判斷和處理一覽表5氣流控制不穩(wěn)定 氣源壓強太低或不穩(wěn)提高氣源氣壓，穩(wěn)定氣源壓強 氣源內(nèi)阻過大降低氣源內(nèi)阻（大流量時要注意開大閥門，加粗管道，以至并聯(lián)氣瓶。特別是用戶如果使用的是腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進出氣口各加裝一個截止閥，以保證安全。 注意工作壓差要特別注意工作介質(zhì)的氣壓，應(yīng)注意使控制器進出氣口兩端的工作壓差保持在指標范圍之內(nèi)。在用戶系統(tǒng)無水汽、無塵、勤清洗、使用得當?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。推薦先關(guān)氣，后斷電源。注意，流量檢測輸出電流不大于3mA。然后將閥關(guān)閉，再開氣，并轉(zhuǎn)到“閥控”位工作。最佳操作方法：通電后，將閥開關(guān)置“關(guān)閉”位并將設(shè)定電位器調(diào)到零，再開氣。S4933/MT質(zhì)量流量控制器的使用方法和操作步驟（結(jié)合MT50系列流量顯示儀） 開機前的準備工作 用我公司提供的電纜線將質(zhì)量流量控制器(計)和流量顯示儀連接。調(diào)零孔、調(diào)零電位器的位置如圖九所示線性增益內(nèi)調(diào)零 調(diào)零圖九 調(diào)零電位器位置示意圖注意： ** 調(diào)零時流量控制器中不得通氣。 **。15V電源的地相連* 177。流量檢測輸出電流≤3mA。其接線方法見圖所示。（參考流量顯示儀的使用說明書） S49系列質(zhì)量流量控制器外形及安裝尺寸如圖二所示 圖二 S49系列質(zhì)量流量控制器外形及安裝尺寸可以根據(jù)用戶的不同需求，選用兩種類型：1. 雙卡套（Swagelok）；a. Φ6mm； b. Φ3； c. Φ1/4″； a. Φ1/4″； b. Φ3/8″連接方法如圖三，圖四所示 圖三 雙卡套接頭的連接方法注意：按上圖所示安裝接管時，在裝上前卡套、后卡套、螺母后，先用手將螺母與接頭擰緊，再用板手擰緊，以保證不漏氣。當與“外”設(shè)相連時，由用戶提供的外部0~+5V電壓控制流量。分流器在主通道和毛細管間產(chǎn)生層流，控制器輸出的流量檢測電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比, 滿量程()流量檢測輸出電壓為+5V。4. 工作原理圖一 熱式質(zhì)量流量計的工作原理圖質(zhì)量流量計由流量傳感器, 分流器通道和流量放大電路等部件組成；在質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了質(zhì)量流量控制器。1 % 177。 1 % （5sccm~10slm） 177。執(zhí)行Q/XCHBY0012003企業(yè)標準3．主要技術(shù)指標質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計主要應(yīng)用領(lǐng)域：*半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制*分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制*各種形式的真空鍍膜設(shè)備*環(huán)境檢測與分析設(shè)備*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測和控制*特種材料表面處理裝置與燃燒控制*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測系統(tǒng)等2．S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計型號 本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準SJ/T1058394以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件及命名方法。 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計使 用 說 明 書 特點及應(yīng)用領(lǐng)域質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。*操作使用方便，可任意位置安裝*便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。質(zhì)量流量計主要精確測量氣體流量，質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能還具備自動控制氣體流量的功能。 氣壓 — 101325
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