微加速度計的基本工作原理及工作特點(diǎn)(參考版)
2024-08-16 06:55本頁面
【正文】 信號噪聲大，工作電壓高，加工困難，成品率低。 分辨率低，溫漂較大，壓敏電阻制作困難 隧道電流式 利用隧道電流對位移變化的敏感性測量加速度變化。 壓電式 根據(jù)壓電效應(yīng)，利用壓電膜壓縮量來檢測加速度變化。差動式有較好線性度。 電容式 利用敏感質(zhì)量塊與固定電極間距離變化來檢測加速度變化。 加工工藝簡單，測量方法易行，測量范圍寬，線性度好，重復(fù)生產(chǎn)性好。 懸臂梁或者 雙端固支梁支撐慣性質(zhì)量 塊，質(zhì)量 塊在慣性力 的作用下，位置 將發(fā)生 偏移，這個 偏移量直接影響 到隧道 電流的 變化，通過 檢測隧道電流變化量來 間接檢測加速度值。 基本工作原理及工作特點(diǎn) 壓電式微加速度計 ?優(yōu)點(diǎn)： ?結(jié)構(gòu)比較 簡單 ?容易測量 ?缺點(diǎn)： ?很難測量常 加速度 ?溫度系數(shù)較大 ?器件 的線性 度不夠好 ?壓電材料價格比較昂貴 基本工作原理及工作特點(diǎn) 隧道效應(yīng)型微加速度計 ?隧道效應(yīng) 粒子運(yùn)動遇到一個高于粒子能量的勢壘時，按照量子力學(xué)可以解出除了在勢壘處的反射外，還有透過勢壘的 波函數(shù) ，這表明在勢壘的另一邊，粒子具有一定的概率，粒子 貫穿勢壘 。 基本工作原理及工作特點(diǎn) 壓電式微加速度計 ?壓電效應(yīng)： 電介質(zhì)在沿一定方向上受到 外力而 變形 時，其內(nèi)部會產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同 時在它的兩個相對表面上出現(xiàn)正負(fù)相 反的電荷。 敏感 單元是不對稱質(zhì)量 平板，通過
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