cvd熱力學ppt課件(參考版)
2025-05-08 12:06本頁面
【正文】 。 26 第四步 ：當 F對偏導為零時， F和 G都達最小，所以我們可以讓偏導數(shù)等于 0。) ( , , , )T P NG G n n n n? ? ? ?（共有 N個物料） 第一步 ：列出限制性方程（物料守恒） ——元素數(shù)守恒（這兒僅考慮單一相） i ik kn a A???( 1, 2 , 3 , )kw? ??? 第 k元素的原子總數(shù) ni： i種分子物種的 mole數(shù) aik：第 k種元素在第 i個化學物種（分子）中的數(shù)目， 一共有 w種元素。 處理這種復雜情況，發(fā)展了一種計算，在熱力學條件下對于任意大量物料情況下的 number densities的方法。實踐中不需要具體描述這些反應，因為從一種熱力學狀態(tài)變到另一種狀態(tài)跟反應路徑無關。一般認為該技術的靈敏度比拉曼和熒光光譜法高，實際上也曾得到了一些有益的結果。它的工作原理是利用檢測氣相分子對特定波長紅外光的吸收強度來進行定性、定量分析。此外，這兩種技術都有一個缺點就是激光束可能會引起光化學反應。但其檢測速率較慢，反應器壁有可能干擾測量，也難于發(fā)現(xiàn)新物種的存在，其檢測靈敏度要比質(zhì)譜法差一些。這是唯一不需抽出氣體樣品也不必在取樣區(qū)引入機械探頭的技術，從而可以 得到非常接近于實際生長表面 (約 )的濃度數(shù)據(jù)。但是毛細管取樣會影響反應室狀況，也可能為淀積物所阻塞，從而產(chǎn)生誤差。 質(zhì)譜技術可以定性、定量地檢定反應器中的氣態(tài)物種，它不僅能用于反應器空間分析，也有可能進行動態(tài)分析。 圖 36是班恩（）用來研究 IIIV族化合物開管氣流淀積系統(tǒng)的示意圖。 ? 過去一般僅根據(jù)尾氣分析結果來進行某些推測，因為現(xiàn)場實驗研究困難。從前兩節(jié)的敘述可見，如果在 熱力學分析的同時 ， 引入實測值 ，則不但 簡化 了 計算 ，也 修正 了 理論模型 ，使 結果更為可靠 。 GaAsn9 4． 4 實驗研究技術 ? 化學氣相淀積系統(tǒng)中所存在的氣態(tài)物種及其相互作用往往十分復雜。由圖可見，實驗值與計算值都比較一致。輸運速率隨著封入的碘的濃度增加而減小，這是由于管內(nèi)總壓升高，擴散被遏制的緣故。這兩個方程， 一 個是按假定 (4)， 源區(qū)與淀積區(qū)的總壓相等 ?另 一 是 輸運守恒方程 ，即封進反應管內(nèi)的總摩爾數(shù) 等于所有含碘分子的積分 34( ) ( ) ( )G a I G a I A s4j j jP P P??2 3 4 2 3 4( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) ( 2 ) ( 2 ) ( 2 ) ( 2 )I G a I G a I A s I G a I G a I A sP P P P P P P P? ? ? ? ? ? ?2IM2 3 2( ) ( ) ( )G a I G a I I1 1 3[]22j j jIM P P P d vRT ???＝式中 為體積元： 為各含碘物種分壓，它們是位置的函數(shù) dv()i jP（ ） 6 GaAsI2系統(tǒng)的熱力學分析 (續(xù) ) ? 在前述各條假定之下 近似地等于 2 3 2 3 2( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) ( 2 ) ( 2 ) ( 2 )12G a I G a I I G a I G a I I1 3 1 3[ ] [ ]2 2 2 2IVVM P P P P P PR T R T? ? ? ?
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