管理信息化-設(shè)備可靠性、有效性和可維護(hù)性的定義和測試規(guī)范(word,中文，-資料下載頁
2025-07-13 18:55本頁面
【導(dǎo)讀】20xx年6月將在國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會試。行，之后同月公布。其第一版公布于1986年，上一版公布于1999年6月。標(biāo)準(zhǔn)，為設(shè)備的使用者和供應(yīng)商之間的溝通建立了一個通用基礎(chǔ)。這份文獻(xiàn)定義了設(shè)備的6種基本狀態(tài)。由其功能狀況決定，而不管操作者是誰。在這里所做的對設(shè)備可靠性的測試強(qiáng)調(diào)的是對正在使用中。的設(shè)備的突然中斷，而不是對設(shè)備的所有時間。自動監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)是標(biāo)準(zhǔn)SEMI. E58中的內(nèi)容，并不在本規(guī)范中。在這份規(guī)范中的三性的指數(shù)可以直接運(yùn)用于整個設(shè)備的非成套工具和子系統(tǒng)水平級。這份標(biāo)準(zhǔn)雖然有提到安全事宜，但目的并不旨在追求這個方面。來建立合適的安全和健康條款，以及在使用前決定限制章程的運(yùn)用。注釋1：本文列出的所有文獻(xiàn)都使用其最新的適應(yīng)版本。通過外部干涉使中斷的設(shè)備周期繼續(xù)。在設(shè)備操作規(guī)范方面沒有進(jìn)一步改變。關(guān)機(jī)僅出現(xiàn)在計劃外時間中。達(dá)成的一致條款。
【正文】 時間－ (所有維修時間＋不合規(guī)范的輸入停工＋與基礎(chǔ)設(shè)施有關(guān)的停工 ) 對供應(yīng)商的時間利用率 — 設(shè)備按預(yù)定功能運(yùn)作的時間扣除使用者的維修延遲、不合規(guī)范的輸入造成的停工及與基礎(chǔ)設(shè)施有關(guān)的停工的百分比利用率。這個計算只剪除使用者的維修推遲，所以只考慮了供應(yīng)商的零件和服務(wù)的推遲。目的在于為供應(yīng)商 的交易服務(wù)提供一個有效的評判標(biāo)準(zhǔn)。 供應(yīng)商的時間利用率 (%)＝ 設(shè)備工作時間 100 生產(chǎn)時間－ (使用者維修時間＋不合規(guī)范的輸入停工＋與基礎(chǔ)設(shè)施有關(guān)的停工 ) 7 生產(chǎn)時間利用率 — 在生產(chǎn)時間內(nèi)設(shè)備按預(yù)定功能運(yùn)行的時間百分比。目的在于反映該設(shè)備的總體運(yùn)行表現(xiàn)。 生產(chǎn)時間利用率 (%)＝ 設(shè)備工作時間 100 生產(chǎn)時間 設(shè)備可維修性 — 在一段時間內(nèi)，設(shè)備可保留至或維修至正常預(yù)定功能狀態(tài)的可能性。 MTTR f — 平均修理時間；修理故障使設(shè)備回到正常運(yùn)行的平均耗時 。在一段時間期內(nèi)（包括設(shè)備和流程測試時間，但不包括維修延時），被故障數(shù)斷開的所有修理時間（不僅僅是所有流逝的人工時間）。 MTTR f ＝ 總修理時間 總故障數(shù) MTTR i — 平均修理時間；修理中斷使設(shè)備回到正常運(yùn)行的平均耗時。在一段時間期內(nèi)（包括設(shè)備和流程測試時間，但不包括維修延時），被中斷數(shù)斷開的所有修理時間（不僅僅是所有流逝的人工時間）。 MTTR i ＝ 總修理時間 總中斷數(shù) MTOL — 平均離線時間；當(dāng)停工發(fā)生后， 維修設(shè)備正常生產(chǎn)或恢復(fù)設(shè)備生產(chǎn)的平均耗時這段時間內(nèi)被停工次數(shù)斷開的所有停工（計劃內(nèi)或計劃外的）時間。 MTOL ＝ 所有停工時間 停工次數(shù) 設(shè)備的計劃停工率 (%)＝ 設(shè)備計劃停工時間 100 生產(chǎn)時間－ (所有維修時間＋不合規(guī)范的輸入停工＋與基礎(chǔ)設(shè)施有關(guān)的停工 ) 供應(yīng)商的計劃停工率 (%)＝ 設(shè)備計劃停工時間 100 生產(chǎn)時間－ (使用者維修時間＋不合規(guī)范輸入停工＋與基礎(chǔ)設(shè)施有關(guān)的停工 ) 設(shè)備利用率 — 在一段時間內(nèi)設(shè)備按要求功能 運(yùn)行的時間比率。 生產(chǎn)時間利用率 — 生產(chǎn)時間中的有效時間。因為它不包括制度外時間，所以用于比較不同班次結(jié)構(gòu)生產(chǎn)的設(shè)備利用率。 生產(chǎn)時間利用率 (%)＝ 設(shè)備工作時間 100 生產(chǎn)時間 總時間利用率 — 在全部時間內(nèi)有效運(yùn)行的比率。用于反映基本線上的設(shè)備利用率。 總時間利用率 (%)＝ 設(shè)備工作時間 100 總時間 8 ? 不工作輪班 ? 安裝，修改， 再建或升級 ? 離線培訓(xùn) ? 關(guān)機(jī) /啟動 ? 流程實驗 ●維修延遲 ●維修延遲 ? 設(shè)備實驗 ●修理時間 ●產(chǎn)品測試 ? 軟件評估 ●化學(xué)材料及消耗 ●預(yù)防性維護(hù) 品改變 ●化學(xué)材料及消耗品 ●不合規(guī)范的輸入 改變 ●與基礎(chǔ)設(shè)施相關(guān) ●啟動 ●常規(guī)生產(chǎn) ●沒有操作工 ●與基礎(chǔ)設(shè)備相關(guān) ●為第三方工作 ●沒有產(chǎn)品 ●返工 ●沒有輔助工具 ●工程運(yùn)作 圖 2 SEMI E10 時間總結(jié) 總時間 制度外時間 運(yùn)作時間 停工時間 工作時間 有效時間 工程時間 計劃外時間 等待時間 制造時間 計劃內(nèi)時間
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