氣體設備基礎培訓-文庫吧資料
2025-02-25 13:55本頁面
【正文】 接） ? 密封柱連接通過使用軟墊片來實現(xiàn)密封。 ? 調壓閥：在 GC中一般選擇 AP1410TS， VMB中選擇 AZ1010S。 Hamlet生產的VIM+VAR EP級 。 He CO2 Ne Xe Page No. 10 GR ? GR：氣瓶架 GR的分類 比較多，一般分 有： 用于 BSGS/GC的 吹掃的和保壓 常用氣體高純氮氣 VCR連接，高壓端工藝管徑 1/4，低壓段工藝管徑 1/4 相同雙瓶工藝氣體高低壓配置 相同雙瓶工藝氣體雙低壓配置 高低壓氣體過濾 Page No. 11 GR ? GR：氣瓶架 GR的分類 比較多，一般分 有： 大宗氣體氣源處理 根據(jù)介質性質，選擇自吹掃和帶吹掃 VCR連接，高壓端工藝管徑 1/4，低壓段工藝管徑 1/4 相同雙瓶工藝氣體雙低壓配置 高低壓氣體過濾 自動切換，遠程緊急切斷閥門 Page No. 12 VMB ? VMB：閥組箱 特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配箱體，用于向一個或多個工藝設備提供特種氣體 同時供應數(shù)臺機臺 根據(jù)氣體種類進行分類 將工藝氣體純化、過濾、減壓，達到客戶需求 隔膜閥配置， VCR接口 柜內負壓測量 碳鋼噴塑柜體，防爆玻璃視窗 Page No. 13 VMB ? 標準型半自動配置，遠程緊急切斷各支路閥門 ? 進氣擴展口 *1 ? 支路配置：手動隔膜閥 +標準型調壓閥 +壓力表+出口氣動關斷閥 ? 手動 N2吹掃功能 ? 手動抽真空功能 ? 標準型全手動配置 ? 進氣擴展口 *1 ? 支路配置：手動隔膜閥 +標準型調壓閥 +壓力表 +出口手動關斷閥 ? 手動 N2吹掃功能 ? 手動抽真空功能 Page No. 14 VMP ? VMP：閥組盤 特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配裝置，用于向一個或多個工藝設備提供特種氣體 同時供應數(shù)臺機臺 根據(jù)氣體種類進行分類 將工藝氣體純化、過濾、減壓，達到客戶需求 Page No. 15 VMP 隔膜閥 配置， VCR接口 標準 型全手動配置 進氣擴展口 *1 支路配置：手動隔膜閥 +標準型調壓閥 +壓力表 隔膜閥 配置， VCR接口 標準 型全手動配置 進氣擴展口 *1 主進管路調壓 支路配置：出口手動關斷隔膜閥 Page No. 16 VMP 球閥 配置，卡套接口 標準 型全手動配置 進氣擴展口 *1 支路配置：手動球閥 +標準型調壓閥 +壓力表
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