【正文】
strain gages D : Laser diode P : Grating Q : Quadrant Photodiode M : Mirror L : Lens 荷蘭 Eindhoven大學(xué)的 高精度 3DCMM Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan 德國 PTB的 Special CMM 采用傳統(tǒng)的高精度 CMM機(jī)臺 , 新開發(fā)接觸式的光纖感應(yīng)及非接觸式 CCD感應(yīng)的雙探頭系統(tǒng) ?測量范圍:25 40 25mm ?探頭直徑 : 25 um ?測量不確定度 : 100nm Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan 測量范圍 : 25mm*25mm*5mm 分辨率 : nm 國內(nèi)外研究概況 ( SIOS Nano Measuring and Positioning Stage ) Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan 國內(nèi)外研究概況 ( SIOS Nano Measuring and Positioning Stage ) Nano Measurement Lab. School