自動檢測技術講義第2章熱敏、氣敏、濕敏傳感器-展示頁
2024-12-17 11:59本頁面
【正文】 用力后，電阻率就要發(fā)生變化，這種現(xiàn)象叫壓阻效應。第二章 電阻式傳感器 電阻式傳感器的基本原理是將被測量的變化轉換成傳感元件電阻值的變化，再經(jīng)過轉換電路變成電信號輸出。 測量電路 自動測力或稱重中應用最普遍的是電阻應變式傳感器 ，應變式傳感器有下列優(yōu)點： ， 線性度好 ， 靈敏度高 ， 壽命高 ， 體積較小應用靈活 、 保養(yǎng)方便 應變式傳感器除可用于測量力參數(shù)外 ， 還可用于測量加速度 ， 振幅等其他物理量 。半導體材料的壓阻效應特別強。 本節(jié)介紹 擴散硅型壓阻傳感器 設半導體材料的壓阻系數(shù)為 ，材料受到的應力為 σ， 有 一、工作原理與結構 ?????? ??????? )21(RR對于半導體材料，其電阻率的變化為： l?????l?? 在彈性變形限度內(nèi)，壓阻效應是可逆的，當應力消失時，硅片的電阻會恢復原來數(shù)值。 壓阻效應傳感器的核心 硅膜片 內(nèi)部電路 膜片芯體示意圖 引 出 線 二、壓阻式壓力傳感器 硅杯 高 壓 腔 低壓腔 硅膜片 引線 引線 三、壓阻式加速度傳感器 基座 擴散電阻 質(zhì)量塊 梁 四、壓阻式傳感器的應用 因為壓阻式傳感器具有靈敏度高、動態(tài)響應快、體積小、溫度范圍寬、便于批量生產(chǎn)、易于集成化、智能化的優(yōu)點。 機械 ：實時檢測各種機器設備、生產(chǎn)線的氣液壓力等 航空 ：飛機發(fā)動機壓力、物體加速度等 兵器 ：槍炮膛內(nèi)壓力、爆炸壓力、沖擊波壓力等 醫(yī)療 ：測量心腦血管、顱內(nèi)、尿道、眼球內(nèi)壓力等 其他：自來水管網(wǎng)壓力檢測 震動檢測 過山車加速度檢測等 第三節(jié) 熱電阻式溫度傳感器 熱電阻傳感器 分類： 金屬熱電阻 ==熱電阻 半導體熱電阻 ==熱敏電阻 熱電阻傳感器 利用 導體或半導體 的 電阻值隨溫度變化 而變的物理現(xiàn)象進行溫
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