先進(jìn)表面工程技術(shù)ppt課件-wenkub.com
2024-09-18 18:22 本頁(yè)面
【正文】 ? 先進(jìn)表面工程技術(shù)的應(yīng)用面越來越廣，從人民生活到國(guó)民經(jīng)濟(jì)，從高新技術(shù)到傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)，促進(jìn)了節(jié)能、節(jié)材、降低成本、環(huán)?；?、生態(tài)化、小型化、微型化、輕量化、便攜化。 ? 圖形刻蝕技術(shù)、驅(qū)動(dòng)電路、驅(qū)動(dòng)軟件、封裝越來越普及。 ? AlN膜的禁帶寬度高達(dá) eV，是良好的絕緣材料。 ? 類金剛石 (DLC)膜，卻因?yàn)槿藗冊(cè)谄錃浜俊?sp3鍵含量以及與薄膜性能關(guān)系等三方面進(jìn)行了系統(tǒng)深入的研究，揭示了新苗頭。盡管如此，其產(chǎn)業(yè)化還是長(zhǎng)期未能成功。 熱障涂層 ? 由粘結(jié)底層 (通常為 MCrAlY)和隔熱表層 (通常為 ZrO2)構(gòu)成。 ? 第三種類型則是 TiN系膜與碳系硬質(zhì)膜的雜化復(fù)合涂層。 正在和即將實(shí)現(xiàn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的事例 ? 薄膜型電阻、電容、電感； ? 背投電視光反射膜、過濾膜系列； ? 磁盤、光盤、磁頭的功能膜和防護(hù)膜； ? 燃?xì)廨啓C(jī)葉片 MCrAlY系抗熱腐蝕涂層； ? 等離子體顯示器 MgO功能涂層； ? 自清潔玻璃； ? 光催化殺菌消毒薄膜； ? 塑料容器高阻隔性薄膜； ? 新式鍍膜幕墻玻璃 (吸收紫外，反射紅外，透光 )。 納米科技基礎(chǔ) ? 與原理研究平行，還逐步形成了納米科技基礎(chǔ)的其它兩個(gè)組成部分： 納米制造技術(shù)和納米測(cè)試技術(shù)。 ? 由低維組元構(gòu)成，并能全部或部分保持有用低維性的穩(wěn)定低維組元集團(tuán)，稱為納米結(jié)構(gòu)。 尺寸效應(yīng)與低維性 ? 當(dāng)特征尺寸進(jìn)入納米尺度范圍時(shí)，物質(zhì)顯示其低維性的具體表現(xiàn)。 三大前沿是當(dāng)代科技的 戰(zhàn)略發(fā)展方向 ? 首先，信息、生物和納米科技已成為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的密集源頭， ? 其中生物產(chǎn)業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)已進(jìn)入高速增長(zhǎng)期。 揭示了等離子體容抗負(fù)載的新特性，為選取合理的電路參數(shù)提供了依據(jù)。具體說來，引入等離子體物理原理分析和綜合診斷技術(shù)，有利于深化對(duì)于鍍膜過程等離子體微觀作用的認(rèn)識(shí)，為工藝過程研究開辟新視野，并進(jìn)一步發(fā)展成為宏觀與微觀相結(jié)合的過程設(shè)計(jì)。 ? 真空氣相沉積的優(yōu)點(diǎn)在于嚴(yán)格控制工藝條件，但也會(huì)提高產(chǎn)品成本。 越來越傾向于采用 真空氣相沉積薄膜技術(shù) ? 分子束外延、 ? 激光分子束外延 (LMBE)、 ? 脈沖激光沉積 (PLD)、 ? 超高真空化學(xué)氣相沉積 (UVCVD)等， ? 可提供極端條件，有利于了解規(guī)律性，以得出創(chuàng)新性強(qiáng)的結(jié)果。 ? 例如，表面研磨、表面拋光、表面粗化、表面噴丸、表面滾花、表面化學(xué)刻蝕、載能束表面刻蝕、表面應(yīng)力控制、表面晶粒細(xì)化 (納米化 )、化學(xué)轉(zhuǎn)化層、離子滲氮 (碳、碳氮 )、滲鋁和硅鋁共滲、陽(yáng)極化、磷化、硫化、氧化 (發(fā)蘭 )、表面輻照、離子注入等。 ? 熱噴涂、冷噴涂、靜電噴涂。 ? 微小特征尺度的先進(jìn)表面工程技術(shù)正在逐步發(fā)展成為微／納技術(shù)的重要組成部分。 主要內(nèi)容 1. 先進(jìn)的表面工程技術(shù)的若干走向； 2
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