微電子學(xué)概論--chap10(參考版)
2024-12-30 23:00本頁面
【正文】 列舉幾種你所知道的 MEMS器件，并簡述其用途。 利用這種芯片可以在極快的時(shí)間內(nèi)檢測或發(fā)現(xiàn)遺傳基因的變化等情況，這無疑對(duì)遺傳學(xué)研究、疾病診斷、疾病治療和預(yù)防、轉(zhuǎn)基因工程等具有極其重要的作用 ?Stanford和 Affymetrix公司的研究人員已經(jīng)利用微電子技術(shù)在硅片或玻璃片上制作出了 DNA芯片。 微推進(jìn)器 ? 組成 : 由 5到 6片芯片疊在一起，內(nèi)有混合燃燒室、噴口噴管、兩個(gè)泵和兩個(gè)閥以及冷卻管道的 多器件集成系統(tǒng)。 制作方法可以用目前已成熟的MEMS及 LIGA技術(shù) 。 硅片上有集成電路來開啟和控制每個(gè)微推進(jìn)器 。 其性能目標(biāo)為：比沖 50～ 75s， 推力， 功率 2W/mN， 質(zhì)量為幾克 ， 大小為 1cm2。 微推進(jìn)器 美國噴氣推進(jìn)實(shí)驗(yàn)室 (JPL)展示的采用 MEMS技術(shù)的電阻電熱式微推進(jìn)器樣機(jī) (固體升華方式 )。 微推進(jìn)器由薄膜加熱器 、 微型噴口等組成 。 ?微傳感器： ?機(jī)械類：力學(xué)、力矩、加速度、速度、角速度 (陀螺 )、位置、流量傳感器 ?磁學(xué)類：磁通計(jì)、磁場計(jì) ?熱學(xué)類：溫度計(jì) ?化學(xué)類：氣體成分、濕度、 PH值和離子濃度傳感器 ?生物學(xué)類： DNA芯片 ?微執(zhí)行器：微馬達(dá)、微齒輪、微泵、微閥門、微開關(guān)、微噴射器、微揚(yáng)聲器、微諧振器等 ?微型構(gòu)件：微膜、微梁、微探針、微齒輪、微彈簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微連桿等 ?微機(jī)械光學(xué)器件：微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等 ?真空微電子器件：它是微電子技術(shù)、 MEMS技術(shù)和真空電子學(xué)發(fā)展的產(chǎn)物，具有極快的開關(guān)速度、非常好的抗輻照能力和極佳的溫度特性。 ?應(yīng)用研究：如何應(yīng)用這些 MEMS系統(tǒng)也是一門非常重要的學(xué)問。微機(jī)電系統(tǒng) ?信息系統(tǒng)微型化 ?系統(tǒng)體積大大減小 ?性能、可靠性大幅度上升 ?功耗和價(jià)格大幅度降低 ?信息系統(tǒng)的目標(biāo)：微型化和集成化 ?微電子解決 電子系統(tǒng) 的微型化 ?非電子系統(tǒng) 成為整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)一步縮小的關(guān)鍵 機(jī)械 傳感 執(zhí)行 部分 控制部分 電子學(xué) MEMS 微電子學(xué) ?微機(jī)電系統(tǒng) /微電子機(jī)械系統(tǒng) MicroElectroMechanical Systems ?微機(jī)械： Micromachine ?微系統(tǒng)： MicroSystem MEMS技術(shù) ?從廣義上講， MEMS是指 集 微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控
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