硅太陽(yáng)電池?cái)U(kuò)散工藝研究畢業(yè)論文-文庫(kù)吧資料
2025-06-25 03:04本頁(yè)面
【正文】 間接地增加工藝氣體反應(yīng)時(shí)間，從而改善爐口片內(nèi)均勻性和片間均勻性。所以，生產(chǎn)中廢氣排放口的較佳位置是在一個(gè)兩向平衡距離范圍內(nèi)。因此，分別調(diào)整廢氣排放位置并進(jìn)行試驗(yàn)對(duì)比。在生產(chǎn)中，需要在恒溫區(qū)最大限度地放置擴(kuò)散硅片，保證恒溫區(qū)溫度的精度和穩(wěn)定性。 從表1和表2的數(shù)據(jù)可看出，氣流量由25 L／min向27 L／min變化，爐尾溫度降低1℃，爐口溫度無(wú)變化，氣流量由25 L／min減少到23 L／min，爐尾溫度升高1℃，爐口溫度降低1℃。 工藝氣體流量對(duì)爐內(nèi)溫度的影響，關(guān)閉小N2(磷源bubbler bottle)，通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)大N2流量，試驗(yàn)記錄擴(kuò)散爐石英反應(yīng)管內(nèi)爐口、爐中、爐尾3段Profile TC(tlaermal couple)溫度隨爐內(nèi)氣體流量(壓強(qiáng))的變化情況，以研究爐內(nèi)氣氛?qǐng)鰵怏w流量(壓強(qiáng))變化對(duì)與擴(kuò)散均勻性密切關(guān)聯(lián)的溫度影響程度和趨勢(shì)。 工業(yè)化生產(chǎn)中擴(kuò)散爐的均勻性主要通過(guò)測(cè)試擴(kuò)散后硅片的方塊電阻來(lái)反映。根據(jù)氣氛?qǐng)鲆蛩氐奶攸c(diǎn)，作出擴(kuò)散氣氛?qǐng)鼋Y(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。配備懸臂裝載機(jī)構(gòu)擴(kuò)散爐本身的特點(diǎn)及恒溫區(qū)位置的固定，確保了SiC槳、石英保溫檔圈、均流板和石英舟是固定位置使用。2 原理及方法，優(yōu)化擴(kuò)散的均勻性主要采取溫區(qū)補(bǔ)償技術(shù)。對(duì)懸臂管式擴(kuò)散爐中影響擴(kuò)散均勻性的氣氛?qǐng)鲆蛩剡M(jìn)行相關(guān)的研究，以達(dá)到優(yōu)化工藝參數(shù)、降低生產(chǎn)成本的目的。這也是SCL式擴(kuò)散爐逐步取代懸臂裝載式擴(kuò)散爐的原因所在。相對(duì)于配置懸臂裝載機(jī)構(gòu)的擴(kuò)散爐，SCL式擴(kuò)散爐因其爐口密封性更易保障，并不采用石英保溫檔圈來(lái)保證爐門(mén)低溫狀態(tài)。這些都是擴(kuò)散對(duì)均勻性要求新的研究方向?？梢暂^好地保證電池電性能和參數(shù)的穩(wěn)定性。擴(kuò)散均勻性好的電池。擴(kuò)散制作P －N結(jié)是晶體硅太陽(yáng)電池的核心，也是電池質(zhì)量好壞的關(guān)鍵之一。 除產(chǎn)業(yè)化運(yùn)用新技術(shù)外，太陽(yáng)電池制作中工藝優(yōu)化也非常重要的。新技術(shù)的開(kāi)發(fā)與運(yùn)用同時(shí)也極大地促進(jìn)了太陽(yáng)電池的商業(yè)化發(fā)展。 and the spread of the atmosphere for the establishment of the first engineering model to analyze the spread of plant uniformity issues, paper presented at the same time spread the idea of a climate model of plant engineering. The model study ways to improve battery performance and the industry can play a leading role. Uniformity from the diffusion properties of the solar angle, the paper surface of the battery through the experimental analysis of the spread of concentrations of different minority carrier lifetime of the battery, open circuit voltage, short circuit current and Sintering。關(guān)鍵詞：硅太陽(yáng)電池，擴(kuò)散，均勻性。通過(guò)生產(chǎn)線實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，獲得了一致的分析成果。該模型研究方法可改善電池性能并而可以對(duì)產(chǎn)業(yè)化起了主導(dǎo)作用。論文針對(duì)影響擴(kuò)散的均勻性的因素多而關(guān)聯(lián)復(fù)雜等特點(diǎn)。太陽(yáng)電池產(chǎn)業(yè)所面臨的最主要的問(wèn)題之一是在如何保證電池高轉(zhuǎn)換率前提下提高產(chǎn)量。在理論方面，本文對(duì)擴(kuò)散制作PN結(jié)、電極制作及應(yīng)用在硅太陽(yáng)電池PN結(jié)燒結(jié)所關(guān)聯(lián)的因素進(jìn)行了分析。但對(duì)工業(yè)化生產(chǎn)涉及的具體的工藝系統(tǒng)研究在國(guó)內(nèi)還沒(méi)相關(guān)報(bào)道。通過(guò)不同擴(kuò)散工藝條件與電池的相關(guān)性能參數(shù)的關(guān)系，得出適于高轉(zhuǎn)換率大規(guī)制作的最佳擴(kuò)散工藝條件。硅太陽(yáng)電池?cái)U(kuò)散工藝研究畢業(yè)論文目錄摘 要 1Abstract.............................................................................................................11引言 3 3 3 …………………………………………………………………………………...32 原理及方法 4 4 4 6 7 73 比較研究 8 8 8 9
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