非晶硅薄膜太陽能電池-pecv-文庫吧資料
2025-05-08 06:45本頁面
【正文】 勢是原料易得，制造成本低廉，無毒，易于實現(xiàn)摻雜，且在等離子體中穩(wěn)定性好。利用這一技術(shù)生產(chǎn)的 TCO玻璃已經(jīng)成為薄膜光伏電池的主流產(chǎn)品。其導(dǎo)電性能比 ITO略差，但具有成本相對較低，激光刻蝕容易，光學(xué)性能適宜等優(yōu)點。 ITO應(yīng)用于太陽能電池時在等離子體中不夠穩(wěn)定，因此目前 ITO鍍膜已非光伏電池主流的電極玻璃。但隨著光吸收性能要求的提高， TCO玻璃必須具備提高光散射的能力，而 ITO鍍膜很難做到這一點，并且激光刻蝕性能也較差。 ? 透明導(dǎo)電氧化物的鍍膜原料和工藝很多，通過科學(xué)研究進行不斷的篩選，目前主要有以下三種TCO玻璃與光伏電池的性能要求相匹配。 TCO鍍膜玻璃的特性及種類 ? 在太陽能電池中，晶體硅片類電池的電極是焊接在硅片表面的導(dǎo)線，前蓋板玻璃僅需達到高透光率就可以了。 ? TCO玻璃首先被應(yīng)用于平板顯示器中，現(xiàn)在 ITO類型的導(dǎo)電玻璃仍是平板顯示器行業(yè)的主流玻璃電極產(chǎn)品。薄膜太陽能電池 (非晶硅 ) 非晶硅薄膜電池生產(chǎn) 超聲波玻璃清洗機（重要設(shè)備）（鍍膜前清洗） ? 工藝：洗的是膜表面上的污垢和灰塵及一種高分子材料 ? 要求：導(dǎo)電玻璃 ,不在生產(chǎn)線上用，速度越快越好；離線使用，單面清洗；導(dǎo)電玻璃最初清洗的材料是一種高分子材料（類似塑料），清洗液可能是水，也可能是四氫呋喃 THF。 激光劃線機 1（重要設(shè)備） ? 工藝：這一步主要是劃刻 氧化錫，使用的 1064納米波長的紅外激光器 ? 要求：刻蝕速度、激光源壽命、操作系統(tǒng)是否簡單且方便操作、 Dead area無用區(qū)域大?。ㄈ龡l刻膜線總線寬）、劃刻線寬、系統(tǒng)產(chǎn)能（ MW/年） 預(yù)熱爐 ? 工藝： 加熱導(dǎo)電玻璃 PECVD真空沉積系統(tǒng)，即等離子體增強化學(xué)沉積 (主要設(shè)備 ) ? 工藝： 非晶硅 pin鍍膜
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