高真空技術(shù)ppt課件(參考版)
2025-05-10 12:09本頁面
【正文】 1. 試寫出真空系統(tǒng)基本方程； 2. 討論氣導(dǎo) F在真空系統(tǒng)中的作用； 3. 如果容器內(nèi)材料放氣率為 ，要想擴(kuò)散泵口的壓強(qiáng)為 108Pa，那么擴(kuò)散泵的抽速至少要多少？要想容器中的工作壓強(qiáng)為 1x104Pa，那么連接容器和擴(kuò)散泵的管道流導(dǎo)應(yīng)為多少？ S=Q/P2=6x104L/s F=Q/(P1P2)=Q/P1=6L/s Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 非穩(wěn)定流動(dòng)計(jì)算 一蒸發(fā)臺(tái) V=55L，機(jī)械泵抽至 2x102Torr需要多長(zhǎng)時(shí)間？ 管道 20cm長(zhǎng)，直徑 4cm，泵 2X4型，抽速 4L/s，極限壓強(qiáng) 5x104Torr 。漏氣，漏氣量正比大氣壓（常數(shù)） ? d:開始上升很快，后來變慢，漏氣、放氣 Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 漏孔大小 ? 漏孔本質(zhì) ? 漏氣：在壓強(qiáng)差作用下氣體流動(dòng) ? 氣體流動(dòng)：流量（單位時(shí)間流過的氣體量） ? 用通過漏孔的流量表示漏孔大小 ? 漏率定義：在漏孔一端為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，另一端低于 氣壓，大氣露點(diǎn)低于 25C（干燥空氣），溫度 23C，空氣通過漏孔的流量 ? 只要漏孔漏率相同，就可以認(rèn)為完全相同 ? ? 同一漏孔，對(duì)不同氣體漏率不同 ? 分子態(tài) He漏率為空氣的 Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 漏率大 =危害大？ ? 不確切 ? 漏入一定氣體量 ? 引起的壓強(qiáng)增長(zhǎng)與容器體積大小有關(guān) ? 漏孔的危害是相對(duì)的 ? 泵抽速大小 ? 容器體積 Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 容許漏率 ? 極限壓強(qiáng) ? 抽氣、漏氣（忽略放氣）動(dòng)態(tài)平衡 ? 絕對(duì)不漏：不可能、不必要 ? 漏孔的漏氣足夠小，平衡壓強(qiáng)小于工作壓強(qiáng) ? 容許漏率：真空系統(tǒng)正常工作所允許的最大漏氣量 PP ?平 衡 工 作0Q eeS P S P??平 衡 工 作考慮到材料放氣（消耗抽速） 0 110 eQ S P? 工 作抽速越大、壓強(qiáng)越高，容許漏率高 Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 常見真空設(shè)備容許漏率 漏率（ ) 真 空 設(shè) 備 102 10 1 101 102 103 104 105 106 107 108 109 1010 1011 簡(jiǎn)單減壓裝置、真空過濾 減壓干燥、真空浸漬 減壓蒸餾、真空干燥 真空蒸餾、真空干燥 真空蒸餾、冷凍干燥 分子蒸餾、真空反應(yīng)器 連續(xù)抽氣的汞弧整流器 放射性元素容器、保溫瓶 真空冶煉設(shè)備 回旋加速器 一般高真空抽氣裝置 宇宙空間模擬設(shè)備、半導(dǎo)體真空設(shè)備 超高真空設(shè)備（連續(xù)抽氣） 封閉電真空器件（微波管、電子束管等） Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 檢漏基本原理 ? 檢漏目的 ? 確定真空系統(tǒng)是否存在漏氣 ? 找出漏孔位置（修復(fù)或更換） ? 估計(jì)漏孔大?。ū匾獣r(shí)） ? 方法 ? 壓強(qiáng)差 ? 示漏氣體 Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology Vacuum Science and Technology 利用壓強(qiáng)差 ? 原理 ? 漏孔兩端存在壓強(qiáng)差，就有氣體流動(dòng) ? 利用氣體流動(dòng)引起的效果，探測(cè)漏孔位置 ? P1P2
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