word版可編輯-電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范精心整理-展示頁
2025-04-16 06:59本頁面
【正文】 下，風管內(nèi)爆炸危險的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計； 8 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。 潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定； 2 不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa； 3 潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa； 4 潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。 潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。 潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm1850mm 的TFTLCD廠房，㎡，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟,并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗。 1 每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定 2 安全出口應(yīng)分散布置,并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標志。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。 潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。 潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)； 2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃氣體組分；3 傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮氣吹掃。《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。 1 按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時，應(yīng)設(shè)隔墻； 物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。氮氣吹掃控制閥應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。
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