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正文內(nèi)容

一pecvd原理及設(shè)備結(jié)構(gòu)-wenkub.com

2025-03-19 01:16 本頁面
   

【正文】 ? Alarms:警報內(nèi)容 ? Help:簡要的說了一下解除警報以及其他方面的方法 ? CESAR:控制電腦,每一個系統(tǒng)都安裝了 CESAR控制電腦及 CESAR 控制軟件,此控制電腦獨(dú)立于主電腦系統(tǒng)中。 ? 蝶閥:可以根據(jù)要求控制閥門的開關(guān)的大小,來調(diào)節(jié)管內(nèi)氣壓的 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) 控制系統(tǒng) CMI:是 Centrotherm 研發(fā)的一個控制系統(tǒng),其中界面包括 Jobs(界面) 、 System(系統(tǒng)) 、Catalog(目錄)、 Setup(軟件)、 Alarms(報警)、Help(幫助) . ? Jobs:機(jī)器的工作狀態(tài)。 ? 加熱系統(tǒng):位于石英管外,有五個溫區(qū)。 ? 槳:由碳化硅材料制成,具有耐高溫、防變形等 性能。 PECVD的原理 3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2↑ ? Si3N4的認(rèn)識 : Si3N4膜的顏色隨著它的厚度的變化而變化,其理想的厚度是 75— 80nm之間,表面呈現(xiàn)的顏色是深藍(lán)色, Si3N4膜的折射率在 —,與酒精的折射率相乎,通常用酒精來測其折
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