cvd熱力學(xué)ppt課件(參考版)
2025-05-08 12:06本頁(yè)面
【正文】 。 26 第四步 ：當(dāng) F對(duì)偏導(dǎo)為零時(shí)， F和 G都達(dá)最小，所以我們可以讓偏導(dǎo)數(shù)等于 0。) ( , , , )T P NG G n n n n? ? ? ?（共有 N個(gè)物料） 第一步 ：列出限制性方程（物料守恒） ——元素?cái)?shù)守恒（這兒僅考慮單一相） i ik kn a A???( 1, 2 , 3 , )kw? ??? 第 k元素的原子總數(shù) ni： i種分子物種的 mole數(shù) aik：第 k種元素在第 i個(gè)化學(xué)物種（分子）中的數(shù)目， 一共有 w種元素。 處理這種復(fù)雜情況，發(fā)展了一種計(jì)算，在熱力學(xué)條件下對(duì)于任意大量物料情況下的 number densities的方法。實(shí)踐中不需要具體描述這些反應(yīng)，因?yàn)閺囊环N熱力學(xué)狀態(tài)變到另一種狀態(tài)跟反應(yīng)路徑無(wú)關(guān)。一般認(rèn)為該技術(shù)的靈敏度比拉曼和熒光光譜法高，實(shí)際上也曾得到了一些有益的結(jié)果。它的工作原理是利用檢測(cè)氣相分子對(duì)特定波長(zhǎng)紅外光的吸收強(qiáng)度來(lái)進(jìn)行定性、定量分析。此外，這兩種技術(shù)都有一個(gè)缺點(diǎn)就是激光束可能會(huì)引起光化學(xué)反應(yīng)。但其檢測(cè)速率較慢，反應(yīng)器壁有可能干擾測(cè)量，也難于發(fā)現(xiàn)新物種的存在，其檢測(cè)靈敏度要比質(zhì)譜法差一些。這是唯一不需抽出氣體樣品也不必在取樣區(qū)引入機(jī)械探頭的技術(shù)，從而可以 得到非常接近于實(shí)際生長(zhǎng)表面 (約 )的濃度數(shù)據(jù)。但是毛細(xì)管取樣會(huì)影響反應(yīng)室狀況，也可能為淀積物所阻塞，從而產(chǎn)生誤差。 質(zhì)譜技術(shù)可以定性、定量地檢定反應(yīng)器中的氣態(tài)物種，它不僅能用于反應(yīng)器空間分析，也有可能進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。 圖 36是班恩（）用來(lái)研究 IIIV族化合物開管氣流淀積系統(tǒng)的示意圖。 ? 過(guò)去一般僅根據(jù)尾氣分析結(jié)果來(lái)進(jìn)行某些推測(cè)，因?yàn)楝F(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)研究困難。從前兩節(jié)的敘述可見，如果在 熱力學(xué)分析的同時(shí) ， 引入實(shí)測(cè)值 ，則不但 簡(jiǎn)化 了 計(jì)算 ，也 修正 了 理論模型 ，使 結(jié)果更為可靠 。 GaAsn9 4． 4 實(shí)驗(yàn)研究技術(shù) ? 化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)中所存在的氣態(tài)物種及其相互作用往往十分復(fù)雜。由圖可見，實(shí)驗(yàn)值與計(jì)算值都比較一致。輸運(yùn)速率隨著封入的碘的濃度增加而減小，這是由于管內(nèi)總壓升高，擴(kuò)散被遏制的緣故。這兩個(gè)方程， 一 個(gè)是按假定 (4)， 源區(qū)與淀積區(qū)的總壓相等 ?另 一 是 輸運(yùn)守恒方程 ，即封進(jìn)反應(yīng)管內(nèi)的總摩爾數(shù) 等于所有含碘分子的積分 34( ) ( ) ( )G a I G a I A s4j j jP P P??2 3 4 2 3 4( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) ( 2 ) ( 2 ) ( 2 ) ( 2 )I G a I G a I A s I G a I G a I A sP P P P P P P P? ? ? ? ? ? ?2IM2 3 2( ) ( ) ( )G a I G a I I1 1 3[]22j j jIM P P P d vRT ???＝式中 為體積元： 為各含碘物種分壓，它們是位置的函數(shù) dv()i jP（ ） 6 GaAsI2系統(tǒng)的熱力學(xué)分析 (續(xù) ) ? 在前述各條假定之下 近似地等于 2 3 2 3 2( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) ( 2 ) ( 2 ) ( 2 )12G a I G a I I G a I G a I I1 3 1 3[ ] [ ]2 2 2 2IVVM P P P P P PR T R T? ? ? ?
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1