昆明理工大學(xué)開題報(bào)告-三維微納米精密位移平臺(tái)及微小力測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)-展示頁
2025-01-30 17:26本頁面
【正文】 機(jī)電工程學(xué)院 專 業(yè)： 機(jī)械工程及自動(dòng)化 學(xué)生姓名： 李雪潔 指導(dǎo)教師： 楊曉京 日 期： 2014年3月 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）的主要內(nèi)容：一、本課題研究背景和意義隨著量子力學(xué)、微觀物理等現(xiàn)代科學(xué)的日臻完善和微電子技術(shù)、掃描隧道顯微技術(shù)等先進(jìn)技術(shù)的不斷發(fā)展，電子計(jì)算機(jī)、原子能、激光、航天和國(guó)防等高新技術(shù)部門對(duì)機(jī)械零件的加工精度和表面質(zhì)量要求越來越高，因此超精密加工，包括納米加工是人們目前面臨的重要課題之一。超精密加工技術(shù)水平的高低反應(yīng)了一個(gè)國(guó)家綜合經(jīng)濟(jì)和技術(shù)水平的高低，是國(guó)家制造技術(shù)水平的重要標(biāo)志，是先進(jìn)制造技術(shù)的重要支柱。微位移工作臺(tái)的這一特點(diǎn)使其成為超精密加工的技術(shù)中的重要研究成果之一，推動(dòng)過去傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)加工中幾十微米的加工精度，發(fā)展到半導(dǎo)體以及生物科技等領(lǐng)域中納米級(jí)加工，有力促進(jìn)了二十一世紀(jì)所需要的超精密加工技術(shù)的發(fā)展。二、本課題的研究現(xiàn)狀目前，隨著壓電、電致、磁致以及靜電等微動(dòng)執(zhí)行元件的出現(xiàn)和發(fā)展極大地推動(dòng)了微進(jìn)進(jìn)給技術(shù)的發(fā)展。但在微型機(jī)械制造、掃描隧道顯微鏡微測(cè)量等諸多尖端科技領(lǐng)域中，當(dāng)運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到亞微米級(jí)或納米級(jí)時(shí)，壓電驅(qū)動(dòng)微位移機(jī)構(gòu)以其響應(yīng)快、易于微型化、重復(fù)性好、分辨率高、剛度好無磁場(chǎng)干擾等特點(diǎn)在微進(jìn)給機(jī)構(gòu)的研究中體現(xiàn)出了自身的優(yōu)勢(shì)?，F(xiàn)階段國(guó)內(nèi)外所研究的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的微位移工作臺(tái)通常是以柔性鉸鏈做支撐導(dǎo)軌以壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器為驅(qū)動(dòng)元件，對(duì)其研究主要集中在微位移工作臺(tái)遲滯非線性建模技術(shù)、柔性鉸鏈平臺(tái)結(jié)構(gòu)優(yōu)化以及微位移工作臺(tái)的精度控制技術(shù)上?；谝陨蠁栴}，本設(shè)計(jì)主要完成以下兩個(gè)方向的研究工作：（
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