【正文】 析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下：1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃?xì)怏w室未設(shè)置泄壓設(shè)施，并且未按SJ3000292標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風(fēng)系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。5） 有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測點(diǎn)，所有探頭具有高敏度報(bào)警功能；6） 酸、堿、有機(jī)溶劑采用高純氮?dú)獬涮钊萜?，利用雙層管道輸送至使用點(diǎn)，在雙層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測報(bào)警探頭，所有化學(xué)品盛裝容器、使用點(diǎn)均設(shè)置局部排風(fēng)系統(tǒng)；7） 在危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存場所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置；8） 本單元消防、報(bào)警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國家標(biāo)準(zhǔn)要求。 單元的主要危險(xiǎn)因素SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜，同時(shí)使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體，按照GBJ1687“生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類”為甲類，因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險(xiǎn)因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。GB289382GB28941996√工業(yè)管路基本識(shí)別色應(yīng)符合：綠色：水鋁色：蒸氣棕色：易燃液體黃褐色：氣態(tài)或液態(tài)氣體（空氣、氧氣除外）紫色：酸或堿淺藍(lán)色：空氣或氧氣黑色：其它液體。廠房、動(dòng)力站房的安全出口及疏散通道，應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。9安全標(biāo)志凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志，必要處尚應(yīng)設(shè)置聲、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號(hào)。不工作時(shí)，應(yīng)有自動(dòng)定時(shí)排風(fēng)系統(tǒng)。氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程第79條√各項(xiàng)措施齊備。氣瓶放置地點(diǎn)不得靠近熱源和明火，應(yīng)保證氣瓶干燥。必須到已辦理充裝注冊的單位或經(jīng)銷注冊的單位購氣。SJ3000292√設(shè)置不同類型報(bào)警裝置。GBJ1687SJ3000292√設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報(bào)警系統(tǒng)。SJ3000292√生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警檢測系統(tǒng)。7消防、報(bào)警設(shè)施建筑滅火器的配置應(yīng)按《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。在重點(diǎn)防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處，應(yīng)設(shè)計(jì)人體導(dǎo)除靜電裝置；并配備個(gè)人防靜電防護(hù)用品。在火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)，可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、管道應(yīng)采取靜電接地措施。電氣設(shè)備線路必須安全可靠,照明應(yīng)采用有防護(hù)罩的燈具。SJ3000292√單獨(dú)設(shè)置供電回路，UPS、EPS、SP電源，在有爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)，敷設(shè)電氣線路的溝道、電纜或鋼管，在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞，應(yīng)采用非燃性材料嚴(yán)密堵塞。SJ3000292√消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動(dòng)防火門窗、火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備，應(yīng)采用單獨(dú)的供電回路，并當(dāng)發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活用電時(shí)，應(yīng)仍保證消防用電。SJ3000292√設(shè)發(fā)電機(jī)3臺(tái)，壓縮空氣備用氣源≥30min。檢測和控制儀表的電源和氣源，停電或停氣可能使生產(chǎn)、動(dòng)力設(shè)備造成重大事故時(shí)，必須有備用電、氣源。6電氣電氣裝置采用接地故障保護(hù)時(shí)，應(yīng)做總等電位聯(lián)接。報(bào)警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖，不工作，亦應(yīng)定時(shí)進(jìn)行排風(fēng)。5有毒氣體控制裝置砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜，離子刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等使用有害氣體的作業(yè)點(diǎn)，應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識(shí)、專業(yè)技術(shù)的培訓(xùn)，經(jīng)考核合格，方可上崗作業(yè)。關(guān)于加強(qiáng)化學(xué)危險(xiǎn)物品管理的通知√使用危險(xiǎn)化學(xué)品，在天津市有關(guān)主管部門辦理了登記手續(xù)，并取得使用許可證。GB156031995√單獨(dú)存放。工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定第19條√儲(chǔ)存柜上均有標(biāo)識(shí)。工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定第17條√設(shè)置應(yīng)急用品柜，提供處理方法。危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例第18條√設(shè)置應(yīng)急通訊、自動(dòng)、手動(dòng)報(bào)警裝置。GBJ1687∽硅烷室設(shè)泄壓其余無，安全出口均不少于2個(gè)。有爆炸危險(xiǎn)的房間（如硅烷室、易燃?xì)怏w室、生產(chǎn)車間等），應(yīng)設(shè)置泄壓措施，安全出口不應(yīng)少于2個(gè)。易燃、易爆的車間，應(yīng)采用易于清洗、撞擊或磨擦?xí)r不產(chǎn)生火花的地面。泵為全封閉型輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時(shí)，應(yīng)加以收集或處理，不得任意排放。對于輸送具有較強(qiáng)腐蝕性液體的化學(xué)藥劑泵、在其填料函或機(jī)械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處，應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)。其基礎(chǔ)及周圍地面應(yīng)采取防腐蝕處理。SJ3000292√雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測。輸送危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備、附屬儀表、器材等，應(yīng)根據(jù)危險(xiǎn)介質(zhì)，采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。SJ3000292√分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃?xì)怏w室等。4危險(xiǎn)化學(xué)品的使用、輸送與管理危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲(chǔ)存、輸送。SJ3000292√潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃?xì)怏w的風(fēng)管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風(fēng)管或不銹鋼風(fēng)管。SJ3000292√均設(shè)置獨(dú)立排風(fēng)。凡使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行化學(xué)清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局部排風(fēng)聯(lián)鎖。SJ3000292√生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染，易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì)，潔凈度要求嚴(yán)格的廠房和車間應(yīng)設(shè)置洗衣房。SJ3000292√防泄漏收集采用二次容器。SJ3000292√雙套管輸送，防腐內(nèi)涂層。SJ3000292∽已做監(jiān)測，數(shù)據(jù)暫不能提供。SJ3000292√隔離操作、密閉生產(chǎn)。GB5002893√管道應(yīng)標(biāo)志介質(zhì)及流向。SJ3000292√電氣設(shè)備金屬外殼應(yīng)與PE線可靠連接。SJ3000292√管道系統(tǒng)通過管架接地。SJ3000292√屏蔽光源保護(hù)措施。SJ3000292√設(shè)置洗眼、淋浴器。SJ3000292√均設(shè)置。SJ3000292√設(shè)置緊急制動(dòng)，設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng)，帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護(hù)裝置。SJ3000292√設(shè)置于人流最少的東側(cè)，采取隔離防護(hù)措施。～393廢液收集罐處平臺(tái)護(hù)欄不符要求。易燃易爆廠房的人員疏散，通道應(yīng)保持暢通，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明，疏散指示標(biāo)志及排煙措施。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。SJ3000292√設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。SJ3000292√設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，常開；特殊氣體室室外設(shè)手動(dòng)開關(guān)，設(shè)自動(dòng)聯(lián)鎖報(bào)警。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟，并加閉門器。GB500732001√潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。GB500732001√二級。GB500732001√≤65dB。GB500732001√分別設(shè)置人員、物料凈化室。SJ3000292除硅烷室單獨(dú)設(shè)置外，均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。芯片光刻等對潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，并在四周留有綠化場地。GBJ1687√廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度7度設(shè)防要求，框架抗震等級二級要求。GBJ1687√環(huán)氧地面。GBJ1687√。GBJ1687∽硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室無泄壓。GBJ1687√單獨(dú)設(shè)置。（因有自動(dòng)水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍）GBJ1687√占地面積4000m2。GBJ1687√均為二級。 安全檢查表依據(jù)GBJ1687《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（2001版）、GB50187《工廠企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》、SJ3000292《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)定》、GBJ1987《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》（2001年版）、GB500732001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、GB508399《生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)總則》、GB1280191《生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則》、GB28932001《安全色》、GB289496《安全標(biāo)志》、GB1560395《常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則》、國務(wù)院令第344號(hào)《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》等法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范編制安全檢查表。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸，造成嚴(yán)重的生命、財(cái)產(chǎn)損失。 電氣火災(zāi)電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護(hù)器、過電壓保護(hù)等裝置或失效，線路絕緣損壞、短路，以及防爆場所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會(huì)發(fā)生電氣火災(zāi)。 高處墜落當(dāng)去廢溶劑儲(chǔ)罐等相對基準(zhǔn)面標(biāo)高超過2m設(shè)備進(jìn)行檢查、操作或維修設(shè)備時(shí)，若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護(hù)欄、平臺(tái)或設(shè)置不完善，作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時(shí)，稍不慎會(huì)發(fā)生高處墜落事故。 激光、紅外線輻射灼傷在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會(huì)造成眼灼傷。 物理爆炸各類壓力容器（包括氣瓶）、管道，如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計(jì)不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強(qiáng)度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計(jì)壓力而發(fā)生爆炸，造成人員傷亡，設(shè)備損壞。H2O22SD118溶劑室ACT940 CDM1設(shè)溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。C4F82CHF31C2F61CO21CF42CHF32SF62He14%H2/N216酸室HCl CDM1設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置。ClF32HBr2HCl11SiF414氧化氣體室NF3910%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。%鍺烷/氫氣（GeH4/H2）11%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2）15%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2）22易燃?xì)怏w室氨氣（NH3）810%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)（酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開）、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn)，方便工作的要求，各建（構(gòu)）筑物按功能分區(qū)，生產(chǎn)工藝流程短捷便利，整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置，消防通道暢通、照明完好，人、物分流，并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間，基本符合GB50187《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》的要求，只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補(bǔ)充完善，可為實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有利的條件。4） 廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置顯示道路名稱、方向、車輛限速的交通標(biāo)志?；咀R(shí)別色色環(huán)應(yīng)涂刷在所有管路交叉、閥門和穿孔西側(cè)等的管路上以及其他需要識(shí)別的部位。安全標(biāo)志的涂色應(yīng)符合國家現(xiàn)行的《安全標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。應(yīng)按油罐區(qū)評價(jià)單元的建議完善其防火防爆措施并控制儲(chǔ)油量。需采取相應(yīng)措施以消除可能導(dǎo)致事故發(fā)生的隱患。 問題與建議廠區(qū)總平面布置根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點(diǎn)按功能分區(qū)布置，能夠滿足生產(chǎn)加工過程流程要求，建（構(gòu)）筑物安全距離基本符合有關(guān)規(guī)定要求，廠區(qū)道路與主要建筑物軸線平行或垂直，主要生產(chǎn)區(qū)、庫區(qū)、動(dòng)力區(qū)的道路呈環(huán)形布置，能滿足消防車暢通和回轉(zhuǎn)的要求，廠區(qū)各種井、溝有蓋板、平臺(tái)、走臺(tái)、鋼梯基本符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。3） 廠區(qū)內(nèi)若坑、孔、井及走臺(tái)、平臺(tái)無防護(hù)圍欄或蓋板，直梯、斜梯不符合有關(guān)規(guī)定都可引發(fā)碰、磕、摔傷和墜落傷害。2） 廠區(qū)內(nèi)丙烷站、化學(xué)品庫（室），油罐區(qū)、110KV變電站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位無安全標(biāo)志，無限行、禁行等交通標(biāo)志。SJ3000292∽不規(guī)范。SJ3000292∽不齊全。SJ3000292未按規(guī)定涂色。SJ3000292∽安全標(biāo)志不齊全，不醒目。SJ3000292√凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志。SJ3000292√有蓋板。SJ3000292√廠區(qū)平臺(tái)、鋼梯基本符合要求。4常規(guī)安全防護(hù)設(shè)施架空平臺(tái)、走道、鋼梯應(yīng)符合國家現(xiàn)行《固定式工業(yè)平臺(tái)、工業(yè)防護(hù)欄桿、鋼直梯、鋼斜梯》等標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。有完好的照明設(shè)施。路面平整、路基穩(wěn)固、邊坡整齊、排水良好。GB438794√廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置交通標(biāo)志。無標(biāo)志。GB438794√易燃易爆區(qū)、儲(chǔ)存庫區(qū)將道路劃分為限制車輛通行或禁止車輛通行的路段，并設(shè)標(biāo)志。有人行道。廠區(qū)主干線雙向行駛路寬≥5m，單向行駛路寬≥；并有單向行駛標(biāo)記，且能形成環(huán)形通道；人行道；。SJ3000292GB5018793√呈環(huán)形布置。道路與主要建筑物軸線平行或垂直，主要生產(chǎn)廠、倉庫區(qū)、動(dòng)力區(qū)的道路應(yīng)呈環(huán)形布置。SJ3000292√3廠區(qū)道路運(yùn)輸線路，滿足生產(chǎn)要求，物流順暢，線路短捷，人流、貨流組織合理。GB5018793√三個(gè)出入口，人、物分流。