南京實(shí)驗(yàn)室凈化工程-文庫吧資料
2024-08-17 13:48本頁面
【正文】 復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。其型式可分為二種：(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。二、凈化層流式層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。此型式適用于潔室等級1,000100,000級。實(shí)驗(yàn)室凈化工程分類：一、凈化工程亂流式空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈工程室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。實(shí)驗(yàn)室凈化工程的原理和作用：控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可
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