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多晶硅安全技術規(guī)范-文庫吧資料

2024-11-16 05:39本頁面
  

【正文】 泄漏。干法回收系統(tǒng)進料前要確保所有相關設備、閥門、管道均已打壓檢 14 漏吹掃合格,各種儀表監(jiān)控裝置經校驗合格并正常投用。 提純塔停塔后 依據(jù)實際情況進行后續(xù)處理,如需要檢修,則應把塔內所有物料倒出,高純氮氣置換合格后進行處理;如停塔后物料沒有倒出,則要繼續(xù)監(jiān)視塔內各個參數(shù),保證塔內各參數(shù)正常(確保塔內有一定壓力 (表壓大于 20KPa) ,必要時可充高純氮氣補壓)。 提純塔相關換熱器泄漏:提純塔運行中要精心觀察各參數(shù)運行是否異常,同時應該對輔助系統(tǒng)各種介質進行檢測,以確保在換熱器泄漏時能夠及時發(fā)現(xiàn),如發(fā)現(xiàn)換熱器泄漏時應立即停塔進行處理。 提純塔運行中如果出現(xiàn)泄漏時應立即采取停塔處理措施,停止加熱,停止進出料,打開尾氣閥門泄壓,通入高純氮氣,防止因為泄漏出現(xiàn)著火爆炸等次生事故。提純塔 系 運行期間,操作者要對其進行精心的調整,在保證物料進出平衡的前提下, 觀察塔系各參數(shù)運行是否正常,并及時觀察各參數(shù)的變化趨勢,按照各塔的操作要求進行少量多次的微調,以保證塔系正常穩(wěn)定的運行。在開塔過程中注意,冷熱源的投入必須遵循“先冷后熱”的原則,先通冷卻介質,再通加熱介質,在通入熱源之間要先進料,要避免加熱設備“干燒”的狀況。 提純塔進料前要確保所有相關設備、閥門、管道均已打壓檢漏吹掃合格 (檢漏合格要求:將相關設備、管道、閥門升壓至設計壓力,用肥皂水檢測,無泄漏;吹掃合格要求:使用白布在泄壓口檢測,無油、無水、無銹) ,各種儀表監(jiān)控裝置經校驗合格并正常投用。 應及時清理廢物、油跡、 漆垢等,保持作業(yè)崗位環(huán)境的整潔衛(wèi)生。 檢查閥門開閉狀態(tài)及盲板抽加情況 ,保證裝置流程暢通 ,各種機電設備及電氣儀表等均應處在完好狀態(tài) 。 加熱設備、提純設備、還原設備、氫化反應設備、 HCL 與 TCS 合成設備、制氫設備、干法回收設備、輔助設備(過濾機、離心機、各類泵、空氣壓縮機、通風機、電動葫蘆)等生產設備的操作應按照安全操作規(guī)程進行。相禁忌的原材料不應放在同一區(qū)域,應劃定區(qū)域分類隔開或分離貯存。 . 生產車間應根據(jù)生產需要規(guī)定原材料的存放時間、地點和最高允許存放量。 用于多晶硅生產原輔材料的成份應經化驗,外購三氯氫硅純度應> 12 98%, BP 雜質含量小于 ,并確認符合要求。 多晶硅生產的工藝技術指標和中間控制指標應仔細核對、嚴格控制,重要的控制指標應設管理控制點。 5 多晶硅生產作業(yè)安全 工藝控制及一般規(guī)定 企業(yè)應按照不同的多晶硅生產具體工藝及特點,制定工藝技術規(guī)程和安全操作規(guī)程(或作業(yè)指導書)。 易燃易爆裝置內的保護管與儀表、檢測元件、電氣設備、接線箱、拉線盒連接時,或進入儀表盤、柜、箱時,應安裝防爆密封管件,并做好充填密封,密封管件與儀表箱、接線箱、拉線盒之間的距離不應超過 。 多晶硅生產裝置中,采用 DCS、 PLC 等執(zhí)行監(jiān)控的生產裝置儀表電源應采用不間斷電源,其后備電池供電時 間: 15min30min 氫氣壓縮機房、還原爐室、氯硅烷儲罐區(qū)等的 2 區(qū)內及附加 2 區(qū)內,應設置可燃氣體檢測報警儀。 過程自動控制設計安全要求 系統(tǒng) DCS 的操作站、控制器、通訊總線、 I/O 卡件等應按 1: 1 冗余配置。 生產作業(yè)場所應配備呼吸防護器以及其他應急防 護用品。 作業(yè)場所應正確穿戴勞動防護用品,工作結束后應更換工作服,清洗后方可離開作業(yè)場所。易燃易爆場所作業(yè)人員應配用棉布工作服、防靜電鞋、防毒口罩、工作手套等。下列廠房應采用不循環(huán)使用的熱風采暖: a ) 生產過程中散發(fā)的可燃氣體、可燃蒸氣、可燃粉塵、可燃纖維與采暖管道、散熱器表面接觸能引起燃燒的廠房; b ) 生產過程中散發(fā)的粉塵受到水、水蒸汽的作用能引起自燃、爆炸,以及容 易積聚爆炸性氣體的廠房。 當室內作業(yè)地點溫度近十年最冷月平均溫度等于或小于 8℃的月份連續(xù)三個月以上的,應設置采暖設施,設置采暖設施應符合 GB500162020(建筑設計防火規(guī)范)第 節(jié)的要求。 11 防高溫防寒 當室內作業(yè)地點氣溫等于或大于 37℃時應采取局部降溫和防暑措施,并應減少接觸時間。 生產過程和設備的噪聲應采取隔聲、消聲、隔振及管理等綜合措施,使操作人員每天連續(xù) 8h 接觸的噪聲不大于 85dB( A)。 塵毒危害嚴重的廠房和倉庫等建(構)筑物的墻壁、頂棚和地面均應光滑,便于清掃,必要時設計防火、防腐等特殊保護層及專門清掃設施,以便清洗。在有毒性危害的作業(yè)環(huán)境中,應設置必要的洗眼器、淋洗器等衛(wèi)生防護設施,其服務半徑應小于 15m。通風空氣不應循環(huán)使用。 產生粉塵、可燃性氣體煙霧的作業(yè)場所,應設排毒或除塵凈 化的通風設施。 防塵防毒 根據(jù)生產工藝和粉塵、毒物特性,采取防塵、防毒通風措施控制其擴散,使作業(yè)場所有害物質及粉塵的濃度符合 GBZ 22020(工作場所有害因素職業(yè)接觸限值)規(guī)定。 有毒作業(yè)應采用無毒或低毒原料代替高毒原料。 職業(yè)危害控制 生產過程應嚴格控制粉塵、毒物的產生。 生產作業(yè)場所的緊急通道和出入口,應設置明顯醒目的標志。 中高壓力電解槽、四氯化硅氫化反應器(含氫氣加熱器、硅粉干燥器)、多晶硅還原爐、液氯鋼瓶、氫氣和氯硅烷儲罐、提純系統(tǒng)換熱器等壓力容器屬特種設備,其安全附件、安 全保護裝置、測量調控裝置及有關附屬儀器應定期校驗、檢修、記錄。氫化反應器及系統(tǒng)中的安全附件、安全保護裝置、測量調控裝置及有關附屬儀器應完整、齊全、有效。 易燃易爆液體嚴禁使用玻璃管液位計,推薦使用磁翻板液位計。放空管上應設有阻火器,應靜電接地。放空管應選用金屬材料,不應使用塑料管或橡皮管。 相關安全裝置 凡工藝上有放空的設備均應設放空裝置,并定期檢查其有效性。輸送易燃易爆流體的管道不應布置在室內的吊頂內及建構筑物封閉的夾層內。 工業(yè)管道安全 工業(yè)金屬管道的材料、組成件的選用、布置應符合 GB 503162020《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》的要求。涂有耐火層的構件 ,其耐火極限時間不應低于 。 扶梯、平臺和欄桿的設置應符合 GB 固定式鋼梯及平臺安全要求(第 1 部分:鋼直梯)、 GB 固定式鋼梯及平臺安全要求(第 2 部分:鋼斜梯)、 GB 固定式鋼梯及平臺安全要求(第 3部分:工業(yè)防護欄桿及鋼平臺) 的要求。各種外露的傳動設備或危險部位,應有便于觀察傳動運行的安全防護裝置,機械設備上安裝的各種防護罩應符合 GB/T 81962020《機械設備防護罩安全要求》要求。 設備本身應具備必要的防護、凈化、減震、消音。 鍋爐、壓力容器、及其壓力管道、電梯、電動葫蘆、供垂直運輸物品的升降機、叉車等特種設備應當符合《特種設備安全監(jiān)察條例》及《壓力容器等特種設備安全監(jiān)察技術規(guī)程》的要求,應當對特種設備的安全附件、安全裝置、測量調控裝置及有 關附屬儀器儀表進行定期校驗、檢修,并做好記錄。 生產裝置安全 生產設備 應具備基本安全功能,符合 GB508319999 (《生產設備安全衛(wèi)生設計總則》 )的通用安全要求。 所有電氣設備應進行有效接地。 e) 使用的電動機、低壓 變壓器、低壓開關和控制器(開關、斷路器,控制開關及按鈕,配電盤,控制箱,操作箱等)、照明燈具、信號報警裝置等應使用防爆型電氣設備。 d) 電線應套鋼管,鋼管采用低壓流體輸送鍍鋅焊接鋼管。 b) 敷設電氣線路的溝道、電纜或鋼管,所穿過的不同區(qū)域之間墻外或樓板處的孔洞,應采用非燃性材料嚴密堵塞。四氯化硅氫化和多晶硅還原或其他工藝采用直接電加熱方式,應采取電氣防爆措施,并符合 GB 500581992(爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范)要求。 10kV 以下架空線路不應跨越易燃易爆場所的 生產廠房、庫房、儲罐等爆炸性環(huán)境。 電氣安全 電解水制氫車間、氯化氫與三氯氫硅合成車間、氯硅烷分離提純車間、多晶硅還原車間、還原尾氣干法回收車間、四氯化硅氫化車間、氫氣和氯硅烷灌區(qū)等爆炸性氣體環(huán)境電氣裝置應符合 GB 500581992第 2章的要求 , 硅粉倉庫等爆炸性粉塵環(huán)境電氣裝置應符合 GB 500581992(爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范)第 3 章的要求。當皮帶是絕緣性時,皮帶的接頭不應使用金屬材料。 重點防火防爆作業(yè)區(qū)的入口處,應設置人體靜電消除裝置(接地裸露金屬體如欄桿、金屬支架等)。 如生產工藝條件許可,增加室內空氣中的相對濕度至 50%以上,或定期向地面灑水。 裝運危險化學品的汽車槽車裝卸作業(yè)時應配帶阻火帽、靜電接地鏈等設施,在裝卸區(qū)應安裝靜電接地報警器,裝卸作業(yè)按照先接地再作業(yè)的原則進行。從底部或上部入灌的注入管末端應設計成不易使液體飛散的倒 T 形狀或另加導 8 流板;或在上部灌裝時,使液體沿側壁緩慢下流。各專設的防靜電接地電阻值不應大于 100Ω。 防靜電 生產作業(yè)場所內可能產生靜電危害的物體應采取工業(yè)防靜電接地措施,應符合 GB 121582020《防止靜電事故通用導則》的要求。 具有爆炸危險環(huán)境的第一類防雷建筑物應裝設獨立避雷針、架空避雷線(網(wǎng))。防雷措施及防雷裝置應符合 GB 500571994( 2020 年版)《建筑物防雷設計規(guī)范》的要求。三氯氫硅合成車間、多晶硅還原車間、干法回收車間、四氯化硅氫化車間、電解水制氫車間、氫氣灌區(qū)等車間、危險化學品倉庫等建筑物內可能積聚可燃氣體的場所,應設置可燃氣體濃度檢漏 報警裝置,并可根據(jù)單位生產規(guī)模和實際,選擇移動式或固定式檢漏報警儀(設施)。重點生產裝置附近宜設置專用消防站。生產區(qū)內每一個滅火器配置場所內的滅火器不應少于兩個。可燃液體、氣體多層或單層廠房長度大于或等于 30m 時,應設立室內消防栓,消火栓的位置應保證有兩只水槍的充實水柱到達室內任何部位。利用天然水源時,應確保其最低水位時消防用水的可能性,且應設置可靠的取水設施。 生產作業(yè)場所應有消防給水系統(tǒng)。 消防設施 生產作業(yè)場所防火應設置固定滅火裝置等消防設施。危險化學品倉庫內不應設立辦公室、休息室。儲存氯硅烷液體,應選用壓力儲罐。 甲、乙類液體的輕便容器(如桶、瓶)存放在室外時,應設置防曬棚或水噴淋(霧)設施。甲類物品庫房應單層獨立設置。 貯存場所 氫氣罐區(qū)和氯硅烷儲罐區(qū)應獨立設置,其設立尚應符合 GB 500162020 (建筑設計防火規(guī)范)第 4 章的要求;符合 GB 156031995 (常用化學危險品貯存通則 )要求;符合《爆 炸危險場所安全規(guī)定》 勞部發(fā) [1995]56號的要求。如必須設置時,其蓋板應嚴密,并應采用非燃燒材料緊密填實。專 用控制室、中控化驗室的門窗之間與相鄰房間的間距應符合GB500581992(爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范)的有關規(guī)定。其門窗之間的距離及電氣設備應符合 GB 500581992 (爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范)要求。 當明火加熱爐位于封閉的實體防護墻內 時,加熱爐與廠房的防火間距可小于 . 5 條的規(guī)定,但不應小于 15 m。 當甲 B、乙 A 類生產裝置的明火加熱爐與該生產裝置組成同開同停的聯(lián)合裝置時,明火加熱爐與生產裝置之間設置非燃燒材料的實體防護墻時,其防火間距可小于 . 5 條規(guī)定,但不應小于 15 m。如必須貼鄰本廠房設置時,應采用一、二級耐火等級建筑,并應采用耐火極限不低于 3h 的非燃燒體防護墻隔開或設置直通室外或疏散樓梯的安全出口,其門窗之間的距離應符合 GB 500581992《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置 設計規(guī)范》有關要求。 . 3 生產、使用、儲存危險化學品的車間廠房離周圍民用建筑物(包括廠區(qū)內獨立的公共建筑,如辦公樓、總控制室、研究所、食堂、公共浴室等)之間防火間距不應小于 25m,距明火或散發(fā)火花的地點不應小于 30m,距重要的公共建筑不應小于 50m。多晶硅生產企業(yè)火災危險性分類和舉例見附錄 A。消防車道與廠房、倉庫、民用建筑之間不應設 置妨礙消防車作業(yè)的障礙物。消防車道的凈寬度和凈空高度均不應小于 。 生產作業(yè)場所應設置消防通道,工藝裝置區(qū)、可燃液體的儲罐區(qū)、裝卸區(qū)以及化學危險品庫區(qū)應設環(huán)形消防通道;當?shù)匦螚l件受限制時,也可設盡頭式消防車道。 可燃液體設備的平臺或其他設備的框架平臺應設置不少于兩個通往地面的非燃燒材料梯子,作為疏散通道。生產區(qū)建筑物的安全疏散門應向外開啟。甲、乙、丙類廠房的安全疏散門不應少于兩個。易燃易爆環(huán)境的綠化品種不應種植含油脂較多的樹木,廠區(qū)綠化應符合 GB 501602020((石油化工企業(yè)設計防火規(guī)范))第 條的要求。 生產作業(yè)場所的設備、設施布置,原料、產品堆放,人、車行道布置,都不應妨礙安全作業(yè)。工廠的行政輔助生活區(qū)與生產區(qū)之間應有明顯的隔離帶,生產區(qū)內不應設立職工宿舍。新建多晶硅生產企業(yè)地址離居民區(qū)邊緣 的衛(wèi)生防護間距應符合 GB 180712020(氯堿廠衛(wèi)生防護距離標準)要求。 用于生產、儲存危險化學品的多晶硅生產企業(yè)應委托有資質的機構進行安全條件論證和安全評價;其建設項目應委托具有化工設計乙級以上資質的設計單位設計;應委托具有化工建設(安裝)資 格 的單位負責施工。 新建、擴建、改建多晶硅生產
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