【正文】 第八屆光伏會議論文集，2003 14 。過去十年硅太陽電池研究的進展。【3】王君一、徐任學《太陽能利用技術》。 【1】李一龍、賴國勝、樊農(nóng)艷《硅太陽電池制備工藝》。感謝培養(yǎng)教育我的學校，濃厚的學術氛圍，舒適的學習環(huán)境我將終生難忘！祝母校蒸蒸日上，永創(chuàng)輝煌！祝校長財源滾滾，仕途順利！感謝老師對我傾囊賜教，諸位恩師的諄諄訓誨我將銘記在心。線結的表面濃度低，電池短波響應好，但會引起串聯(lián)電阻增加，只有提高電極柵線的密度，才能有效的提高電池的填充因子，這樣就增加了工藝難度；如果表面濃度太大，會引起重摻雜效應，使得電池的開路電壓、短路電流下降，在實際電池制作中，應綜合考慮各種因素。可以很好地改善太陽電池的填充因子FF、并聯(lián)電阻Rsh、串聯(lián)電阻Rs和開路電壓Ucc等電性能，從而降低電池的制造成本。用實驗方法分析影響晶體硅太陽電池擴散均勻性的氣氛場因素及其工藝調(diào)節(jié)優(yōu)化改善方法，在工藝調(diào)試過程中需要注意這些氣氛場因素是相互關聯(lián)影響的，一般先優(yōu)化改善均流板的均勻分流設計和廢氣排放位置因素，再綜合工藝氣體流量、排氣量等其他相關因素系統(tǒng)調(diào)整爐內(nèi)壓強平衡。而不同的PN結結深其燒結條件不一樣。4 結論　　晶體硅太陽電池的主要工藝制作過程包括制絨、擴散、刻蝕、鍍膜、印刷、燒結等，每道工序的相關控制參數(shù)都直接或間接地與電池電性能參數(shù)相關聯(lián)。該擴散模式（裝置如圖3所示）除了具有設備簡單，操作方便，適合批量生產(chǎn)，擴散的重復性、穩(wěn)定性好等優(yōu)點以外，還具有如下的優(yōu)點：（1） 封閉的雙面擴散有很好的吸雜效應；（2） 摻雜源中的氯在工藝過程中有清潔作用；（3） 摻雜劑的、管式爐的工藝過程容易保持潔凈；（4） 沉積非常均勻。此外，還要感謝光伏工程學院給我提供了一個這么好的學習環(huán)境，感謝學院關心我的其他老師，感謝你們這三年來對我關愛和幫助，在你們的幫助下我才能夠順利的完成論文，真的非常感謝你們，謝謝！ 作者：李 清 2010年9月于江西渝州科技職業(yè)學院光伏工程學院]。在大學的三年中，我也非常感謝我的老師和關心我的同學們，在你們關心和呵護下讓我在大學生活中過的很開心，同時也非常感謝各位老師在學習上給我的細心指導和耐心的教導我們。另外也可避免PCl5對硅片的腐蝕作用，可以改善硅片表面，反應式如下：4PCl5+5O2→2P2O5+10Cl2↑ （1－6）生成的P2O5在擴散溫度下繼續(xù)與硅反應得到磷原子，其反應式如下：2P2O5+5Si→5SiO2+4P↓ （1－7） 由于POCl3的飽和蒸汽壓很高，淀積在硅片表面的磷原子完全可以達到在該擴散溫度下的飽和值（即該溫度下磷在硅中的固溶度），并不斷地擴散進入硅本體，形成高濃度的發(fā)射區(qū)[[1] 李一龍，賴國勝. 硅太陽電池制備工藝. 吉林大學出版社 ]。一般用氮氣通過雜質(zhì)源瓶來攜帶擴散雜質(zhì)，并通過控制氣體的流量來控制擴散氣氛中擴散雜質(zhì)的含量。通常以擴散磷源形成N型層，擴散硼源形成P型層。4擴散的主要工藝硅太陽電池成結用的常見擴散方法，有涂層擴散和液態(tài)源擴散等方法。（3） 摻雜源中的氯在工藝過程中有清潔作用。 使用三氯氧化磷擴散模式裝置更有利于經(jīng)濟生產(chǎn)，它的優(yōu)點有：（1） 封閉的，管式爐的工藝過程容易保持潔凈。時間控制1分鐘誤差也是容易事，但溫度精確到177。1％結深誤差也是177。10％，結深誤差177。 在生產(chǎn)上，與時間的控制比較，溫度的控制更難控制一些。二氧化硅乳膠源涂布擴散設備簡單，操作方便；擴散硅表面狀態(tài)良好；PN結面平整，重復性較好；改進涂布設備可適用于自動化流水線生產(chǎn)液態(tài)源擴散 設備和操作比較復雜；擴散硅表面狀態(tài)良好；PN結面平整，重復性較好；工藝成熟固態(tài)氮化硼源擴散設備簡單，操作方便；擴散硅表面狀態(tài)良好；PN結面平整，重復性較液態(tài)源擴散好；適合大批量生產(chǎn) 在不影響PN結的特性的前提下，擴散溫度選擇高一些可以縮短擴散時間，有利于生產(chǎn) 對于擴散的情況，溫度選擇主要適當，既不能使溫度過高，是2擴散時間過短，以致難于控制工藝；又不使溫度過低，而使擴散時間延長到不適當?shù)夭?。片狀氮化硼的制作方法有兩種：可用高純氮化硼棒切割成和硅片一樣大小的薄片，也可以用粉狀氮化硼沖壓成片。（5） 把石英舟拉至擴散爐口，將溫如干分鐘后，即可取出擴散好的硅片。（3） 通入含有三氯氧磷的氮氣的流量為5003000ml/min，氧氣流量為5003000mil/min通源時間為1560分鐘。如果新處理的石英管還要接著通入含有三氯氧磷的氮氣（5005000ml/min）和氧氣（5005000mi/min），使石英管壁吸收致飽和狀態(tài)。 液態(tài)源擴散液態(tài)源擴散有三氯氧磷液態(tài)擴散和硼液態(tài)源擴散等方式，它是通過氣體攜帶的方法將雜質(zhì)帶入擴散爐內(nèi)實現(xiàn)擴散的。二氧化硅乳通過在硅酸乙酯中加入乙醇，經(jīng)過水解的方法獲得，也可以通過將四氯化硅通入醋酸后加入乙醇制得。沉淀在硅表面的雜質(zhì)元素在擴散溫度下向硅內(nèi)部擴散，從而形成PN結或NP結。 硅太陽電池所用的源擴散方法 涂布源擴散涂布源擴散有可分為簡單涂布源擴散和二氧化硅乳膠源擴散兩種。 通過表5分析爐口片內(nèi)極差大的具體原因，得到極差大主要是由硅片下半部分方塊電阻大造成的，而這下半部分又與排氣口最近，故采取調(diào)小排氣閥開度，增加爐內(nèi)壓強，