星形mpcvd裝置上制備類金剛石薄膜的研究-展示頁
2025-05-27 11:24本頁面
【正文】 方面還存在一些問題有待解決，尚未實現(xiàn)類金剛石薄膜的工業(yè)化。湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室 星形 MPCVD裝置上制備類金剛石薄膜的研究 報告人：熊禮威 第十三屆全國等離子體科學技術會議 四川 成都 2021年 8月 湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室武漢工程大學 等離子體化學與新材料重點實驗室 報告主要內(nèi)容 ? 研究背景 ? 星形微波等離子體裝置介紹 ? 類金剛石薄膜的沉積研究 ? 結論 ? 后期工作計劃 湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室 研究背景 類金剛石薄膜（ DLC）具有一系列接近于金剛石薄膜的優(yōu)異性能，如很高的硬度、很小的摩擦系數(shù)、良好的化學穩(wěn)定性、較高的電阻率、優(yōu)異的紅外和微波頻段的透過性和高的光學折射率等，在機械、電子、光學、聲學、計算機等很多領域具有較好的應用前景。 湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室 研究背景 湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室 目前制備類金剛石薄膜的方法主要有電化學法、物理氣相沉積法和化學氣相沉積法三大類。 研究背景 湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室 目前 MPCVD方法制備類金剛石薄膜存在的主要難點有： ? 類金剛石薄膜的低溫沉積。而類金剛石薄膜的沉積溫度一般在 300 ℃ 左右，如何獲得如此低溫的穩(wěn)定等離子體成為類金剛石薄膜制備方面的一個較大難題； ? MPCVD裝置應用的局限
環(huán)評公示相關推薦
鄂ICP備17016276號-1