用橢圓偏振儀測量薄膜厚度(參考版)
2024-10-15 14:50本頁面
【正文】 對一些表面結(jié)構(gòu)、表面過程和表面反應(yīng)相當(dāng)敏感。 可同時測量膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)。 能測量很薄的膜（ 1nm），且精度很高，比干涉法高 12個數(shù)量級。計算機(jī)的 發(fā)展使橢偏儀在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用。 橢偏儀可測的材料包括：半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、 有機(jī)物、金屬、多層膜物質(zhì) … 橢偏儀涉及領(lǐng)域有：半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué) 鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等。 橢圓偏振儀 橢偏儀，是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材 料微結(jié)構(gòu)光學(xué)測量設(shè)備。 （ 2）把（ P2, A2）換算成（ P2’, A2’） （ 3）把（ P1, A1）與（ P2’, A2’）求平均值 （ 4）利用配套軟件，填入（ P, A）值，得到待測薄膜的厚度 注意事項 （ 1）不允許用強(qiáng)激光或其他光照射硅光電池，必須先用目視法充分消光后，才能進(jìn)行測量； （ 2）由于樣品表面的反射，在光屏上有時可能出現(xiàn)兩個光點，調(diào)節(jié)消光時，有明暗變化的應(yīng)為主光點
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