表面粗糙度測(cè)量ppt課件-文庫(kù)吧資料
2025-01-21 10:46本頁(yè)面
【正文】 4一光闌； 5一透鏡； 6， 9物鏡； 7一分光鏡；8一補(bǔ)償鏡； 10， 14， 16一反射鏡； 12一目鏡；13一透光窗 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測(cè)量 ２．干涉法的特點(diǎn)： 所用儀器為干涉顯微鏡，可測(cè) 參數(shù) Rz、 Ry，具有較大的放大倍數(shù)． 測(cè)量范圍：（１～０．０３ 181。 由 測(cè) 微 目 鏡 可 讀 出 相 鄰 兩 二干涉帶距離 a以及干涉帶彎曲高度 b。 由光源 1發(fā) 出的光線經(jīng)聚光鏡 2濾色片 光闌 及透 鏡 5后成平行光線 ， 射向半透半反的分光鏡 7后分成兩束：一束光線通過(guò)補(bǔ)償鏡 物 鏡 9到平面反射鏡 10， 被 10反射又回到分光 鏡 7， 再由 7經(jīng)聚 11到反射鏡 16， 由 16進(jìn)入 目鏡 12；另一束光線向上通過(guò)物鏡 6， 投射 到 被測(cè)零 件表 面 ， 由被測(cè) 表面反射 回來(lái) 通 過(guò)分光鏡 聚光鏡 1 1到反射鏡 16， 由 1 6 反射也進(jìn)入目 12。m)．測(cè)量 方法屬于非接觸測(cè)量 圖４－２－５雙管顯微鏡 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測(cè)量 三 .干涉法及干涉顯微鏡 : 干涉顯微鏡是根據(jù)光學(xué)干涉原理制成的 。 該光線又由被測(cè)表面反射，經(jīng)過(guò)物鏡 2成像在分劃板上，在經(jīng)過(guò)目鏡就可以觀察到一條放大了的凹凸不平的輪廓線，如圖 423 光束投射方向光帶影像觀察方向 圖 ４－２－２測(cè)量原理圖 圖４－２－３ 光束與 表面截圖 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測(cè)量 : 所用儀器 為光切顯微鏡 (雙管顯微 鏡 ),適用與規(guī)則表面 (如 :車、銑、刨等 去除材料的加工表面） ,且表面有一定 的反射能力。該光束如同一平面與被測(cè)表面成 45176。實(shí)際中最常測(cè)量評(píng)定的參數(shù)為高度參數(shù)Ra,Rz,Ry，優(yōu)先選用 Ra． 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測(cè)量 圖 ４－１－１ 表 面 輪 廓 的 組 成 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測(cè)量 第四章 表面粗糙度及表面微
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