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多晶硅廠原材料分析講座-展示頁(yè)

2025-05-08 06:13本頁(yè)面
  

【正文】 1 鋁含量,% 移取試液 B的體積, ml ~ > ~ > ~ 加入 5ml抗壞血酸溶液( )、- S乙醇溶液( )、 六次甲基四胺溶液( )。此為試液 B。此為試液 A。 3 . 于鉑皿中加入 (2 .4),沿皿壁加入 20~ 30ml水,加熱至殘?jiān)耆芙猓鋮s。 3 . 將鉑皿置于 450177。 空白試驗(yàn) 隨同試料做空白試驗(yàn)。 2 .10 儀器:分光光度計(jì) 試樣 試樣粒度通過 ,用磁鐵吸去鐵粉。 2 .9 鋁標(biāo)準(zhǔn)溶液:移取 液(2 .8)于 500ml容量瓶中,加入 (2 .4)用水稀釋至刻度,混勻。移入 1000ml容量瓶中,用水稀釋至刻度,混勻。 2 .8 鋁標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液:稱取 聚乙烯杯中,加入約 20ml水、 ,待反應(yīng)緩慢后,于水浴上加熱至溶解完全。 測(cè)定范圍: %~ %。用抗壞血酸掩蔽鐵的干擾,在 ~ 中,鋁于鉻天青- S生成紫紅色配合物。 按下式計(jì)算鐵的百分含量: 10010( % )1601 ????? ?VmVmFeo 實(shí)驗(yàn)室之間分析結(jié)果的差值應(yīng)不大于表 2所列允許差。 減去空白試驗(yàn)溶液的吸光度,以鐵的質(zhì)量為橫坐標(biāo),吸光度為縱坐標(biāo)繪制工作曲線。 工作曲線的繪制 移取 , , , , (可選), ( ),分別置于一組 100ml容量瓶中。 將部分溶液( )移入 1cm吸收皿中,以水為參比,于分光光度計(jì)波長(zhǎng) 510nm處測(cè)量其吸光度。 加入 20ml混合顯色溶液( ),用水稀釋至刻度,混勻。 移入 500ml容量瓶中,用水稀釋至刻度,混勻。 25℃ 的高溫爐中,冒盡硫酸煙,取出,冷卻。 測(cè)定 將試料( )置于 100ml鉑皿中,加入( )、 20~ 25ml氫氟酸( ),分次滴加硝酸( )直至試料大部分溶解,移鉑皿于沙浴上,加熱至試料完全溶解,并蒸干。 試料:稱取 ( )。 儀器:分光光度計(jì)。此溶液1ml含鐵 200ug。一周內(nèi)使用。3H2O)置于燒杯中,加入 500ml水,溶解后過濾于 1000ml容量瓶中,加入 240ml冰乙酸(密度)用水稀釋至刻度,混勻。H2O)置于燒杯中,加 2ml鹽酸( ),加入約 300ml水,溶解后用水稀釋至 500ml,混勻。 測(cè)定范圍: %~ %。在 pH 3~ 5的微酸性介質(zhì)中,鐵與 1, 10-二氮雜菲生成紅色配合物。 二、硅粉粒度 20目 — 30目 — 40目 — 50目 — 60目 — 80目 — 100目 — ? 取樣量: 40— 80g ? 分析天秤稱量,準(zhǔn)確至小數(shù)點(diǎn)后4位 ? 篩分時(shí)間: 8— 15min 三、硅粉中雜技元素含量分析 一)、鐵含量 樣品用氫氟酸和硝酸分解,硫酸冒煙驅(qū)除硅、氟等,殘?jiān)名}酸溶解。 儀器分析的分析對(duì)象一般是半微量 ()、微量 ()、超微量 ()組分的分析。 特點(diǎn): 準(zhǔn)確度高;成本低廉。 ?儀器分析: X 射線熒光光譜法,優(yōu)點(diǎn)是能同時(shí)檢測(cè)多個(gè)元素、速度快,不破壞樣品,操作簡(jiǎn)便; ICPAES法,能同時(shí)檢測(cè)多個(gè)元素,分析速度快,取樣量少,操作簡(jiǎn)便; AAS法,靈敏度高,取樣量少,低濃度下分析準(zhǔn)確度高,操作較簡(jiǎn)便; 各種儀器均有其他儀器無(wú)法比擬的優(yōu)點(diǎn),各種儀器在檢測(cè)時(shí)有一定的互補(bǔ)性。這些指標(biāo)有:硅粉粒度,鐵、鋁、鈣、鈦、磷、硼元素的含量。多晶硅原材料分析 第一章 硅粉分析 第二章 液氯分析 第三章 其它原料分析 第一章 硅粉分析 一、概述 硅粉是多晶硅廠的主要原料之一,其質(zhì)量的好與壞直接影響三氯氫硅的合成及純度。 硅粉分析的目的是檢測(cè)所購(gòu)進(jìn)硅粉的各項(xiàng)指標(biāo)是否滿足工藝生產(chǎn)的要求。 分析方法有傳統(tǒng)的化學(xué)分析方法,也有越來(lái)越普及的儀器分析法。 ? 化學(xué)分析與儀器分析比較 化學(xué)分析一般是半微量 ()、常量()組分的分析。操作復(fù)雜,過程時(shí)間長(zhǎng),受人員因素影響大。 特點(diǎn): 靈敏度高,取樣量少,在低濃度下的分析準(zhǔn)確度較高,快速;儀器設(shè)備較復(fù)雜,價(jià)格較昂貴。用鹽酸羥胺將 Fe( Ⅲ )還原至 Fe( Ⅱ )。于分光光度計(jì)波長(zhǎng) 510nm處測(cè)量其吸光度。 氫氟酸(密度 ),分析純; 硝酸,分析純( 1+1); 硫酸,分析純( 1+1); 鹽酸,分析純( 1+1); 鹽酸羥胺溶液,分析純( 10g/L); 1, 10-二氮雜菲溶液( ):稱取, 10-二氮雜菲 (C12H8N2 乙酸-乙酸鈉緩沖溶液:稱取 272g乙酸鈉( CH3COONa 混合顯色溶液:移取 1單位體積鹽酸羥胺溶液( ), 1單位體積 1, 10-二氮雜菲溶液( ),2單位體積乙酸-乙酸鈉緩沖溶液( ),混勻。 鐵標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液:稱取 600℃ 灼燒 1h并于干燥器中冷卻至室溫的三氧化二鐵置于燒杯中,加入 30ml鹽酸( ),低溫加熱溶解,冷卻,移入1000ml容量瓶中,用水稀釋至刻度,混勻。 鐵標(biāo)準(zhǔn)溶液:移取 ( )于 200ml容量瓶中,用水稀釋至刻度,混勻,此溶液1ml含鐵 50ug。 試樣:樣品粒度通過 100目(約 )篩孔直徑,用磁鐵吸去鐵粉。 空白試驗(yàn):隨同試料做空白試驗(yàn)。 將鉑皿置于 450177。 于鉑皿中加入 ( ),沿皿壁加入 20~ 30ml水,加熱至殘?jiān)耆芙?,冷卻。 鐵含量,% 移取試液體積, ml ~ > ~ > ~ 表 1 取 25mL試液(或按表 1移取試液 ),置于 100ml容量瓶中。放置 15min。 減去空白試驗(yàn)溶液的吸光度,從工作曲線上查出相應(yīng)的鐵的質(zhì)量。 按表一加入與移取試液體積相等的空白試驗(yàn)溶液( ),以下按 。 式中: m1― 自工作曲線上查得得鐵的質(zhì)量, ug; V0― 試液總體積, ml; V1― 移取試液體積, ml; m0― 試料的質(zhì)量, g。 鐵含量 允許差 ~ > ~ > ~ > ~ 表 2 二 ) 、 鋁含量 試料用氫氟酸和硝酸分解,硫酸冒煙驅(qū)除硅、氟等,殘?jiān)名}酸溶解。于分光光度計(jì)波長(zhǎng) 545nm處測(cè)量其吸光度。 2 .1 氫氟酸,分析純(密度 ); 2 .2 硝酸,分析純( 1+1); 2 .3 硫酸,分析純( 1+1); 2 .4 鹽酸,分析純( 1+1); 2 .5 抗壞血酸,分析純,用時(shí)現(xiàn)配( 10g/L); 2 .6 六次甲基四胺,分析純, 300g/L; 2 .7 鉻天青- S乙醇溶液( ):稱?。?S置于燒杯中,加水和無(wú)水乙醇各 25ml,溶解后加入 475ml水,用無(wú)水乙醇稀釋至 1000ml,混勻。用鹽酸(2 .4)慢慢中和至出現(xiàn)沉淀并過量 20ml,加熱至溶液澄清,冷卻。此溶液 1ml含 250ug鋁。此溶液 1ml含 5ug鋁。 試料 稱取 (3 .1)。 3 .4 測(cè)定 (可直接取測(cè)鐵時(shí)的樣品溶液 25mL,按 進(jìn)行分析 ) 3 . 將試料(3 .2)置于 100ml鉑皿中,加入(2 .3)、 20~ 25ml氫氟酸(2 .1)、分次滴加硝酸(2 .2)直至試料大部分溶解,移鉑皿于沙浴上,加熱至試料完全溶解,并蒸干。 25℃ 的高溫爐中,冒盡硫酸煙,取出,冷卻。將試液移入 500ml容量瓶中,用水稀釋至刻度,混勻。 3 . 移取 A于 250ml容量瓶中,用水稀釋至刻度,混勻。 3 . 按表 1移取試液 B(3 .)于 100ml容量瓶中,用水稀釋至約 30ml。每加一種試劑均需混勻。放置20min。 從工作曲線上查出相應(yīng)的鋁的質(zhì)量。 以鋁的質(zhì)量為橫坐標(biāo),吸光度為縱坐標(biāo)繪制工作曲線。 實(shí)驗(yàn)室之間分析結(jié)果的差值應(yīng)不大于表2所允許差。用三乙醇胺、 1,10二氮雜菲、乙酰丙酮掩蔽干擾元素,于pH10~ ,鈣于偶氮氯膦 I形成有色配合物,以 E
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