pecvd工藝-資料下載頁
2025-03-12 18:27本頁面
【正文】 1 過程檢驗項目 2 過程檢驗方法 3 過程檢驗合格判定 過程檢驗 4 2 PECVD工藝 檢驗項目 檢驗方法 合格要求及判定 硅片的表面情況 照度 400勒克斯，采用肉眼目測 整個硅片表面呈深藍色，顏色均勻，無明顯花斑、白邊與深度色差，即判定合格 SiN膜厚檢測 激光橢偏儀進行膜厚測量 SiN膜厚在 7090nm，即判定合格 折射率 激光橢偏儀進行折射率測量 折射率在 ~，即判定合格 反射率 積分反射儀進行反射率測量 反射率 6%，即判定合格 PECVD工藝 氮化硅顏色與厚度的對照表 顏 色 厚度（ nm） 顏 色 厚度（ nm） 顏 色 厚度（ nm） 硅本色 020 很淡藍色 100110 藍 色 210230 褐 色 2040 硅本色 110120 藍綠色 230250 黃褐色 4050 淡黃色 120130 淺綠色 250280 紅 色 5573 黃 色 130150 橙黃色 280300 深藍色 7377 橙黃色 150180 紅 色 300330 藍 色 7793 紅 色 180190 淡藍色 93100 深紅色 190210 PECVD工藝 亮點色斑 鍍膜時間太短 水紋印 色斑 色差 ? 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 , March 31, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 18:26:4918:26:4918:263/31/2023 6:26:49 PM ? 1以我獨沈久，愧君相見頻。 :26:4918:26Mar2331Mar23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 18:26:4918:26:4918:26Friday, March 31, 2023 ? 1乍見翻疑夢，相悲各問年。 :26:4918:26:49March 31, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 2023年 3月 31日星期五 下午 6時 26分 49秒 18:26: ? 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 2023年 3月 下午 6時 26分 :26March 31, 2023 ? 1行動出成果，工作出財富。 2023年 3月 31日星期五 6時 26分 49秒 18:26:4931 March 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 下午 6時 26分 49秒 下午 6時 26分 18:26: ? 沒有失敗，只有暫時停止成功！。 , March 31, 2023 ? 很多事情努力了未必有結果，但是不努力卻什么改變也沒有。 18:26:4918:26:4918:263/31/2023 6:26:49 PM ? 1成功就是日復一日那一點點小小努力的積累。 :26:4918:26Mar2331Mar23 ? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 18:26:4918:26:4918:26Friday, March 31, 2023 ? 1不知香積寺，數里入云峰。 :26:4918:26:49March 31, 2023 ? 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 3月 31日星期五 下午 6時 26分 49秒 18:26: ? 1楚塞三湘接，荊門九派通。 。 2023年 3月 下午 6時 26分 :26March 31, 2023 ? 1少年十五二十時，步行奪得胡馬騎。 2023年 3月 31日星期五 6時 26分 49秒 18:26:4931 March 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 下午 6時 26分 49秒 下午 6時 26分 18:26: ? 楊柳散和風，青山澹吾慮。 , March 31, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 18:26:4918:26:4918:263/31/2023 6:26:49 PM ? 1越是沒有本領的就越加自命不凡。 :26:4918:26Mar2331Mar23 ? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 18:26:4918:26:4918:26Friday, March 31, 2023 ? 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強。 :26:4918:26:49March 31, 2023 ? 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 3月 31日星期五 下午 6時 26分 49秒 18:26: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 2023年 3月 下午 6時 26分 :26March 31, 2023 ? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023年 3月 31日星期五 6時 26分 49秒 18:26:4931 March 2023 ? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。 下午 6時 26分 49秒 下午 6時 26分 18:26: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感 謝 您 的 下 載 觀 看 專家告訴
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