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2025-05-10 07:10 本頁面
【正文】 LMgF2 。 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 金屬分光鏡 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 11nm金屬鉻 (Cr) 在正反兩個方向入射時的反射率 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 金屬中性分光 G/11nm Cr膜 /Air G/53nmZnS/11nm Cr膜 /Air 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 金屬分光鏡 金屬分光鏡的優(yōu)缺點 優(yōu)點：中性好，光譜范圍寬、偏振效應小、制作簡單 缺點：吸收大、激光閾值低 使用注意事項：光的入射方向 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 介質(zhì)分光膜 在某些情況下，不允許分光膜有明顯的吸收，這時就必須使用全介質(zhì)分光膜，其實一層高折射率材料就可以構(gòu)成簡單的分光膜。 減反射膜的一個特殊應用 —— 光學鍍層應用于太陽能利用方面 減反射膜的一個特殊應用 —— 光學鍍層應用于太陽能利用方面 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 使用增透膜的幾個注意事項 ?使用的波長范圍，單點還是寬光譜或一段光譜帶一點；例如可見區(qū) (420nm700nm)，或紅外（ 3700nm4800nm)，或可見區(qū)加 1064nm等； ?剩余反射率指標；（平均或最大剩余反射率） ?使用角度或角度范圍； ?使用環(huán)境；（有無三防要求等） ?有無激光閾值要求； 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 分光膜 一般講分光膜可以分為分束膜和分色膜，后者是按顏色（波長）不同進行分光，本節(jié)主要講分束膜，它把一束光分按比例成光譜成分相同的兩束光， 也即它在一定的波長區(qū)域內(nèi)，如可見區(qū)內(nèi)，對各波長具有相同的透射率、反射率比例，因而反射光和透射光不具有顏色，并呈中 性。由于存在著這個間隔，就能做成這樣的表面，既能有效地吸收太陽光而又不會在工作溫度下把吸收的能量再發(fā)射出去。前兩種形式都要有一個選擇性的吸收表面。 這些半導體基片若不鍍增透膜，就不可能廣泛地使用．這個問題不同于可見區(qū)，在可見區(qū)，其目的是將大約 4%的反射損失減小到千分之幾，而在紅外區(qū)，則是將 30%左右的反射損失減小為百分之幾。 總之，人們可以通過調(diào)整層數(shù)、厚度、材料來不斷的優(yōu)化設計，由于實際工作中 λ0／ 4的整數(shù)倍厚度容易控制，人們把全部由 λ0／ 4整數(shù)倍厚度組成的膜系稱為規(guī)整膜系，反之為非規(guī)整膜系。 用矢量法求出雙層增透膜的各層厚度 0510152025400 450 500 550 600 650 700 750 800An t ir e f le c t io n C o a t in g 5 5 0 n m% ReflectanceW a v e le n g t h ( n m )紅線： 蘭線： NH= NL= 雙層增透膜 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 上面討論的 λ0／ 4 λ0／ 4 結(jié)構(gòu)的 V形膜只能在較窄的光譜范圍內(nèi)有效地減反射，因此僅適宜于工作波段窄的系統(tǒng)中應用．厚度為 λ0／ 4 λ0／2型的雙層增透膜，在中心波長 λ0兩側(cè)， 可望有兩個反射率極小值，反射率曲線呈 W型，所以也有把這種雙層增膜稱作為 W型膜的．對于中心波長膜層和基片組合的特征矩陣為 雙層增透膜 薄 膜 光 學 —— 典型膜系 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 3211133110020013222222111111//110
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