【正文】 取樣需要采用即不吸附氣體，又不滲透氣體材料的配管、導管及閥門，裝置盡可能地緊湊，以減少氣體的接觸面積。因為取樣裝置設置不當，是造成分析失準的主要原因，即使應用精密儀器，也不可能得到有意義的結(jié)果。主要的粒子計數(shù)器有凝聚核型（ CNC）、光散射型（ LPC）等 。 ● 干燥度的檢查，露點法（鏡面法、光電法）、電容法、電解法等，露點法是可靠的。 ● 純度的檢測，主要是對高純試驗氣體通過管道系統(tǒng)后，氣體本身純度的變化，即對氧的滲透情況檢查。 ? “三度”的檢測 測定輸送氣體純度、干燥度、潔凈度的變化，是檢查高純、超凈管道系統(tǒng)合格與否的三項基本內(nèi)容。 除上述項目外，同時查勘系統(tǒng)安裝完整性、準確性，連接可靠性。因此潔凈室的驗 收增加了中間驗收環(huán)節(jié)，這也是與普 通管道工程的不同之處。 集中式真空吸引裝置應安裝在遠離潔凈室的建筑物外，安裝時應采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不得小于 5倍管外徑，排氣口應設置過濾設備。 裝置出口管道上的安全閥在安裝前應進行閥門開啟檢查。 瓶裝氣體供氣置安裝地點不是獨立房間時，應采用防火材料建筑隔離室。 水分含量隨時間的變化 超高純氣體管線不同的啟動特性 ? 為了避免氣體自身的污染，也更要關注管路系統(tǒng)的始端，氣體的源頭，潔凈室外的汽車槽車、氣瓶上的管道，要能夠進行吹掃，其吹掃用氣量并不大，推薦數(shù)量值可為整個系統(tǒng)流量的 1/5001/吹掃氣流 會向大氣進行反向擴散，粒子計數(shù)器也可能進行反向擴散一般在管道終端頭部留有一個孔口，孔徑大小足以通過穩(wěn)定不變的吹掃氣流為界定值 。 測定管路中氣體 粒子數(shù) /立方英尺 氬（鈍化） 0 氧（電拋光） 0 氮（鈍化） 0 氫（電拋光） 0 吹出 50個小時，系統(tǒng)粒子狀況 前面介紹的小潔凈室氣體供應系統(tǒng)，在配管期間保持管路系統(tǒng)密閉700個小時。輸送可燃氣體的管道在啟用之前，應用惰性氣體將管內(nèi)原有氣體置換。 管道系統(tǒng)的吹除 氣體管道系統(tǒng)各項試驗合格后，應使用與潔凈室潔凈度匹配的潔凈無油水壓縮空氣或高純氮氣對管道系統(tǒng)進行吹除，吹除氣流流速應大于 20m/s，直至系統(tǒng)末端排出氣體在白紙上無污痕為合格。對管段之間焊接接頭、管路的分支接頭，閥門的填料、法蘭或螺紋的連接處，包括全部金屬隔膜閥、波紋管閥、調(diào)節(jié)閥、放空閥、排氣閥等，并以發(fā)泡劑檢驗不泄漏為合格。這方面我們在施工安裝前要注意設計文件，是否有這方面特定的說明。 對氣體管道來說， 試驗氣體氮氣為永久氣體、 D 類流體，管道的損傷多為加工制造存在潛在缺陷或操作不當而導致的機械破壞，完全不同于易燃、易爆介質(zhì)的爆燃或爆轟過程，但 試驗過程含有潛在的不安全因素，比如對氣源壓力的控制，管材質(zhì)量與人員的操作水平等因素，存在超壓、管材破裂等 可能性，而 體大面積沖擊人身，輕者致殘，重者喪生，具有相當?shù)臍εc破壞力，看下表： 爆破碎片動量 對建筑物與人身的沖擊造成的傷害 KPa(G) 可使墻面玻璃窗粉碎（無論面積大小） KPa(G) 可使螺紋鋼或鋁板彎曲 1421 KPa(G) 可造成素混凝土或媒渣磚墻（ 300mm）倒塌 35 KPa(G) 導致人體耳鼓膜破裂 56 KPa(G) 可造成磚墻（厚度 300mm）錯位與倒塌 105 KPa(G) 可造成人體肺損傷 壓力造成建筑物、人身損害的狀況 速度 35m/s、重量 9g的玻璃片 可射穿人體腹部 速度 3m/s、重量 可射穿人體腹部 速度 3m/s、重量 的磚石碎塊 可使人頭骨骼碎裂 因此強調(diào)做好人員與環(huán)境的安全保障工作。所以投入也大，為此，高純、高潔凈度的管道系統(tǒng)安裝完畢不采用水壓試驗，而應采用潔凈的氣體，一般多用高純氮氣進行氣壓試驗。當管道的設計壓力大于 ，必須有設計文件規(guī)定方可實施氣壓試驗，否則應與設計方或建設方協(xié)商確定后進行。 管道系統(tǒng) 的強度試驗 管路系統(tǒng)安裝完畢后應進行強度試驗。 所以出現(xiàn)這種情況，因為氬氣和氧氣管道安裝部位較高，貼近天花板，也就是說靠近室內(nèi)高效過濾器的安裝地點，附近空氣潔凈度相對較高。 圖中，氧和氬氣系統(tǒng)采用第一種方式，而氮氣和氫氣采用第二種施工速度較慢的方式。 下面介紹一個工程案例 對于微型潔凈室內(nèi)高純、高潔凈氣 體輸送管路的配管工作，一般采用兩 種方式： ，由管道安裝地點的上游開始，逐段向下游進行。當焊接工作停止時，氫氣也應當暫停供給，此刻僅用氬氣吹掃。見下圖 這種措施便可以有效地防止環(huán)境中含濕大氣向管內(nèi)擴散，造成其內(nèi)表面出現(xiàn)吸附狀況。 不具備這樣的條件，就應當搭建一座臨時的、能夠提供達到一定凈化級別空調(diào)系統(tǒng)的預制工房，以供在其內(nèi)部進行施工前工序的各項工作，這會增大部分資金的投入，但對確保潔凈室達標是必要的。有了這種潔凈小室，僅 占用一席很小的施工場地，就可以在大氣中獲得一塊 5級以上潔凈的焊接環(huán)境，并且，這種潔凈小室成為高純、高潔凈度的氣體管道施工的必要手段。這種潔凈小室，可以保證在大氣中進行接口的焊接時，在接口周圍有 400平方厘米面積的微小潔凈空間，保證管材內(nèi)表面不與大氣接觸，從而避免了大氣的污染。 ? 對于開敞、裸露的管段端頭處，在接管焊接時，應當密切注意接口周圍區(qū)域的潔凈狀況，嚴防通過開敞的管端頭增大粒子的滲透和污染。 如果是在未潔凈的房間內(nèi)進行配管和敷設工作，在周圍環(huán)境空氣中的粒子數(shù)達最高可達 10億個 /立方英尺以上，那么對于管道內(nèi)表面污染的機會也就隨之大大增加。 在這里強調(diào)的是：為了確保氣系統(tǒng)管道的質(zhì)量，減少與防止管路系統(tǒng)在安裝階段，產(chǎn)生各種污染，安裝中應當最大限度地減少系統(tǒng)的啟動次數(shù)。 ● 對于銅管的焊接，強調(diào)采用承插式硬釬焊。 高純氣體管道的安裝 提到的一些保障措施，對于確保運行的成功都是十分必要的基本條件。因為潔凈室 19級，使用氣體都經(jīng)過干燥處理，或者深冷空分提供的氣體，都可以無坡度敷設 ,空分液氧氣化溫度 183oC,液氮 194oC，不可能含水分。 這一條主要是針對真空系統(tǒng)管道來講的。 管道敷設應符合設計要求，設計無要求時，輸送干燥氣體的管道宜無坡度敷設；真空吸引管道的坡度宜大于或等于 ％，坡向真空泵站；含濕氣體管道坡度宜大于或等于 ％，同時坡向冷凝水收集器 。 線脹系數(shù)高，熱伸長大，必須設置補償器。 施工工具、焊機、管材為進口。而且兩管對接面錯邊可達 1mm，顯然過大，增大管壁局部粗造度。 （ PVDF）可以作為高純氣體系統(tǒng)的一種材料，施工必須采用自動或半自動熱焊機焊接連接，熱焊的壓力、溫度和時間要根據(jù)管壁不同厚度進行控制與調(diào)節(jié)，溫度高了、時間長了容易焊穿。 3） 溶劑嚴禁與強酸接觸。 危害如此嚴重，因此，施工中脫脂操作必須確保環(huán)保及人員的安全，充分體現(xiàn)“以人為本” 的原則： 1） 脫脂應在露天或在通風良好處進行，工作人員應有防毒保護措施，帶手套和口罩，濃度大時應帶防毒面具 。 ◆ 常溫下四氯化碳 與硫酸作用也能生成光氣， 光氣是劇毒氣體，極其微量也能引起中毒。 ◆ 四氯化碳中毒引起人的頭痛、昏迷、嘔吐等癥狀。相當現(xiàn)行國家標準 《職業(yè)性接觸毒物危害程度分級》 GB5044中 Ⅰ 級（極度危害）的毒物。 脫脂應在遠離潔凈室的地點進行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護工作 。 前二者均具有毒性，但因二氯乙烷、三氯乙烯還有燃燒與爆炸的危險，因此，常用溶劑多為四氯化碳。當閥門及儀表在制造廠已經(jīng)脫脂，并有可靠地密封包裝及證明時，可不再脫脂。 管道內(nèi)壁的酸洗工作，必須保證不損害未銹蝕的表面，并能清除銹蝕部分。 4. 普通不銹鋼管應在清洗槽中用酸洗液清洗 。 “磨切”切口光滑、平整、速度快 。“等離子”切割利用離 子弧高溫，使得被切的金屬熔化，同 時，利用壓縮氣體高速氣流將熔渣吹 掉而實現(xiàn)切割管材，此方法可以切割 任何金屬與非金屬的管材，并具有切 割速度塊、質(zhì)量好、熱影響小、變形 小的優(yōu)點。金屬墊片的 加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度等，要符合要求，表面不的有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕及銹斑等缺陷 。 ● 法蘭的密封面應當平整、光滑，不得有毛刺及徑向溝槽，凸、凹法蘭應當能夠自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。 而且在微電子生產(chǎn)中，個別生產(chǎn)工藝，如砷化鎵的操作，為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅質(zhì)管路及其附件。 不銹鋼管的耐磨性能優(yōu)于銅管，在氣流沖刷下產(chǎn)生的金屬粉塵相對也少，對潔凈度要求高的場合使用不銹鋼管 316L、 31 304，不采用銅管材。 由于特殊拉拔工藝生產(chǎn)的“ BA” 管及“ EP” 管，加工工藝復雜，價格昂貴。 –外購成品“ EP、 BA潔凈管”要有出廠合格 證書及生產(chǎn)單位的相關等級證書和生產(chǎn)相關的資質(zhì)證明。 –管子應當平直、圓滑、無局部凹陷、無壓入物，無刮傷、碰傷、擠壓等缺陷。 4） 管子、管件、閥門等，使用前，詳 實地進行外觀檢查： –無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。 2） 所用管材到貨后，應放在室內(nèi)精心 保管， 潔凈管材十分珍貴，進貨不能 像普通管材那樣隨意碼放，要防止磕 碰、擠壓、變形、變彎，更重要的是 保持內(nèi)表面的粗糙度與光滑不受破壞。所有這些過程控制，都是管 道系統(tǒng)質(zhì)量的基本技術保障條件，因 此，施工中必須一絲不茍、嚴肅對 待 。 采用銅材的高純氣體管路，可用不銹鋼材質(zhì)的附件，但在不銹鋼材質(zhì)的管路中，不得采用銅質(zhì)的附件。填料用經(jīng)脫脂處 理的聚四氟乙烯。 成品潔凈管外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施應當有效、無破損。管道的表面應無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑等缺陷。如果選用鋼管，則低碳鋼管材（ 316）較為適宜，否則，含碳過高的材料在焊接時，受焊接熱影響的部位產(chǎn)生局部腐蝕應力，或造成焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體 的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導致我們