潔凈技術(shù)講稿6(參考版)
2025-01-08 04:20本頁面
【正文】 。 日常生活例證 ， 吊燈上方頂棚先變污 。作者建議把dp=10μm的懸浮速度作為控制速度，通過實驗取 u=20cm/s， 因此要求吹過潔凈室水平面的氣流速度不高于 20cm/s， 對于地面附近，正是 回流速度，設計送風方式時要作考慮。 （ 2） 影響微粒的移遷 指水平方向氣流使得沉積在平面上的微粒發(fā)生的遷移 。 當 ρ p=1g/cm3時， dp=5μ m ， dp=1μ m ， dp1μ m ， 當 dp≤ 1μ m時，認為微粒完全按氣流流線運行。 以與氣流速度的相對值的形式給出 。 從兩點可以說明： ① 跟隨速度概念 ， 由于微粒密度遠大于空氣 ， 在氣流中所受到的力與同體積氣體相比有差異 ， 因而是造成其速度與攜帶微粒的氣流速度有差異 。 氣流對微粒運動的影響 （ 1） 影響室內(nèi)微粒分布的因素 前面在討論微粒的沉積的作用因素時，曾分析由于重力慣性力和擴散所造成的微粒的運動的速度很小，每秒千分之幾厘米，所以它們的存在不會對室內(nèi)微粒的濃度分布造成影響，但室內(nèi)的送回風氣流及其它由于熱表面及人員行走所行成的氣流速度一般均大于， 足以攜帶微粒移動較長的距離，特別是室內(nèi)的氣流組織不是平行流而是亂流、室內(nèi)又有微粒發(fā)生源的時候，這些氣流會影響到室內(nèi)微粒的濃度分布。 ???iiis ndnD 2 學習了上述內(nèi)容 ， 在已知室內(nèi)空氣中微粒濃度情況下 ， 在不考慮室內(nèi)微粒發(fā)生源的情況下 ， 我們可以計算在水平面和垂直面上的沉積量 。 表 69列出幾間潔凈間沉積數(shù)量的實測值與計算值的對比 ， 差別不是很大 。 TaNvffTaNvN ssg ?? / 對于多分散微粒 ， vs值應按某個平均粒徑計算 ， 由于微粒的沉降速度主要受空氣阻力的影響 ， 而該阻力和微粒的投影面積成正比 ， 所以應該用平均面積直徑 ，也就是第一章中提到的 9 種平均直徑中 的即平均面積直徑作為全部微粒的平均 直徑 。 按教材給的數(shù)據(jù)：對于 1μm微粒 ， 修正系數(shù)應為 ， 對 5μm修正系數(shù)為， 經(jīng)核算教材上邊的各效率 ， 對 5μm應為 。 教材以集成電路用直徑 3cm硅片為例 ， 在兩種粒徑微粒條件下 ， 將上述四種途徑沉積的幾率列出 ， 其相對大小順序為：沉降沉積 、 攔截沉積和擴散沉積 ， 各高出一個數(shù)量級 ， 慣性沉積趨于零 。 ? ? ? ? ? ? ? ? ???????????????RRRRR eR 1111ln12ln221?1222?????adadaRppp?? ? RRR ???? 1 11? 3） 沉降沉積 微粒在局部平面的沉降沉積效率 也為很小的值 ， 見表 68。 對大平面 ， 不考慮慣性沉降的影響 。 我們以沉積效率這種相對量的形式比較它們的大小 。單位統(tǒng)一 由于 vs很小 ， ， 故上式簡化為 粒 /cm2 （ 627） ????????????hnvnhsgssefTNvN 11??ssnhfTNvN sg ? 僅適用于有送風的情況 ， 而且是大的平面 ， 而我 們關(guān)心的是微粒在工件上的沉降數(shù) ， 如集成電路板上 ， 屬局部平面 。 對于微粒在有送風的室內(nèi)平面上的沉積 ， 日本兩名學者提出沉積量計算公式 。 ?? t sg NdtvN 0 在沒有送風室內(nèi) ， 沒有新的微粒來源 ， 因而單位面積氣柱中微粒數(shù)的減少等于沉積到平面上的微粒數(shù) 整理積分得 代入 （ 624） 式積分 粒 /cm2 NdtvHdN s?? Htv seNN ?? 0 ? ? ?????????????HtvgseHNHNNN 100?? tsg Ndtv0 仍用前面萬級潔凈車間的例子計算 , 室內(nèi)尺寸 ， 與計算相關(guān)量： H==260cm， 室內(nèi)粒子濃度 （ 潔凈度 ） N0= /cm3 ， 沉積時間t=3600秒 cm/s 粒 /c
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