【正文】
,指的是通過(guò)測(cè)量樣品的反射率和透射率,經(jīng)過(guò)計(jì)算,求出光學(xué)常數(shù)的方法。 ? 這里的光學(xué)常數(shù)一般是指薄膜的折射率和消光系數(shù)。 ? 假定薄膜的折射率沒(méi)有色散 ? 在膜厚為 λ/4奇數(shù)倍的那些波長(zhǎng)上,其反射率為 222( / )[]( / )somson n nRn n n???式中, n是膜層的折射率, ns是基片的折射率, no是入射媒質(zhì)折射率 ? 于是測(cè)量折射率就成了簡(jiǎn)單的事情,只需要讀取極值反射率,然后從上式求解 n ( 1 )1m s omR n nnR???39。39。 ()2 ( )d n?? ???????上面沒(méi)有消除基片背面反射的影響。 或者作以下的修正 1 ( 2 )FomoFRRRRR????Ro是基片背面反射率, RF是光度計(jì)實(shí)測(cè)的反射率值 將 Rm帶入上面求得 n 可求得薄膜厚度 d為 利用反射率求折射率 利用透射率求折射率 ? 測(cè)量透射率時(shí),修正式為 ( 2 / 1 ) / ( 2 / 1 )m o F o o F oR T T T T T T? ? ? ? ?To是未鍍膜前基片的測(cè)量投射率; TF是膜厚λ/4奇數(shù)倍時(shí)測(cè)量的極值透射率 當(dāng) nd等于 λ/4的奇數(shù)倍時(shí),上式透射率取得極值 2224()ososn n nTn n n??122221 ( 1 ) 1osmmn n nTT??????? ? ? ? ?????????光經(jīng)過(guò)鍍膜基片的透射率為 122121 R eabF abT T eTR??? ?式中, T1, R1分別為鍍膜表面的投射率和反射率;T2, R2分別為基片 空氣表面的透射率和反射率; a和 b為基片的吸收系數(shù)和厚度。 ? 前面我們假定膜層沒(méi)有吸收,實(shí)際透明膜或多或少會(huì)有一些吸收 。39。 2 2 2c o s ( s i n )d d ndni???? 39。39。 2 2 22e x p ( 2 ) e x p e x p ( )( s in )dnddni???????? ? ? ? ??????吸收系數(shù)的測(cè)量 于是經(jīng)過(guò) 2N次反射后從平板射出的光強(qiáng)變?yōu)? 222( 1 2 ) e x p ( )( 1 )1 e x p ( )NNodI I Rd? ? ?????? ? ??? ??????令 22( 1 2 ) e x p ( )1 e x p ( )NNdTd? ? ?????? ? ?? ??????則可求出 α為 ? ?139。 1 / 22sin 122NNNNni Tlnn d T????? ????? ?????吸收系數(shù)的測(cè)量 薄膜折射率的測(cè)量 布儒斯特角方法 21ta n /b n n?n1 n2 b 布儒斯特定律 當(dāng)線偏振光入射到折射率為n2的介質(zhì)表面上時(shí),如果偏振光平行于入射面,若入射角為布儒斯特角 b,則入射光將不發(fā)生反射而全部透射。利用這種方法可以測(cè)量只有介質(zhì)的折射率。 i p i