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2025-05-04 18:03 本頁面
【正文】 ④ 表面活化劑 (Surfactant) 促進 PR在 Chemical中溶解 . ?? B2 Project Team 目的：通過改變 aSi的晶格結(jié)構(gòu)和減弱消除金屬的應力（讓分子劇烈運動，達到 均勻分布的作用）來使得 TFT器件性能更加穩(wěn)定。4. 確認PECVD的各 控制參量：氣體比率，壓力，溫度，沉積時間，Spacing等 。 這是因為在第一個倉中反應的時候就要求刻蝕掉需要部分的80 ％，后面兩個倉的反應是為了對反應的完整性進行調(diào)整。1AAAEZ002 230在 到達Cell后已 經(jīng)全部報廢。 Work Contents： 一、今天的工作安排：1. 繼續(xù)追蹤ES Lot。 Pressure增加， Selectivity增大（ ≥10）?？捎糜诟纳?Uniformity效果。 利用真空氣體和 RF Power 生成的 Gas Plasma反應產(chǎn)生原子和原子團，該原子和原子團與淀積在基板上的物質(zhì)反應生成揮發(fā)性物質(zhì)。 ?? B2 Project Team L/UL Chamber 連接真空和大氣壓的一個Chamber。 FICD:177。 DICD:177。 gate active data VIA ITO DICD:177。 (3) n+ aSi： 具有較高的電導率 ， 較低的電導激活能 ， 較高的參雜效率 ， 形成微晶薄膜 。 SputterSP Chamber ?? B2 Project Team System Components ? Automated cassette load station ACLS (optional) The system hardware consists of three major ponents: ?Mainframe ?Remote modules ?? B2 Project Team Remote Support Equipment Heat Exchanger The heat exchanger provides DI water to the RF match for cooling purposes Process Pumps Provides vacuum to the process chambers RF generator The RF generator supplies Radio Frequency to the process chamber for the purpose of creating a plasma Mainframe Pump Provides vacuum to the transfer and loadlock chambers. Remote AC Power Box Facility power is connected from customer facilities to the remote AC power box on the remote service module All electrical power to the system is distributed from the AC power box ?? B2 Project Team Deposition PECVD G
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