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正文內(nèi)容

多晶硅安全技術(shù)規(guī)范(參考版)

2024-11-12 05:39本頁(yè)面
  

【正文】 多晶硅生產(chǎn)車間火災(zāi)危險(xiǎn)性分類 氫氧站生產(chǎn)車間、氯化氫與三氯氫硅合成車間、氯硅烷分離與提純車間、多晶硅還原車間、還原尾氣回收與分離車間、氫氣灌區(qū)、氯硅烷灌區(qū)的火災(zāi)類別為甲類、易燃易爆作業(yè)場(chǎng)所,屬爆炸性 氣體環(huán)境; 多晶硅破碎、硅粉庫(kù)生產(chǎn)車間火災(zāi)類別為乙類,屬爆炸性粉塵環(huán)境;空分制氮、酸腐蝕生產(chǎn)車間火災(zāi)類別為乙類,屬爆炸性氣體環(huán)境。 A 表 1 可燃化學(xué)危險(xiǎn)品的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類 序號(hào) 危險(xiǎn)化 學(xué)品名稱 危險(xiǎn) 類別 閃點(diǎn) ℃ 自燃點(diǎn) ℃ 爆炸極限( V/V) 火災(zāi)危險(xiǎn)類別 下限 上限 1 超細(xì)硅粉 第 —— 775 160mg/m3 —— 乙類 23 易燃固體 3 硝酸 第 —— —— —— —— 乙類 10 壓縮氧氣 第 類 不燃?xì)怏w —— —— —— —— 乙類 11 氫氣 第 易燃?xì)怏w —— 400 甲 12 三氯氫硅 第 類遇濕易燃物品 175 甲 13 二氯二氫硅 第 有 毒氣體 —— 85 甲 14 熱導(dǎo)油 ? ? —— —— ? 防爆等級(jí)的劃分 爆炸性氣體環(huán)境危險(xiǎn)區(qū)域按照 GB 500581992第 2 章第 2 節(jié)的規(guī)定劃分。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)受限空間作業(yè)應(yīng)嚴(yán)格按照《化學(xué)品生產(chǎn)單位受限空間作業(yè)安全規(guī)范》 AQ30282020 執(zhí)行。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)高處作業(yè)應(yīng)嚴(yán)格按照《化學(xué)品生產(chǎn)單位高處作業(yè)安全規(guī)范》AQ30252020 執(zhí)行。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)動(dòng)土作業(yè)應(yīng)嚴(yán)格按照《化學(xué)品生產(chǎn)單位動(dòng)土作業(yè)安全規(guī)范》AQ30232020 執(zhí)行。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)吊裝作業(yè)應(yīng)嚴(yán)格按照《化學(xué)品生產(chǎn)單位吊裝作業(yè)安全規(guī)范》AQ30212020 執(zhí)行。 企業(yè)應(yīng)制訂年度綜合檢維修計(jì)劃,落實(shí)“五定”,即定檢修方案、定檢修人員、定安全措施、定檢修質(zhì)量、定檢修進(jìn)度原則。 廠區(qū)檢維修及作業(yè)安全管理 檢維修安全管理 22 企業(yè)應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行檢維修管理制度,實(shí)行日常檢維修和定期檢維修管理。 多晶硅生產(chǎn)企業(yè)接觸危險(xiǎn)化學(xué)品的崗位應(yīng)向作業(yè)人員告知其危險(xiǎn)和預(yù)防、控制及防護(hù)方法,對(duì)貯存、運(yùn)輸和廢棄的應(yīng)急處理、急救技能應(yīng)進(jìn)行培訓(xùn)。 對(duì)從事多晶硅生產(chǎn)有毒有害作業(yè)的人員,在上崗前、在崗期間應(yīng)進(jìn)行體檢,其健康狀況應(yīng)符合工作性質(zhì)要求。對(duì)轉(zhuǎn)崗、脫離崗位 1 年(含)以上的從業(yè)人員,要進(jìn)行車間級(jí)和班組級(jí)安全培訓(xùn)教育,經(jīng)考核合格后,方可上崗作業(yè)。 企業(yè)應(yīng)制定安全培訓(xùn)教育管理制度,編制年度安全培訓(xùn)教育計(jì)劃,制定安全培訓(xùn)教育方案,建立培訓(xùn)檔案,實(shí)施持續(xù)不斷的安全培訓(xùn)教育,使從業(yè)人員滿足本崗位對(duì)安全生產(chǎn)知識(shí)和操作技能的要求。安全生產(chǎn)管理機(jī)構(gòu)要具備相對(duì)獨(dú)立職能。安全生產(chǎn)管理規(guī)章制度包括以下主要內(nèi)容: 1)、安全生產(chǎn)責(zé)任制; 2)、識(shí)別和獲取適用的安全生產(chǎn)法律法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)及其他要求; 3)、安全生產(chǎn)會(huì)議制度; 4)、安全生產(chǎn)費(fèi)用管理制度; 5)、安全生產(chǎn)獎(jiǎng)懲管理; 6)、管理制度評(píng)審和修訂; 7)、安全培訓(xùn)教育; 8)、特 種作業(yè)人員管理; 9)、管理部門、基層班組安全活動(dòng)管理; 10)、風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià); 11)、安全檢查及隱患治理; 12)、重大危險(xiǎn)源管理; 13)、變更管理; 14)、事故管理; 15)、防火、防爆管理,包括禁煙管理; 16)、消防管理; 17)、倉(cāng)庫(kù)、罐區(qū)安全管理; 18)、關(guān)鍵裝置、重點(diǎn)部位安全管理; 19)、生產(chǎn)設(shè)施管理,包括安全設(shè)施、特種設(shè)備等管理; 21 20)、監(jiān)視和測(cè)量設(shè)備管理; 21)、安全作業(yè)管理,包括動(dòng)火作業(yè)、進(jìn)入受限空間作業(yè)、臨時(shí)用電作業(yè)、高處作業(yè)、起重吊裝作業(yè)、破 土作業(yè)、斷路作業(yè)、設(shè)備檢維修作業(yè)、抽堵盲板作業(yè)管理等; 22)、危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理,包括劇毒化學(xué)品安全管理及危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存、出入庫(kù)、運(yùn)輸、裝卸等; 23)、檢維修管理; 24)、生產(chǎn)設(shè)施拆除和報(bào)廢管理; 25)、承包商管理 26) 、供應(yīng)商管理; 27)、職業(yè)衛(wèi)生管理,包括防塵、防毒管理; 28)、勞動(dòng)防護(hù)用品(具)和保健品管理; 29)、作業(yè)場(chǎng)所職業(yè)危害因素檢測(cè)管理; 30)、應(yīng)急救援管理; 、機(jī)構(gòu)、人員和培訓(xùn) 企業(yè)主要負(fù)責(zé)人應(yīng)具備與本企業(yè)從事的生產(chǎn)活動(dòng)相適應(yīng)的安全生產(chǎn)知識(shí)和管理能力并經(jīng)安 全考核合格后方可任職。 6 安全管理 安全管理體系 企業(yè)應(yīng)以保證多晶硅生產(chǎn)過(guò)程安全、衛(wèi)生為目標(biāo),建立全員安全生產(chǎn)責(zé)任制和相應(yīng)的安全標(biāo)準(zhǔn)化管理體系。 劇毒品應(yīng)在專用倉(cāng)庫(kù)內(nèi)單獨(dú)隔離,限量?jī)?chǔ)存。 化學(xué)危險(xiǎn)品的貯存 危險(xiǎn)化學(xué)品貯存場(chǎng)所的建筑結(jié)構(gòu)、電氣、通風(fēng)、調(diào)溫、消防設(shè)置及貯存量限制等應(yīng)符合 GB 156031995(常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則)、 GB 179141999(易燃易爆性商品儲(chǔ)藏養(yǎng)護(hù)技術(shù)條件)的規(guī)定。 檢驗(yàn) 應(yīng)按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn),保證進(jìn)廠的原料和出廠的產(chǎn)品符合標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)要求。應(yīng)在包裝內(nèi)附有與包裝內(nèi)涂料產(chǎn)品完全一致的化學(xué)品安全技術(shù)說(shuō)明書。 包裝、檢驗(yàn)、貯存與運(yùn)輸 包裝 20 多晶硅產(chǎn)品的包裝按照 GB/T 250742020(太陽(yáng)能級(jí)多晶硅)。保障儀表及中控設(shè)備電源正常運(yùn)行的連續(xù)性。 所有變配電站均為兩臺(tái) 及以上配變變壓器運(yùn)行,互為備用,其低壓具有手動(dòng)合環(huán)運(yùn)行功能,變壓器容量應(yīng)滿足單臺(tái)變壓器同時(shí)帶低壓全部負(fù)荷運(yùn)行。 應(yīng)自備 10kV 柴油發(fā)電機(jī)組。當(dāng)一路電源事故跳閘時(shí),可自動(dòng)切換至另一電源供電。 供配電設(shè)備安全運(yùn)行技術(shù) 110kV 電源應(yīng)有兩條以上供電回路。 廢水經(jīng)處理后,回用率必須大于 80% 廢水處理系統(tǒng)必須一用一備,確保在極端情況下廢水處理達(dá)標(biāo) 三廢處理站接觸強(qiáng)酸、酸性廢水、石灰等危險(xiǎn)化學(xué)品,其儲(chǔ)存、使用要嚴(yán)格按照國(guó)家有關(guān)化學(xué)危險(xiǎn)品的規(guī)范、要求進(jìn)行,以免發(fā)生灼傷。 廢水處理工 作必須嚴(yán)格執(zhí)行操作程序,對(duì)廢水進(jìn)行處理達(dá)標(biāo)排放。 操作人員必須經(jīng)過(guò)培訓(xùn),考核合格后方可上崗。 19 循環(huán)冷卻水的水質(zhì)符合 GB 500502020 的規(guī)定,水質(zhì)穩(wěn)定劑須經(jīng)化驗(yàn)并確認(rèn)符合要求才能投入生產(chǎn)使用;水質(zhì)穩(wěn)定劑的存放地點(diǎn)符合安全要求。 循環(huán)冷卻水工藝控制及一般規(guī)定 按照設(shè)計(jì)要求向工藝系統(tǒng)提供循環(huán)冷卻水,生產(chǎn)操作時(shí)按照工藝技術(shù)規(guī) 程、安全操作規(guī)程(或作業(yè)指導(dǎo)書)執(zhí)行。經(jīng)常檢查蒸汽壓力,使壓力控制在工藝指標(biāo)范圍內(nèi)。 加熱設(shè)備、各種泵類等生產(chǎn)設(shè)備的操作應(yīng)按照安全操作規(guī)程進(jìn)行,保證備用設(shè)備的完好,運(yùn)行時(shí)設(shè)備出現(xiàn)故障有備用設(shè)備投用。 高溫水或高溫油的成分要經(jīng)分析確認(rèn)符合要求。 熱能轉(zhuǎn)換工藝控制及一般規(guī)定 按照設(shè)計(jì)要求向工藝系統(tǒng)提供不同溫度,不同壓力的高溫水或高溫導(dǎo)熱油,生產(chǎn)操作時(shí)按照工藝技術(shù)規(guī)程、安全操作規(guī)程(或作業(yè)指導(dǎo)書)執(zhí)行。 從事氧氣 系統(tǒng)的操作維護(hù)人員,必須了解氧氣設(shè)施的知識(shí)及其危險(xiǎn)性,了解有關(guān)安全規(guī)定及在發(fā)生事故或出現(xiàn)故障時(shí)必須采取的措施。 檢修前必須將系統(tǒng)中的氧氣排空,并用無(wú)油干燥空氣或氮?dú)膺M(jìn)行置換,使系統(tǒng)中的氧含量符合規(guī)定要求。 氧氣系統(tǒng)中的手動(dòng)切斷閥必須開啟自如,不準(zhǔn)對(duì)閥進(jìn)行沖擊或急速地操作。電解室里應(yīng)備有足夠數(shù)量的2~3%濃度的硼酸。 在配制電解液或進(jìn)行其它可能接觸堿液的工作時(shí),應(yīng)穿著防酸堿工作服、防酸堿膠靴、防酸堿手套和防護(hù)眼鏡。 有爆炸危險(xiǎn)房間、電氣設(shè)備間,應(yīng)根據(jù)具體情況配備二氧化碳、干粉等滅火器材,并定期檢查是否完好。 設(shè)備、管路在氮?dú)獯祾咧脫Q合格后,應(yīng)打開所有人孔、手孔、閥門等進(jìn)行空氣置換,并打開室內(nèi)門窗,加強(qiáng)空氣流通。吹掃過(guò)程嚴(yán)禁用鐵器敲打。所以氫氧站操作人員必須穿防靜電工作服和防靜電鞋。 18 電解槽停止運(yùn)行后,必須用氮?dú)獯祾邭錃庀到y(tǒng)并保持一定壓力(不小于 ),防止因?yàn)闊崦浝淇s,空氣倒吸進(jìn)入氫氣系統(tǒng),發(fā)生爆炸。 當(dāng)需要接觸運(yùn)行中的電解槽、電器設(shè)備,或測(cè)量極 間電壓時(shí),操作人員必須穿絕緣鞋。氫氧化鉀和氫氧化鈉嚴(yán)禁混合使用,否則會(huì)在小室的陰極上形成結(jié)晶堿,造成槽電流波動(dòng),槽電壓上升,威脅安全生產(chǎn)。 電解槽在運(yùn)行中應(yīng)控制好液位 1/3~ 2/3,嚴(yán)防液位過(guò)高或過(guò)低。 電解槽由放空轉(zhuǎn)向往儲(chǔ)罐送氣,必須經(jīng)過(guò)兩次以上分析合格后,方可進(jìn)行。 電解槽送電后,應(yīng)立即測(cè)量正負(fù)極性,防止因接錯(cuò)線而產(chǎn)生相反氣體。 電解槽在試車前必須進(jìn)行詳細(xì)檢查,包括主機(jī)、輔助設(shè)備、電氣、儀表、管路、閥門及安全設(shè)施等,認(rèn)真測(cè)量槽體的各部絕緣。 氯硅烷裝卸車過(guò)程發(fā)生泄漏時(shí)應(yīng)立即將泄漏部位與其它系統(tǒng)斷開,操作人員穿戴防護(hù)用品將物料壓入事故罐內(nèi), 然后根據(jù)泄漏部位的具體情況確定處置方法。 氯硅烷裝卸作業(yè)應(yīng)使用承壓能力不低于 的耐壓橡膠軟管,連接形式必須采用法蘭連接;物料裝卸車過(guò)程要注意槽車以及儲(chǔ)罐的壓力變化,確保壓力處于安全范圍之內(nèi)。 危險(xiǎn)化學(xué)品裝卸 應(yīng)按照氯硅烷物料裝卸車的操作規(guī)程(或作業(yè)指導(dǎo)書)的要求操作,運(yùn)輸氯硅烷的槽車設(shè)計(jì)壓力不得低于 ,并應(yīng)具有運(yùn)輸危險(xiǎn)化學(xué)品貨物的運(yùn)輸資質(zhì),相關(guān)證件齊全。汽車運(yùn)輸危險(xiǎn)貨物車輛標(biāo)志應(yīng)符合 GB 133922020(道路運(yùn)輸危險(xiǎn)貨物車輛標(biāo)志)要求。 氯硅烷運(yùn)輸、裝卸作業(yè) 17 危險(xiǎn)化學(xué)品運(yùn)輸 危險(xiǎn)化學(xué)品運(yùn)輸應(yīng)具有運(yùn)輸危險(xiǎn)化學(xué)品貨物經(jīng)營(yíng)資質(zhì),應(yīng)專車專用,應(yīng)設(shè)有車輛消防安全設(shè)施,并有明顯標(biāo)志。 三氯氫硅還原系統(tǒng)停車 統(tǒng)一遵循公司調(diào)度指令,并按照三氯氫硅還原系統(tǒng)的工藝規(guī)程(或作業(yè)指導(dǎo)書)要求進(jìn)行操作。在泄漏無(wú)法有效控制的前提下,還原爐應(yīng)果斷采取急停措施,按照切斷電源、氣源的順序停爐,然后通入氮?dú)膺M(jìn)行置換保護(hù),防止泄漏事故發(fā)生。發(fā)現(xiàn)異常,按車間制定的“安全預(yù)案”進(jìn)行處理,必要時(shí)果斷采取斷電停爐措施進(jìn)行處理。 按工藝曲線控制進(jìn)入爐內(nèi)的混合氣體流量,及時(shí)調(diào)整給定電流,控制硅棒溫度。 開車過(guò)程中,現(xiàn)場(chǎng)巡檢監(jiān)護(hù)人員應(yīng)攜帶可燃性氣體報(bào)警儀、防毒面具、防爆對(duì)講機(jī),一旦檢測(cè)到有泄漏狀況,在采取自我防護(hù)措施的前提下,及時(shí)與中控室取得聯(lián)系,并服從指揮,按照車間制定的“安全預(yù)案”進(jìn)行處理。 三氯氫硅還原系統(tǒng)配套用的氮?dú)?、壓空壓力正常? 各種儀表監(jiān)控裝置經(jīng)校驗(yàn)無(wú)誤并能正常投入使用:壓力、溫度等工藝參數(shù)測(cè)量裝置與中控電腦顯示一致并能準(zhǔn)確測(cè)量視為合格。 開車應(yīng)按照三氯氫硅還原系統(tǒng)的工藝規(guī)程(或作業(yè)指導(dǎo)書)要求進(jìn)行操作。 從氫化反應(yīng)器抽出的廢渣不能堆放在裝置區(qū)內(nèi),防止因?yàn)榫徛趸瘜?dǎo)致觸媒著火,應(yīng)放在裝置區(qū)外的通風(fēng)處。 停車后將系統(tǒng)內(nèi)剩余物料倒出,壓力卸為微正壓( 小于 10KPa) ,開始氮?dú)庵脫Q。 停車氧化抽渣 應(yīng)按照氫化系統(tǒng)的操作規(guī)程(或作業(yè)指導(dǎo)書)的要求操作。運(yùn)行中定期對(duì)系統(tǒng)相關(guān)物料進(jìn)行檢測(cè),確保反應(yīng)以適當(dāng)?shù)霓D(zhuǎn)化率進(jìn)行?;罨稍锖细窈蟮墓璺酆陀|媒依 據(jù)反應(yīng)消耗情況逐步下入氫化反應(yīng)器內(nèi),注意:氫化反應(yīng)器內(nèi)硅粉不可過(guò)多,防止因?yàn)榱衔贿^(guò)高硅粉和觸媒大量吹入過(guò)濾器內(nèi),增加檢修難度;氫化反應(yīng)器內(nèi)硅粉也不宜過(guò)少,否則會(huì)影響氫化反應(yīng)轉(zhuǎn)化率。 運(yùn)行前應(yīng)確保氮?dú)庵脫Q合格( 經(jīng)檢測(cè)后氮中氧小于 5000PPm,露點(diǎn)小于 45℃) ,氫氣置換合格 (氫中氮小于 5000PPm,氫中氧小于 10PPm) 。 氫化反應(yīng)過(guò)程運(yùn)行控制 應(yīng)按照氫化系統(tǒng)的操作規(guī)程(或作業(yè)指導(dǎo)書)的要求操作 。所有電加熱設(shè)備運(yùn)行時(shí)必須確保有足量的氣體流動(dòng),避免因?yàn)榫植窟^(guò)熱造成設(shè)備、管道發(fā)生泄漏。氫氣置換合格 (氫中氮小于 5000PPm,氫中氧小于 15 10PPm) 。進(jìn)氫氣前要確保所有相關(guān)設(shè)備、閥門、管道均已打壓檢漏吹掃合格(檢漏合格要求:將相關(guān)設(shè)備、管道、閥門升壓至設(shè)計(jì)壓力,用肥皂水檢測(cè),無(wú)泄漏;吹掃合格要求:使用白布在泄壓口檢測(cè),無(wú)油、無(wú)水、無(wú)銹) ,各種儀表監(jiān)控裝置經(jīng)校驗(yàn)合格并正常投用。 加料完成后關(guān)閉活化干燥器加料閥門,并加上盲板(按AQ30272020 要求),升壓檢漏合格 ( 檢漏合格要求:將相關(guān)設(shè)備、管道、閥門升壓至設(shè)計(jì)壓力,用肥皂水檢測(cè),無(wú)泄漏;吹掃合格要求:使用白布在泄壓口檢測(cè),無(wú)油、無(wú)水、無(wú)銹) 后方可進(jìn)行下一道工序。 硅粉與觸媒下料作業(yè)的配料應(yīng)計(jì)量準(zhǔn)確,下料時(shí)應(yīng)打開除塵裝置,控制加料速度,保證兩者混合均勻,防止固體粉塵飛揚(yáng),保持崗位的環(huán)境衛(wèi)生。 干法回收系統(tǒng)停車過(guò)程中,要注意各參數(shù)是否異常,特別是鼓泡淋洗系統(tǒng)和脫吸塔壓力是否異常 ( 不能超過(guò)系統(tǒng)設(shè)定壓力 ), 隨時(shí)做好泄壓的準(zhǔn)備。 運(yùn)行中要定時(shí)對(duì)各個(gè)部分氣體以及 物料進(jìn)行檢測(cè) (成分、雜質(zhì) ),通過(guò)檢測(cè)結(jié)果對(duì)控制參數(shù)進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整,以優(yōu)化系統(tǒng)的運(yùn)行效果。 正常運(yùn)行時(shí)突然停水,停電,泵、壓縮機(jī)、冷凍系統(tǒng)會(huì)立刻跳停,鼓泡淋洗系統(tǒng)壓力會(huì)迅速升高,應(yīng)立即開啟鼓泡淋洗系統(tǒng)尾氣閥門泄壓,停止向還原系統(tǒng)供料,操作人員嚴(yán)密監(jiān)控各個(gè)參數(shù),一旦出現(xiàn)超壓現(xiàn)象應(yīng)及時(shí)泄壓。 還原尾氣干法回收系統(tǒng)運(yùn)行控制 應(yīng)按照還原尾氣干法回收系統(tǒng)的工藝操作規(guī)程(或作業(yè)指導(dǎo)書)的要求操作。 干法回收系統(tǒng)進(jìn)料后,循環(huán)降溫的過(guò)程中要加強(qiáng)現(xiàn)場(chǎng)巡檢,防止因?yàn)橄到y(tǒng)溫度降低造成的
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