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傳感器項目可行性研究報告-wenkub.com

2025-04-19 22:42 本頁面
   

【正文】 傳感器作為物聯(lián)網(wǎng)的核心技術之一,隨著物聯(lián)網(wǎng)技術飛速發(fā)展,有著不可限量的發(fā)展空間,微型電容式納米膜壓力傳感器是傳感器的發(fā)展方向,目前是一個難得的發(fā)展機會。六、預期研究結論的應用前景分析微型電容式納米膜壓力傳感器由于可廣泛用于石油、煤炭、航空、航天、軍事和民用工業(yè)中,在各國受到廣泛重視。器件的微型集成化研究:主要是傳感器件、信號放大器件、接收期間之間的微型化集成研究,有材料的相容性、性能的耦合性及集成工藝的研究。作為產(chǎn)業(yè)化的要求對微型電容式納米膜壓力傳感器生產(chǎn)的重復性、一致性需要進行研究。這項技術屬于成熟技術。三、研究方案設計微型電容式納米膜壓力傳感器研究中的核心技術可以分為以下幾方面:鍵合工藝:硅與P+重摻雜硅膜的鍵合、硅與碳化硅膜的鍵合。電阻應變式納米膜壓力傳感器(簡稱納米膜壓力傳感器)的問世,它同時具有的高可靠性、高精度、高穩(wěn)定性、高工作溫度和耐惡劣環(huán)境的優(yōu)良性能,正是我國能與國外進口的電容式、擴散硅壓阻式的壓力傳感器和變送器進行競爭抗衡的產(chǎn)品,而且也是目前我國國防和民用急需補缺的產(chǎn)品。我國傳感器近年來發(fā)展迅速,但傳感器產(chǎn)業(yè)在總體上仍存在技術落后、規(guī)模小、應用面窄的問題,而產(chǎn)量、產(chǎn)值、市場占有率僅為日本、美國、西歐任何一個
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