刻蝕工序作業(yè)指導(dǎo)書簡述(參考版)
2024-08-12 20:30本頁面
【正文】 ）26．開機(jī)運(yùn)行。相關(guān)夾具：無操作提示： 根據(jù)PC柜操作信息，進(jìn)行復(fù)位。19．接抽液管20．檢查各連接相關(guān)夾具：無操作提示：換液后及時(shí)將工藝窗關(guān)閉,防止化學(xué)品揮發(fā)出來.相關(guān)夾具：無操作提示：開機(jī)前復(fù)位液位,使更換過的化學(xué)桶保持在有液位狀態(tài).21．關(guān)閉工藝窗22．換液完復(fù)位液位相關(guān)夾具：無操作提示：在作顯示屏上點(diǎn)擊“停止”，將“停止”狀態(tài)切換為“起用”狀態(tài).相關(guān)夾具：無操作提示：檢查操作顯示屏上是否為起用狀態(tài)，顯示為起用狀態(tài)，通知KUTTLER清洗機(jī)操作人員準(zhǔn)備運(yùn)行機(jī)器。是否螺母滑絲。相關(guān)夾具：無操作提示：換液操作員在連接抽液口接頭時(shí)一定要檢查密封圈是否有，是否變形破損,接口是否能跟抽液管順暢連接.17．接入回流管18．檢查密封圈相關(guān)夾具：無操作提示：連接抽液管。15．放入滿桶化學(xué)品16．將滿桶回流蓋松開相關(guān)夾具：無操作提示：擰下回流蓋，將回液管從回液口處伸進(jìn)化學(xué)桶,擰緊固定回流管的端蓋。換液操作員再進(jìn)行化學(xué)品標(biāo)簽確認(rèn)。 相關(guān)夾具：纏繞膜操作提示：使用纏繞膜將空桶包好后放于指定位子。11．松下回流及抽液管12．取下空桶相關(guān)夾具：吸液棉操作提示：用吸液棉將空桶上的殘留化學(xué)品清理干凈。將空桶桶蓋裝好并擰緊。9．關(guān)閉回流及抽液閥10．稍稍擰松接口至殘夜回流相關(guān)夾具：無操作提示：將回流管取下，擰下抽液管與桶的連接閥。相關(guān)夾具：無操作提示：～3圈（，如殘液不回流，再擰松半圈，依次類推直至殘液回流），讓管內(nèi)殘液回流至化學(xué)桶內(nèi)。5．準(zhǔn)備化學(xué)品6．核對化學(xué)品相關(guān)夾具：無操作提示：換液操作員在操作顯示屏上點(diǎn)擊“起用”，將“起用”狀態(tài)切換為“停止”狀態(tài).相關(guān)夾具：無操作提示：檢查操作顯示屏上是否為停止?fàn)顟B(tài)，顯示為停止?fàn)顟B(tài)時(shí)才可以進(jìn)行換液操作。相關(guān)夾具：無操作提示：使用清洗間集中供液換液專用的升格叉車。1．佩戴好防護(hù)用具2．集中供液機(jī)操作屏相關(guān)夾具：無操作提示：用于打開化學(xué)桶的回液口的蓋子。換液必須雙人操作，工序長或領(lǐng)班、主管監(jiān)督確認(rèn)每一步操作流程。15．?dāng)[放16. 交接班集中供液換液作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：無操作提示：防護(hù)用具包括：防護(hù)服、防毒面具、防酸手套、防護(hù)鞋。13．防護(hù)服14．防護(hù)褲相關(guān)夾具：無操作提示：按照線別標(biāo)整齊擺放好防護(hù)用品。相關(guān)夾具：無操作提示：防護(hù)褲脫用干凈的抹布擦拭干凈，放在指定的線別區(qū)域內(nèi)。放在指定的線別區(qū)域。9． 防酸手套一10．防酸手套二相關(guān)夾具：無操作提示：將防毒面具摘下。再將手套用氣槍吹干。7．正確穿戴8．確認(rèn)檢查相關(guān)夾具：無操作提示：戴著防酸手套用流水將手套沖洗2分鐘。5．防護(hù)服6．防護(hù)褲相關(guān)夾具：無操作提示：防酸手套內(nèi)至少戴二層以上層乳膠手套。帶是否完好。如有異常通知領(lǐng)班及時(shí)更換。帽子系帶是否完好。如有異常通知領(lǐng)班及時(shí)更換。面具鏡片上是否有水珠及霧狀。如有異常通知領(lǐng)班及時(shí)更換。如有異常通知領(lǐng)班及時(shí)更換。（如有：用PH測試紙檢測，確認(rèn)后使用）如有異常通知領(lǐng)班及時(shí)更換。相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：硅片交換給下料人員。四條邊都要測。相關(guān)夾具：無 操作提示：歸還給上下料人員。 3. 輕放于天枰上 相關(guān)夾具：無操作提示：按順序記錄硅片重量與生產(chǎn)記錄表，參看文件SHQM3Eng003F01，并提交于MES系統(tǒng)。刻蝕后稱重加戴一
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