光學(xué)薄膜的特性檢測-文庫吧資料
2025-05-13 22:49本頁面
【正文】 量的。轉(zhuǎn)動二維平臺讓光斑依次對準(zhǔn)每一條亮線，即可讀出沒一個亮線的耦合角 θm。 薄膜折射率的測量 布儒斯特角方法 b b n ng 準(zhǔn)波導(dǎo)法是利用棱鏡耦合來測量沉積在低折射率襯底上或者高折射率棱鏡底面上的聚合物薄膜的折射率和厚度的一種方法。 薄膜折射率的測量 布儒斯特角方法 n ng i ig c o s c o sc o s c o sggpn b irn b i???當(dāng)入射介質(zhì)薄膜光線的入射角為 b時，應(yīng)用入射角和折射角互余和折射定律有 而入射波在空氣與基片界面的反射系數(shù)為 222c o s c o sc o s c o sggpn b irn b i???從上述兩式可以得到當(dāng)一布儒斯特角入射時，鍍膜區(qū)與不鍍膜區(qū)域的反射率相同，即，迎著反射光看時明暗界限將消失，呈現(xiàn)一篇均勻照明。當(dāng)光線的入射角等于布儒斯特角時，膜的上表面沒有反射光，但是在膜的后表面會有光被反射回來。為了解決這個問題設(shè)計了如下的一種鍍膜形式。薄膜的折射率也可以這樣的到。因此若入射角，直到反射光強(qiáng)為零時，得到布儒斯特角，從而計算介質(zhì)的折射率 n2。 2 2 2 1 / 2239。139。onnn?平板 /膜層內(nèi)表面的反射系數(shù)為 ρ 221 s in ( ) s in ( )12 s in ( ) s in ( )ii??? ?????? ??????由于膜層是吸收的，則光在膜層中每來回一次光強(qiáng)度就衰減一次 39。139。可采用多次反射，通過延長光學(xué)路徑的辦法，便能測量若吸收的吸收系數(shù) 利用透射率求折射率 吸收系數(shù)的測量 這個裝置由完全透明的平行平板做成，選擇平板折射率 no和角度 i，以保證空氣中能發(fā)生全反射，若平板長度為 L，厚度為 do 在膜層中的傳播路徑為 39。 利用透射率求折射率 2222221 R eabo abTeT????所以 221 2 122 1 2 2( 1 R e )( 1 R e )abFaboT T TT T R T??????于是得 21 2 2( 1 ) 1osF F Fmo o o s onnT T TT T T RT T n n T???? ???? ? ? ? ? ? ?? ?????光經(jīng)過清潔基片的透射率為 利用透射率求折射率 ? 上式求出 Tm，而后帶入上面式子便得到 n ? 這種方法不僅校正了基片背面的吸收的影響，而且由于采用比較法測量，減小了光度計的測量誤差。 要做到這一點，可將基片做成楔形，或?qū)⒒趁? 磨毛、涂黑 。39。( 2 1 ) [ 2( 1 ) 1 ]44nd m m??? ? ? ? ?同時 λ和 λ’ 是兩個相鄰的極大（或極小）反射率波長 利用反射率求折射率 39。這種方法雖然精度不是很高，但已經(jīng)能滿足設(shè)計和制備的要求，所有得到廣泛的應(yīng)用 利用反射率求折射率 ? 考慮透明膜的情況，也就是在考慮的波段內(nèi)，均勻膜層對光沒有吸收。 光學(xué)薄膜的特性檢測 第三組 徐彩霞 李佳 張琨 張立宏 路高原 光度法測量薄膜的光學(xué)常數(shù) ? 所謂光度法
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