pecvd軟件操作手冊-展示頁
2024-11-09 08:32本頁面
【正文】 MFC 1 (MKS 1179 As) 21 MFC 2 (MKS 1179 As) 22 MFC 3 (MKS 1179 As) 23 MFC 4 (MKS 1179 As) 24 MFC 5 (MKS 1179 As) 25 伺服系統(tǒng)馬達 1裝載臺（ Lenz 2133(8200/9300)） 31 伺服系統(tǒng)馬達 2硅片裝載倉（ Lenz 2133(8200/9300)） 32 伺服系統(tǒng)馬達 3加熱倉（ Lenz 2133(8200/9300)） 33 伺服系統(tǒng)馬達 4工藝反應倉（ Lenz 2133(8200/9300)） 34 伺服系統(tǒng)馬達 5工藝反應倉（ Lenz 2133(8200/9300)） 35 伺服系統(tǒng)馬達 6冷卻倉（ Lenz 2133(8200/9300)） 36 伺服系統(tǒng)馬達 7冷卻倉（ Lenz 2133(8200/9300)） 37 伺服系統(tǒng)馬達 8硅片卸載倉（ Lenz 2133(8200/9300)） 38 伺服系統(tǒng)馬達 19卸載臺（ Lenz 2133(8200/9300)） 39 CANBus網(wǎng)點地址分配 模塊 /網(wǎng)點 消息 ID 消息回饋 ID 微波 1 11 91 微波 2 12 92 微波 3 13 93 微波 4 14 94 微波 5 15 95 微波 6 16 96 微波 7 17 97 微波 8 18 98 軟件 控制和操作電腦的系統(tǒng)選擇的是英文版的 Windows NT工作站 Service Pack 6a。 控制軟件有兩個連接外圍設(shè)備的 ET 200M 型接口，接口由 SINEC L2 控制器， CP 5613（ Profibus DP）整合在電腦上， 它們根據(jù)紀錄的工藝通道通過 I/O部件擴展， PC電腦作為主控制器連接至雙絞線。 ? 完全圖像化的趨勢功能，以當前的數(shù)值作為工藝趨勢的依據(jù) ? 批處理模式的數(shù)據(jù)記錄 ? 安全功能：操作者登錄和操作者管理 ? 以下所列的操作模式： 逐一操作模式可以在完整工藝處方管理的條件下控制所有技術(shù)次步驟。以下所列出的就是對該系統(tǒng)的功能的大概介紹。chentechnik AG hal OT W252。 軟件操作手冊 SINA 系統(tǒng) 制造商： Roth amp。 Rau Oberfl228。stenbrand Gewerbering 3+10 D09337 HohensteinErnstt Germany 電話： 0049372349880 傳真： 00493723498825 Email: 目錄 1 介紹 ??????????????????????????????? ?????? 3 應用和使用 ????????????????????????????????? 3 軟硬件的辨別 ??????????????????????????????? 3 硬件 ????????????????????????????????? 3 軟件 ????????????????????????????????? 3 主要部件的安裝指南 ????????????????????????????? 4 2 基本操作指南 ????????????????????????????????? 4 按鈕 ??????????????????????????????????? 4 檢驗欄 ????????????????????????????????? 5 輸入和輸出框 ??????????????????????????????? 6 列表 ??????????????????????????????????? 7 無線電按鈕 ????????????????????????????????? 8 工具提示 ????????????????????????????????? 10 3 控制系統(tǒng)的開關(guān)（ ON/OFF） ??????????????????????????? 11 開 ????????????????????????????????????? 12 關(guān) ????????????????????????????????????? 13 4 功能描述和操作 ????????????????????????????????? 11 標題欄 ??????????????????????????????????? 15 動態(tài)菜單 ????????????????????????????????? 16 靜 態(tài)菜單 ????????????????????????????????? 18 圖像區(qū) ??????????????????????????????????? 19 消息行 ??????????????????????????????????? 20 5 標準功能 ??????????????????????????????????? 12 系統(tǒng) ??????????????????????????????????? 13 工藝反應倉 ????????????????????????????????? 15 氣體系統(tǒng) ????????????????????????????????? 16 參數(shù) ??????????????????????????????????? 17 系統(tǒng)參數(shù) ??????????????????????????????? 17 工藝反應倉 參數(shù) ????????????????????????????? 18 氣體系統(tǒng) 參數(shù) ????
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