中國科學技術大學物理系微電子專業(yè)(參考版)
2025-02-15 01:54本頁面
【正文】 體內(nèi)產(chǎn)生 ,表面復合 . 220ppDGx ????? ? ?? ? ??3/5/2023 70 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 圖 520 3/5/2023 71 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 3/5/2023 72 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 020224exp4),(npppnpnnnpnpnpttDxtDNtxpppxpDxptp????????????????????????????（ 3） HaynesShockley實驗 局部光脈沖在半導體樣品中產(chǎn)生過剩載流子，連續(xù)性方程如下 : 02]4 )(exp[4),( nppppn pttDtxtDNtxp ?????????加外場時： 3/5/2023 73 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) HaynesShockley 實驗：最早演示了少數(shù)載流子漂移和擴散的實驗裝置 3/5/2023 74 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 半導體基本的物理方程 3/5/2023 75 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 3/5/2023 76 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 3/5/2023 77 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 3/5/2023 78 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 3/5/2023 79 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 本章 書上第五章的刪略 167。 +均勻電場 22p p pDtx ?? ?? ? ? ? ?????22p p p pDEt x x???? ?? ? ? ? ? ? ?? ? ?? ? ?3/5/2023 68 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 圖 519 3/5/2023 69 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) ⑤ 穩(wěn)態(tài)下的表面復合 : ? =0。 G+=0 + 均勻半導體 穩(wěn)態(tài)擴散方程 : 22( ) ( )d p x p xDdx ?? ????3/5/2023 66 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) ③ 穩(wěn)態(tài)擴散 +漂移 : 穩(wěn)態(tài)連續(xù)性方程 穩(wěn)態(tài)擴散 +均勻電場 ,均勻半導體 ? 擴散長度 — 僅考慮擴散 , 非平衡子深入樣品的平均距離 . ? 牽引長度 — 僅考慮漂移 , 非平衡子在 τ時間內(nèi)所通過的距離 . 22( ) ( ) ( ) 0d p x d p x p xDEdx dx???? ?? ? ?? ? ?3/5/2023 67 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) ④ 注入少子脈沖 ?考慮 擴散 : ? =0。 穩(wěn)態(tài) 。 G+=0。 ? 非平衡子 復合 引起少子濃度變化； ?當存在電場 ,漂移 引起少子濃度變化 。 ? 連續(xù)性方程基于粒子數(shù)守恒，即單位體積內(nèi)電子增加的速率等于凈流入的速率和凈產(chǎn)生率之和。 s)] D擴散系數(shù) [cm2/s] ()d p xSDdx?????3/5/2023 48 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) 圖 513 3/5/2023 49 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) ⑵ 穩(wěn)定條件下 ,空穴濃度形成穩(wěn)定的分布 ? 穩(wěn)態(tài)擴散方程 : ? 左邊 : 由于擴散 ,單位時間在單位體積內(nèi)積累的空穴數(shù) (積累率 ) ? 右邊 : 由于復合 ,單位時間在單位體積內(nèi)消失的空穴數(shù) (復合率 ) () 0pxt?? ??22( ) ( )d p x p xDdx ?? ????3/5/2023 50 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) ? 穩(wěn)態(tài)擴散方程的通解 : L擴散長度 ( ) xxLLp x A e B e L D ????? ? ?? ? ? ?3/5/2023 51 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理系微電子專業(yè) ⑶ 求解 穩(wěn)態(tài)擴散方程 (幾種典型情況 ): ① 樣品足夠厚 : L代表了非平衡子深入樣品的平均距離 . 0( ) ( )xLp x p e ??? ? ?3/5/2023 52 Semiconductor Physics 中國科學技術大學物理
教學課件相關推薦
鄂ICP備17016276號-1