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正文內(nèi)容

橢偏光法測量薄膜的厚度和折射率畢業(yè)論文(參考版)

2025-06-26 20:46本頁面
  

【正文】 但對于漫反射系數(shù)和粗糙面厚度的確定還存在一些問題需要深入探討。分析表明是δ1 系統(tǒng)誤差的二級小量可以忽略,用兩個不同消光位置的測量值求平均可以消除δA 引入的誤差,而δP 和δ2 對儀器的使用誤差不可忽視,儀器使用中應(yīng)確定橢偏儀器誤差θ=δP+δ2,并用測得的值對其樣品的測量結(jié)果進(jìn)行修正。薄膜折射率薄膜基厚度/nm厚度周期/nm快速法建表法作圖法【實驗拓展補(bǔ)充思考】由于波片快、慢軸分量的相位差不嚴(yán)格為π/2,也就是光路中存在補(bǔ)償?shù)钠瞀?,在安裝調(diào)整過程中1/4 波片快軸與入射面夾角不嚴(yán)格為60176。薄膜折射率
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