光伏清洗設(shè)備培訓(xùn)詳解-資料下載頁(yè)
【導(dǎo)讀】鞋、手套和護(hù)目鏡。此外，需確保自己一旦發(fā)生事故的情況下，能找到適當(dāng)?shù)木o急噴淋。決不在機(jī)器內(nèi)單獨(dú)工作。不要打開或去除正在運(yùn)行的設(shè)備蓋板，因?yàn)槠鋬?nèi)部蒸汽為危險(xiǎn)性的酸或堿。HCl—5（L/h）、KOH—3（L/h）和DIwater，這些數(shù)值可以隨用量不同而變化。建議備用HF—150L、HNO3—250L、HCl—75L、KOH—10L，提供給新化學(xué)槽使用。對(duì)于使用傳感器準(zhǔn)確測(cè)量化學(xué)品的流量，至少要求7L/min的流量。理，裝載HF/HNO3的刻蝕槽，其最大體積為550L。對(duì)RENAInTex設(shè)備的AirKnifes規(guī)定的操作壓力要求至少為4bar，AirKnifes不使用。bath的刻蝕產(chǎn)生棕色污點(diǎn)，因此造成產(chǎn)品品質(zhì)不良。另外的清潔處理程序?！癿odeman”，通過(guò)按按鈕選擇手動(dòng)模式。等化學(xué)品排放過(guò)程完成后，屏幕上顯示為“Empty”，為下面程序做好準(zhǔn)備。沖洗刻蝕槽和儲(chǔ)備槽，按下“systemrinsing”，兩槽將充滿水并開始循環(huán)。按下“draining”，則酸清洗槽的化學(xué)品將被排掉。內(nèi)完成化學(xué)品的供應(yīng)，將有錯(cuò)誤報(bào)警“fillingtimeout”，填充自動(dòng)中斷。剩余化學(xué)品數(shù)量會(huì)顯示在“RemainingVolume”。選取菜單為“manual>alkaline”。
【正文】 出現(xiàn)，再次登陸，調(diào)整好門窗位置并再次登出即可； 關(guān)閉設(shè)備上的 windows 程序即關(guān)閉顯示器； 關(guān)閉位于灰色電氣箱上的開關(guān)。不要使用機(jī)器上的主開關(guān)來(lái)關(guān)閉。 10. 常見問題： 一、 工藝記錄操作要求 根據(jù) RENA 工藝工程師的建議，我們?cè)?RENA 設(shè)備旁計(jì)算機(jī)內(nèi)記錄的生產(chǎn)測(cè)試片記錄（ Excel 工作表）由原來(lái)的每班一個(gè)記錄改變?yōu)楝F(xiàn)在的每更換一次制絨槽溶液則開始一個(gè)新記錄。且要求生產(chǎn)人員在記錄測(cè)試片名字的時(shí)候由原來(lái)的隨機(jī)數(shù)字改為 RENA 設(shè)備內(nèi)的實(shí)際數(shù)字，即若該 5 片測(cè)試片為該制絨槽生產(chǎn)的第 2222222226 片，則記錄中的片名應(yīng)為2220122205，前三位數(shù)字表征當(dāng)前已生產(chǎn)實(shí)際片數(shù)的大約值，后兩位數(shù)字仍然為便于區(qū)分采用 01 05 的方式。 請(qǐng)各位工藝員在當(dāng)班時(shí)所做的任何參數(shù)更改或手動(dòng)加液情況，記錄在 Excel工作表上，便于跟蹤制絨槽實(shí)際穩(wěn)定情況。 二、工藝參數(shù)調(diào)節(jié)規(guī)范 在原來(lái)的工藝規(guī)程中規(guī)定新更換的制絨槽溶液需先投放約 500片鈍化片待溶液穩(wěn)定后再正式投片生產(chǎn)。由于 Si 原料緊張， Si片價(jià)格昂貴，我們不得不重復(fù)使用鈍化片。這樣做的弊端是經(jīng)過(guò)多次減薄的 Si片在設(shè)備中容易破碎卡住滾動(dòng)條，并很難在不影響生產(chǎn)的情況下徹底清除，容易造成卡片，甚至 更嚴(yán)重的情況是造成設(shè)備的損壞。 因此 RENA 的工藝工程師建議我們?nèi)∠褂免g化片的做法而改為下面的方法： 在新更換了制絨槽溶液以后（初始溶液配比已經(jīng)在菜單中有所改動(dòng)，比原來(lái)的配比略低），初始溫度設(shè)為 10 度，傳送速度設(shè)為 。 先放 5 片測(cè)試片，測(cè)量記錄制絨前后的質(zhì)量并填入 Excel 記錄表，如果刻蝕深度（ Etch Depth） 介于 3μm和 ，可以投片生產(chǎn)，并且在最初的 1 個(gè)小時(shí)之內(nèi)每 10分鐘測(cè)量 5 片測(cè)試片，并根據(jù)結(jié)果對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行相應(yīng)調(diào)節(jié)，直至刻蝕深度控制在標(biāo)準(zhǔn)范圍。注意每個(gè)參數(shù)的調(diào)節(jié)細(xì)節(jié)請(qǐng) 詳細(xì)記錄在 Excel 記錄表上，以便于跟蹤溶液情況。 待溶液穩(wěn)定以后，工藝員和工段長(zhǎng)共同填寫好“工藝異常、變更情況表”，此時(shí)可以交給生產(chǎn)部門進(jìn)行正常生產(chǎn)。生產(chǎn)部門應(yīng)保證每小時(shí)測(cè)量 5 片測(cè)試片并詳細(xì)記錄在Excel 記錄表上，有任何工藝異常情況再請(qǐng)工藝員處理。 若任何一位工藝人員不確定該采用何種方式對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)節(jié)或有任何疑問，請(qǐng)務(wù)必聯(lián)系我，并請(qǐng)小心注意 Dosing（自動(dòng)補(bǔ)液）參數(shù)的設(shè)定，因?yàn)樵搮?shù)的影響是長(zhǎng)時(shí)間的，若設(shè)置不當(dāng)后果嚴(yán)重。 三、常見問題分析 堿槽易出現(xiàn)結(jié)晶現(xiàn)象，原因主要為酸槽和堿槽之間的 Air knife 氣流量太大或太小，堿噴淋管流量太大造成的。此時(shí)聯(lián)系設(shè)備工程師，調(diào)節(jié)氣流量和液流量至合適范圍可以解決。 若堿槽后面的過(guò)濾器上有結(jié)晶物，則需定期進(jìn)行清理并經(jīng)常沖洗堿槽。 硅片正面呈現(xiàn)為不反光的暗灰色均勻表面時(shí)，說(shuō)明制絨絨面質(zhì)量好；正表面有反光的區(qū)域存在且晶界處有輕微深色細(xì)紋時(shí)，說(shuō)明 HF 量合適，但 HFO3 量過(guò)多或過(guò)少；正表面不反光但晶界處深色紋路嚴(yán)重時(shí)，說(shuō)明 HF 過(guò)量；若表面反光嚴(yán)重且晶界處深色紋路很多，說(shuō)明腐蝕過(guò)深， HF 和 HFO3 都過(guò)量。 若任何一個(gè)化學(xué)槽在排液時(shí)有溢流或出現(xiàn)少量滴漏的情況 ，必須在佩帶好防護(hù)用具的情況下清除掉機(jī)器后面的盤內(nèi)積液再用水沖洗干凈。 五個(gè)軌道中的任何一個(gè)容易碎片都可能是在該道上的某一段卡住了碎片或滾軸上的橡皮圈沒有固定好，請(qǐng)?jiān)O(shè)備工程師詳細(xì)檢查清理以后再生產(chǎn)。 用戶名： SERVICE 密碼： PLU007
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